[實用新型]多晶硅晶棒的制造裝置有效
| 申請號： | 200820180533.2 | 申請日： | 2008-12-03 |
| 公開（公告）號： | CN201343583Y | 公開（公告）日： | 2009-11-11 |
| 發明（設計）人： | 藍崇文;徐文慶;謝兆坤;王興邦;何思樺 | 申請（專利權）人： | 昆山中辰矽晶有限公司 |
| 主分類號： | C30B29/06 | 分類號： | C30B29/06;C30B28/10 |
| 代理公司： | 北京申翔知識產權代理有限公司 | 代理人： | 周春發 |
| 地址： | 215316江蘇省昆*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 多晶 硅晶棒 制造 裝置 | ||
【權利要求書】：
1、一種多晶硅晶棒的制造裝置，其特征在于，其至少包含有：
石英坩鍋，該石英坩鍋中容置有硅融漿；
加熱器，該加熱器設于該石英坩鍋的外圍；
旋轉提拉件，該旋轉提拉件設于該石英坩鍋上方；
多晶形式的硅晶種，該多晶形式的硅晶種浸入石英坩鍋的硅融漿當中。
2、如權利要求1所述多晶硅晶棒的制造裝置，其特征在于，該制造裝置進一步設有絕熱層，該絕熱層系設于該坩鍋外圍。
3、如權利要求1所述多晶硅晶棒的制造裝置，其特征在于，該制造裝置進一步設有斷熱保溫層，該斷熱保溫層設于該加熱器以及坩鍋的外圍。
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