[實用新型]玻璃鋼真空容器等離子體試驗系統

無效

• 申請號: 200820178012.3
• 申請日: 2008-11-17
• 公開（公告）號: CN201348645Y
• 公開（公告）日: 2009-11-18
• 發明（設計）人: 孫立臣;童靖宇;齊燕文;劉敏;汪力;賈瑞金;劉恩均
• 申請（專利權）人: 北京衛星環境工程研究所
• 主分類號: G01R29/10
• 分類號: G01R29/10
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1、一種玻璃鋼真空容器等離子體環境試驗系統，其特征在于，主要包括真空容器，等離子源，抽氣子系統；所述真空容器包括有真空封蓋大門，容器體，真空封蓋大門通過鉸鏈聯接到容器體上；容器體的另一端端部中心部位通過閥門與等離子體源連接，端部的上方有供液氮流出熱沉的出口裝置，正下部有供液氮進入熱沉的進口裝置；容器體上方有用于各種測量使用的法蘭接口，容器體的中間水平位置上有用于觀察內部環境的玻璃窗；真空容器的下部有用于支撐的支座，容器采用臥式方式固定在支座上。

2、如權利要求1所述的環境試驗系統，其特征在于，所述的真空容器為能滿足工作壓力小于或等于1.3×10^-3Pa的容器裝置。

3、如權利要求1所述的環境試驗系統，其特征在于，所述容器體的形狀為圓柱形，方形，球體形狀。

4、如權利要求1所述的環境試驗系統，其特征在于，所述容器體的端部采用的形式為平板型封頭，碟型封頭，橢圓型封頭或球冠型封頭。

5、如權利要求1所述的環境試驗系統，其特征在于，所述真空封蓋大門的形狀為平板型封頭，碟型封頭，橢圓型封頭或球冠型封頭。

6、如權利要求1-5任一項所述的環境試驗系統，其特征在于，所述的抽氣子系統為能夠實現對真空容器進行抽氣，實現真空獲得的裝置。

7、如權利要求6所述的環境試驗系統，其特征在于，所述抽氣子系統的無油抽氣子系統。

8、如權利要求7所述的環境試驗系統，其特征在于，所述無油抽氣子系統包括分子泵和干泵組合系統、低溫泵和干泵組合系、低溫泵、分子泵共同與無油機械泵組合系統、或者低溫泵、分子泵做為主抽氣泵與機械增壓泵和干泵的組合系統。

9、如權利要求1-5任一項所述的環境試驗系統，其特征在于，所述等離子源子系統包括直流(DC)、射頻容性耦合(CCP)、射頻感應耦合(ICP)、微波、微波ECR等離子體源。