[實用新型]一種分子泵電子部件

無效

• 申請號: 200820182918.2
• 申請日: 2008-12-25
• 公開（公告）號: CN201372938Y
• 公開（公告）日: 2009-12-30
• 發明（設計）人: 張華
• 申請（專利權）人: 北京中科科儀技術發展有限責任公司
• 主分類號: F04D19/04
• 分類號: F04D19/04;F04D29/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及一種分子泵，尤其涉及一種分子泵的電路系統。

背景技術

分子泵是一種真空獲得設備。

以往把分子泵作為一種單純的機電產品設計生產，其智能化程度不高。分子泵依使用環境、條件等因素衍生出多種型號，功率消耗差別不大，然而啟動和驅動特性各有不同，無法共用驅動程序。

相應地，由于分子泵控制器無法自動識別所連接的分子泵型號，必須針對每一種泵生產相應的分子泵控制器，型號繁雜，給生產與應用帶來困擾。同時，許多分子泵控制器的硬件相同，只是程序不同。

一種實現分子泵控制器對分子泵的型號識別的方法，是在分子泵端安裝若干開關，每個開關可保存一位二進制信息；開關通過電纜與分子泵控制器相連，后者通過讀取開關的通斷狀態獲取前者的型號信息。此種方法的優點是抗干擾性好，缺點是：信息量小，能夠經濟地保存的信息的位數十分有限；成本高，每一位信息均對應為分子泵電纜上的一根線，使電纜變粗，制造成本提高，接插件針數增多；易出錯，每個泵都需要面對多個開關狀態的設置，一位出錯就會造成型號識別的錯誤；擴展性差，每增加一位信息容量即需要增加一根線。

有些型號的分子泵與其控制器一體安裝，不存在型號識別問題。

對于分子泵與其控制器非一體時，其連接電纜的長度是不確定的，有時此長度可達百米，此時電纜上的壓降不可忽視，往往由于電纜長度變化造成分子泵啟動失敗，或發生過熱故障。

一種解決辦法是把電纜長度作為分子泵驅動程序的一項參數，在使用不同長度電纜是進行設置。這增加了控制器的使用難度。

分子泵無故障運行時間等壽命周期信息對于分子泵質量評定、售后服務以及后續改進等具有重要的意義，然而此種信息在傳統的分子泵上是無從得到的。

發明內容

為了克服上述現有技術的缺點和不足，本實用新型提供一種新的以單片機為核心的分子泵電子部件，它安裝在分子泵上，通過電纜與分子泵控制器相連，由后者提供電源，并于后者進行通信。

其特征為有關分子泵的各種靜態信息均可以保存在單片機的程序或數據存儲器中。可以保存分子泵的產品型號和出廠編號。產品型號可供分子泵控制器的自動識別，以便采用相應的驅動程序。出廠編號可供分子泵控制器識別每一臺泵。

其特征為與分子泵控制器的連接可以通過確定數目的電纜線實現。由分子泵控制器供電，需要一根電源線和一根地線。半雙工通信需要一根信號線和一根時鐘線；采用差模通信則需要兩個信號線；事先規定通信頻率，可以不用時鐘線。因此使用最少三根，最多五根電線可以實現分子泵與控制器通信的連接。

使用具有數模轉換功能的單片機，或在此部件外圍電路中使用數模轉換器件，可以實現在分子泵端對電壓進行測量，這是減去電纜壓降后，分子泵得到的電壓。此部件可以通過通信把此實時的數據提供給分子泵控制器，這使控制器可以對電纜壓降進行補償。此功能可使分子泵控制器根據根據分子泵端實際獲得電壓的情況調整輸出的電壓，避免由于分子泵控制器與分子泵間由于電纜長度不同而產生的故障。

使用具有EEPROM存儲器，或具有自編程能力的單片機，均可以記錄分子泵運行期間的信息。

分子泵中電路系統安裝在封閉金屬外殼中，以屏蔽外界電磁干擾。分子泵部件與分子泵控制器間連接采用屏蔽電纜，以保證兩者通信質量。

附圖說明

圖1為本實用新型的電路原理圖。

結合圖1所示電路原理圖對本實用新型實施例進行詳細描述。

圖中，L1、L2、L3為小電感，避免干擾竄入。R1、R2、R3、R4、R5、R6組成電阻網絡用于分壓。D1、D2、D3、D4、D5、D6組成三相橋用于整流。電容C1用于保持電壓。

具體實施方式

單片機采用PIC12F683。

內部用高精度RC振蕩電路，無需外接晶振。

規定通信頻率和協議，不使用時鐘線。使用第6、7腳進行半雙工差模通信。發送時，設置兩腳為輸出。以<CIN+，CIN->表示兩腳的輸出，規定<1，0>為數據1，<0，1>為數據0。接受時，設定兩腳為模擬比較器方式，其輸出即為接收到的數據。

具有4路10位ADC，使用其中一路，即第5腳進行電壓采樣。

以一個三相橋對三相交流電路整流，濾波后提供給單片機的ADC。電阻用于分壓。電感和電容用于濾波。

單片機管腳2連接分子泵熱敏電阻，檢測是否過熱。