[實用新型]晶棒提拉的截面成型構造無效
| 申請號: | 200820180535.1 | 申請日: | 2008-12-03 |
| 公開(公告)號: | CN201428007Y | 公開(公告)日: | 2010-03-24 |
| 發明(設計)人: | 藍崇文;徐文慶;謝兆坤;王興邦;何思樺 | 申請(專利權)人: | 昆山中辰矽晶有限公司 |
| 主分類號: | C30B15/22 | 分類號: | C30B15/22 |
| 代理公司: | 北京申翔知識產權代理有限公司 | 代理人: | 周春發 |
| 地址: | 215316江蘇省昆*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 晶棒提拉 截面 成型 構造 | ||
1、一種晶棒提拉的截面成型構造,其特征在于,在坩 堝開口處設有一個用以控制熱流通過長晶熱場方式的熱惟 幕。
2、如權利要求1所述晶棒提拉的截面成型構造,其特征 在于,該熱惟幕設有一個輪廓呈多邊形的開口。
3、如權利要求2所述晶棒提拉的截面成型構造,其特征 在于,該多邊形的開口的邊角加以延伸。
4、如權利要求1所述晶棒提拉的截面成型構造,其特征 在于,該熱惟幕為絕緣性佳的材質制成。
5、一種晶棒提拉的截面成型構造,其特征在于,在坩 堝開口處設有一個用以控制熱流與晶體通過方式的罩體,其 罩體設有一個開口。
6、如權利要求5所述的晶棒提拉的截面成型構造,其特 征在于,該開口的輪廓呈多邊形。
7、如權利要求5所述的晶棒提拉的截面成型構造,其特 征在于,該開口的邊角加以延伸。
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