[實用新型]一種臥式擴散爐的擺動式推舟

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200820178158.8
• 申請日: 2008-11-21
• 公開（公告）號: CN201322544Y
• 公開（公告）日: 2009-10-07
• 發(fā)明（設計）人: 宋長鈺;鄭慧東
• 申請（專利權(quán)）人: 株洲眾欣科技發(fā)展有限責任公司
• 主分類號: F27D5/00
• 分類號: F27D5/00
• 代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 孫長龍

技術(shù)領域

本實用新型涉及半導體制造設備，特別是指一種臥式擴散爐的擺動式推舟。

背景技術(shù)

擴散爐作為半導體工藝設備的重要設備之一，廣泛應用于集成電路、電力電子、太陽能電池的生產(chǎn)等行業(yè)，所以它是民用重要設備，也是軍事材料生產(chǎn)的必不可少重要設備之一，世界上使用最多的是臥式擴散爐，目前國內(nèi)外所有臥式擴散爐在工藝中，參與工藝的硅片都是靜止放在石英管內(nèi)，擴散工藝的最重要的指標就是擴散均勻性，特別是IC業(yè)制造集成電路的擴散片。為了提高擴散均勻性，目前國內(nèi)主要從溫度的一致與氣體均勻來著手，國內(nèi)主要采用擴大氣流量來保證前后擴散片的氣體濃度一致，不僅浪費擴散源，增加能耗，還會加大對環(huán)境污染。

國外主要合理進行氣源分配送入擴散管的方式，這樣的效果很好，但容易出現(xiàn)氣孔被堵，也會造成擴散的不均勻且制造成本增加很多。

實用新型內(nèi)容

有鑒于此，本實用新型在于提供一種臥式擴散爐的擺動式推舟，以解決上述擴散爐在氣體擴散過程中，擴散不均勻，能耗較大，成本較高的問題。

為解決上述問題，本實用新型提供一種臥式擴散爐的擺動式推舟，包括：

安裝在擺動推動舟上的SiC漿安裝座，SiC漿安裝座上安裝有安放擴散片的SiC漿，SiC漿安放在石英管內(nèi)，SiC漿安裝座在傳動機構(gòu)的帶動下，帶動石英管內(nèi)的SiC漿產(chǎn)生水平往返移動，所述傳動機構(gòu)包括：連接在電機的聯(lián)軸器和曲柄機構(gòu)。

本實用新型是采用使載有工件的推舟在工藝過程中不斷往返運動，將擴散氣體的流動方式由層流變?yōu)槲闪鳎哂幸韵聝?yōu)點：

1、有效地提高擴散地均勻性。

2、大大地降低了能耗。在擴散過程中，能源地消耗主要是由氣源排放與爐體地散熱造成，降低氣源地排放就降低了能耗。

3、大大地降低了對環(huán)境的污染。用于擴散氣源是對人體和環(huán)境都有損害的物質(zhì)，降低了氣源地排放對降低環(huán)境地污染有很大地作用。

4、采用傳統(tǒng)方式進氣源，可靠性高。

附圖說明

圖1是擺動式推舟的結(jié)構(gòu)圖；

圖2是圖1中A-A的剖視圖；

圖3是圖2中B-B的剖視圖。

具體實施方式

為清楚說明本實用新型中的技術(shù)方案，下面給出優(yōu)選的實施例并結(jié)合附圖詳細說明。

參見圖1至圖3，包括：安裝在擺動推動舟4上的SiC漿安裝座3、聯(lián)軸器6和曲柄機構(gòu)7，聯(lián)軸器6和曲柄機構(gòu)7在電機5轉(zhuǎn)動下帶動SiC漿安裝座3產(chǎn)生水平往返移動；

SiC漿安裝座3上安裝有安放擴散片1的SiC漿，SiC漿裝入在石英管2內(nèi)。

氣體加入石英管2內(nèi)，在不受外界的干擾的情況下，會沿著固定的線路流動，這就是所說的層流，在層流的模式下進行擴散，結(jié)果是有的地方擴散深，有的淺，硅片周邊深，中間淺，原因就是氣流在流動過程中，每一層的流量是不一樣的，流量大的地方擴散就深。

為此，在生產(chǎn)過程中，電機5通過傳動機構(gòu)，如聯(lián)軸器6、曲柄機構(gòu)7帶動SiC漿安裝座3的不停的運動，從而使安裝有擴散片1的SiC漿將石英管2內(nèi)的氣流不停的攪動，使氣流形成無數(shù)的漩渦，讓層流變成了紊流，使擴散區(qū)域內(nèi)前后內(nèi)外的擴散氣源達到均勻，這樣在減少氣源的情況下也可大大地提高擴散均勻性。當然，傳動機構(gòu)還可采用其它形式，如通過齒輪傳動并換向擺動等。

本實用新型是采用使載有工件的推舟在工藝過程中不斷往返運動，將擴散氣體的流動方式由層流變?yōu)槲闪鳎哂幸韵聝?yōu)點：

1、有效地提高擴散地均勻性。

2、大大地降低了能耗。在擴散過程中，能源地消耗主要是由氣源排放與爐體地散熱造成，降低氣源地排放就降低了能耗。

3、大大地降低了對環(huán)境的污染。用于擴散氣源是對人體和環(huán)境都有損害的物質(zhì)，降低了氣源地排放對降低環(huán)境地污染有很大地作用。

4、采用傳統(tǒng)方式進氣源，可靠性高。

對于本實用新型各個實施例中所闡述的裝置，凡在本實用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。