[實用新型]自動除塵機

有效

• 申請號: 200820176661.X
• 申請日: 2008-11-12
• 公開（公告）號: CN201332088Y
• 公開（公告）日: 2009-10-21
• 發明（設計）人: 林嘉輝
• 申請（專利權）人: 蘇州群策科技有限公司;欣興電子股份有限公司
• 主分類號: H01L21/00
• 分類號: H01L21/00;B08B5/02
• 代理公司: 隆天國際知識產權代理有限公司
• 代理人: 潘培坤;張向琨

1、一種自動除塵機，特征在于，其用以清潔多個晶片表面的吸附顆粒，包含：

一機體；

一設置于該機體內部的正面除塵區，其包括一第一吹氣機構及一第一排氣機構，該第一吹氣機構提供一去離子氣流，該去離子氣流吹向所述晶片的一面，該第一排氣機構用以排出該去離子氣流；

一設置于該機體內部的背面除塵區，其設置于該正面除塵區的下游，該背面除塵區包括一第二吹氣機構及一第二排氣機構，該第二吹氣機構提供一去離子氣流，該去離子氣流吹向所述晶片的另一面，該第二排氣機構用以排出該去離子氣流；以及

一設置于該機體內部的晶片翻轉區，其設置于該正面除塵區及該背面除塵區之間，該晶片翻轉區具有一晶片翻轉機構。

2、如權利要求1所述的自動除塵機，其特征在于：該正面除塵區還包括有一上蓋治具機構及一進料堆棧機構。

3、如權利要求2所述的自動除塵機，其特征在于：該背面除塵區還包括有一下蓋治具機構及一出料堆棧機構。

4、如權利要求1所述的自動除塵機，其特征在于：該第一吹氣機構及該第二吹氣機構皆包括多個吹氣噴嘴。

5、如權利要求4所述的自動除塵機，其特征在于：每一個吹氣噴嘴均為標準型噴嘴頭或擴散型噴嘴頭。

6、如權利要求1所述的自動除塵機，其特征在于：該第一排氣機構與該第二排氣機構連接于一集塵單元，且該第一排氣機構及該第二排氣機構與該集塵單元之間設有一回風逆止閥。

7、如權利要求6所述的自動除塵機，其特征在于：該集塵單元具有至少兩組集塵裝置，且每一組集塵裝置均設有一集塵袋及一集塵袋更換指示元件。

8、如權利要求1所述的自動除塵機，其特征在于：該機體內部為一正壓狀態。

9、如權利要求3所述的自動除塵機，其特征在于：該上蓋治具機構及該下蓋治具機構皆為一框體，且該框體具有快拆的組裝結構。

10、如權利要求1所述的自動除塵機，其特征在于：該第一排氣機構及該第二排氣機構分別通過一排氣管線連通該正面除塵區與該背面除塵區。