[實用新型]配置有低耗費冷卻附件的單晶提拉培育裝置

無效

• 申請號: 200820175701.9
• 申請日: 2008-10-21
• 公開（公告）號: CN201272835Y
• 公開（公告）日: 2009-07-15
• 發明（設計）人: 李榕生;劉曉利;姜晶晶;楊欣;宋岳;王青春
• 申請（專利權）人: 寧波大學
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及一種配置有低耗費冷卻附件的單晶提拉培育裝置，屬于C30B單晶生長領域。

背景技術

在無機大單晶培育工藝中，真空提拉爐是常用設備。

真空提拉爐的爐殼在工作狀態下必須通水冷卻，該種設備的安裝，按照一般的專業施工規范，是必須要在使用場地附近開挖一個碩大的鋼筋混凝土澆鑄的地下貯水槽，并在其中貯水，用作爐殼循環冷卻水，通過咨詢相關土建施工部門了解到，地下貯水槽的土建施工報價逼近真空提拉爐設備本身的價位，很顯然，這樣一筆可觀的額外耗費不是真空提拉爐購買人熱切期盼支出的部分。

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題是，拋棄真空提拉爐行業內常規的挖建地下鋼筋混凝土貯水槽的安裝技術條件規范，研發一種配置有低耗費冷卻附件的單晶提拉培育裝置。

本實用新型通過如下方案解決所述技術問題，該方案提供的裝置是一種配置有低耗費冷卻附件的單晶提拉培育裝置，該裝置包括單晶提拉爐，以及，水泵，在單晶提拉爐的爐殼中裝設有爐殼冷卻水流通通道，爐殼冷卻水流通通道的兩端分別與裝設在單晶提拉爐爐殼外部的冷卻水進水接口以及冷卻水出水接口聯通，裝設在單晶提拉爐爐殼外部的冷卻水進水接口與水泵的出水口聯通，本案改進之處是，水泵的進水口與逆流式冷卻塔的出水口聯通，裝設在單晶提拉爐爐殼外部的冷卻水出水接口與逆流式冷卻塔的進水口聯通。該裝置當然還可以包括一些其它部件，例如，與單晶提拉爐聯接的真空泵，以及，與單晶提拉爐聯接的電源及溫度控制柜，等等。

本實用新型的優點是，裝置所涉逆流式冷卻塔價格低廉，安裝簡單，運行可靠，占地面積小，并且能夠根據需要輕松遷移。

附圖說明

圖1以框圖示意本案實施要點。

圖中，1是包括真空泵以及電源與溫度控制柜在內的單晶提拉爐主體設備，2是所述單晶提拉爐主體設備的核心部件即單晶提拉爐，3是逆流式冷卻塔，4是水泵，圖中的箭頭符號示意冷卻水循環流動方向。

具體實施方式

圖1以框圖示意本案實施要點，該裝置包括單晶提拉爐2，以及，水泵4，在單晶提拉爐2的爐殼中裝設有爐殼冷卻水流通通道，爐殼冷卻水流通通道的兩端分別與裝設在單晶提拉爐爐殼外部的冷卻水進水接口以及冷卻水出水接口聯通，裝設在單晶提拉爐2爐殼外部的冷卻水進水接口與水泵4的出水口聯通，水泵4的進水口與逆流式冷卻塔3的出水口聯通，裝設在單晶提拉爐2爐殼外部的冷卻水出水接口與逆流式冷卻塔3的進水口聯通。在本案設計人所屬部門試驗性實施的一套本案裝置運轉良好，本案裝置所涉冷卻附件是逆流式冷卻塔3，本案裝置所涉冷卻附件耗費低廉。