[實用新型]一種硅單晶爐連續投料裝置及設有該裝置的硅單晶爐

無效

• 申請號: 200820178207.8
• 申請日: 2008-11-07
• 公開（公告）號: CN201309979Y
• 公開（公告）日: 2009-09-16
• 發明（設計）人: 王飛;賴汝萍
• 申請（專利權）人: 王飛
• 主分類號: C30B15/02
• 分類號: C30B15/02;F27B17/00
• 代理公司: 北京捷誠信通專利事務所
• 代理人: 魏殿紳;龐炳良

1.一種硅單晶爐連續投料裝置，其特征在于：包括由圓柱形的頂部鋼筒、圓柱形的中部鋼筒和倒置的錐臺形的底部鋼筒三部分組成的料筒(7)，頂部鋼筒的直徑比中部鋼筒大，頂部鋼筒的底邊設有向內延伸的凸臺(8)，凸臺(8)的內側和中部鋼筒的頂邊相連，中部鋼筒的底邊和底部鋼筒的頂邊相連，底部鋼筒的底邊內翻并卡設一硅片(6)，壓桿外套筒(4)兩端通過上下扁鋼片(9、10)固設在料筒(7)內，壓桿外套筒(4)內設有可在壓桿外套筒(4)內上下移動的壓桿(5)，壓桿(5)的上端設有壓桿滑輪(3)，通過銷軸(11)設置在上扁鋼片(9)上的操縱連桿(2)的一端和壓桿滑輪(3)的外表面抵接，另一端和操縱機構滑輪(1)連接。

2.如權利要求1所述的硅單晶爐連續投料裝置，其特征在于：料筒(7)、壓桿外套筒(4)、上下扁鋼片(9、10)、壓桿(5)、壓桿滑輪(3)、銷軸(11)、操縱連桿(2)和操縱機構滑輪(1)的材質為316不銹鋼。

3.如權利要求1或2所述的硅單晶爐連續投料裝置，其特征在于：硅片(6)為硅單晶棒或多晶棒切成的薄片。

4.一種設有連續投料裝置的硅單晶爐，其特征在于：包括硅單晶爐主室(22)，硅單晶爐主室(22)的上部設有硅單晶爐副室(21)，硅單晶爐連續投料裝置設置在硅單晶爐副室(21)內，所說的硅單晶爐連續投料裝置包括由圓柱形的頂部鋼筒、圓柱形的中部鋼筒和倒置的錐臺形的底部鋼筒三部分組成的料筒(7)，頂部鋼筒的直徑比中部鋼筒大，頂部鋼筒的底邊設有向內延伸的凸臺(8)，凸臺(8)的內側和中部鋼筒的頂邊相連，中部鋼筒的底邊和底部鋼筒的頂邊相連，底部鋼筒的底邊內翻并卡設一硅片(6)，壓桿外套筒(4)兩端通過上、下扁鋼片(9、10)固設在料筒(7)內，壓桿外套筒(4)內設有可在壓桿外套筒(4)內上下移動的壓桿(5)，壓桿(5)的上端設有壓桿滑輪(3)，通過銷軸(11)設置在上扁鋼片(9)上的操縱連桿(2)的一端和壓桿滑輪(3)的外表面抵接，另一端和操縱機構滑輪(1)連接；硅單晶爐副室(21)和硅單晶爐主室(22)的連接處設有和凸臺(8)適配的定位銷(12)，硅單晶爐副室(21)的側壁上設有和操縱機構滑輪(1)適配的插板閥(13)。

5.如權利要求4所述的設有連續投料裝置的硅單晶爐，其特征在于：料筒(7)、壓桿外套筒(4)、上下扁鋼片(9、10)、壓桿(5)、壓桿滑輪(3)、銷軸(11)、操縱連桿(2)和操縱機構滑輪(1)的材質為316不銹鋼。

6.如權利要求4或5所述的設有連續投料裝置的硅單晶爐，其特征在于：硅片(6)為硅單晶棒或多晶棒切成的薄片。