[實用新型]PLC自動控制的多晶硅還原爐進氣裝置

無效

• 申請號: 200820179653.0
• 申請日: 2008-12-04
• 公開（公告）號: CN201326031Y
• 公開（公告）日: 2009-10-14
• 發明（設計）人: 周積衛;茅陸榮;郝振良;程佳彪
• 申請（專利權）人: 上海森松環境技術工程有限公司
• 主分類號: C30B29/06
• 分類號: C30B29/06;C01B33/03
• 代理公司: 北京匯澤知識產權代理有限公司
• 代理人: 徐樂慧

1、一種PLC自動控制的多晶硅還原爐進氣裝置，包括PLC控制器(3)和儀表氣源(4)，其特征在于，還包括有與還原爐進氣口一一對應連接的至少一個截止式方向控制閥(1)，每個截止式方向控制閥(1)配備有一個單電控制換向閥(2)，所述截止式方向控制閥(1)的氣體出口(T)與所述還原爐的進氣口連接，所述截止式方向控制閥(1)的氣體進口(P)直接連接工藝氣體輸入設備，所述單電控制換向閥(2)的氣體進口(A)和一個氣體出口(N)接所述儀表氣源(4)，所述單電控制換向閥(2)的另一個氣體出口(M)與所述截止式方向控制閥(1)的控制口(K)連接，所述PLC控制器(3)與所述單電控制換向閥(2)連接。