[實用新型]片式半導體元器件測試機構

有效

• 申請號: 200820203482.0
• 申請日: 2008-11-17
• 公開（公告）號: CN201319051Y
• 公開（公告）日: 2009-09-30
• 發明（設計）人: 羅炳坤;楊國宏;袁毅凱;單忠頻;覃譚飛
• 申請（專利權）人: 佛山市國星光電股份有限公司
• 主分類號: G01R31/00
• 分類號: G01R31/00
• 代理公司: 廣州三環專利代理有限公司
• 代理人: 詹仲國

技術領域

本實用新型涉及半導體制造領域，特別是一種高效可靠的片式半導體元器件夾持測試機構。

背景技術

片式半導體元器件測試主要目的是通過對被測元器件通電然后采集電參數，從而確定元器件優良等級。目前，在片式半導體元器件測試分選機上，測試機構一般采用氣缸為動力的連桿往復式機構(如圖1所示)。它主要由固定座17、氣缸18、連桿結構19、左滑塊座20、右滑塊座21，連桿機構19的端部設置有彈簧與固定座17連接，左、右滑塊座上分別設置有測針機構24、28，通過氣缸帶動左、右滑塊座沿著直線導軌22相對運動，由限位螺柱23限定左、右滑塊座合攏的最小距離，實現測針機構上的測針與被夾持的半導體元器件電極接觸的目的。采用此方式，有以下缺點：1)結構比較復雜，傳動部件多，動作也繁多，安裝要求高，維護保養都麻煩。2)由于采用機械式的限位，機械碰撞噪音大。3)震動大，沖擊大，容易損壞被測試的半導體元器件的電極。4)零件容易磨損。多零件都作往復式動作，有沖擊，震動大，所以零件容易損壞。5)控制精度差，難以做到左右兩邊均勻打開閉合，張開大小通過機械調整，更是難以保證其精度。6)穩定性差。由于動作復雜，零件易磨損，使用一段時間以后，機構工作就很不穩定。以上這些缺點都會造成測試數據不準確的問題。

發明內容

本實用新型的目的就是為了解決現有技術之不足而提供的一種不僅結構簡單、噪音小、控制精度高、高速而且品質可靠的片式半導體元器件測試機構。

本實用新型是采用如下技術解決方案來實現上述目的：一種片式半導體元器件測試機構，包括固定座及其上設置的驅動裝置、與驅動裝置連接的左右測針機構模塊，左右測針機構模塊安裝于一直線滑軌上，主要由左滑塊座、右滑塊座以及分裝于兩滑塊座上的左測針機構與右測針機構組成，其特征在于：所述驅動裝置中設置有凸輪隨動機構模塊，該模塊由伺服電動機帶動凸輪，凸輪的外圍設置有與其表面接觸的可沿直線滑動的V形桿，該V形桿上設置有V形面頂壓于左右測針機構模塊的左滑塊座與右滑塊座之間，該左、右滑塊座通過復位彈簧連接拉緊。

作為上述方案的進一步說明，所述凸輪安裝在伺服電動機的轉軸上，V形桿安裝在一豎直方向直線滑軌上，V形桿的中后部有一下拉彈簧連接固定座。

所述V形桿左側設有微型凸輪軸承隨動器，該微型凸輪軸承隨動器與凸輪緊密的貼緊。

所述V形面為V形桿右部的對稱V形面，左、右滑塊座上均設有微型凸輪軸承隨動器，V形面分別與該微型凸輪軸承隨動器緊貼。

本實用新型采用上述技術解決方案所能達到的有益效果是：

1、本實用新型采用伺服電機控制模式通過轉動產生移動，夾持測試動作比較勻速平穩，這樣可以提高測試的準確性，因為如果測試機構振動，會引起被測半導體元器件顫動，使其電極與測針接觸不良，影響測試數據的準確性；而伺服電機可以控制速度的快慢，減少了振動，不會損壞被測試的半導體元器件的電極，也使此機構零件不易磨損，延長使用壽命。

2、本實用新型結構簡單，傳動零件少，安裝維護保養都非常方便，噪音低，由于使用了伺服電機作動力，沒有了氣動元件動作時那種刺耳的聲音。

3、本實用新型機構測針機構張開的大小和快慢都可以由軟件設定，通過控制電機實現，并且左右兩邊都可以同時同樣速度張開，提高了測試速度。

附圖說明

圖1為采用氣缸為動力的連桿往復式機構等軸側視圖；

圖2為本實用新型的外觀等軸側視圖。

附圖標記說明：1、伺服電動機?2、凸輪?3、微型凸輪軸承隨動器?4、V形桿?5、直線滑軌?6、直線滑軌?7、微型凸輪軸承隨動器?8、微型凸輪軸承隨動器?9、復位彈簧?10、左測針機構?11、右測針機構?12、片式半導體元器件?13、固定座?14、左滑塊座?15、右滑塊座?16、下拉彈簧?17、固定座?18、氣缸?19、連桿機構?20、左滑塊座?21、右滑塊座

具體實施方式