[實用新型]單晶爐防燒毀石墨件裝置

無效

• 申請號: 200820170858.2
• 申請日: 2008-12-29
• 公開（公告）號: CN201351184Y
• 公開（公告）日: 2009-11-25
• 發明（設計）人: 苗苗
• 申請（專利權）人: 嘉興嘉晶電子有限公司
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及一種石墨件裝置，尤其是一種單晶爐防燒毀石墨件裝置。

背景技術

目前，在單晶硅直拉爐的運行過程中，由于硅原料，石英坩堝，石墨坩堝等部件有時會出現異常，比如在單晶硅的制造過程中，硅由于被加熱至熔點以上的溫度在石英坩堝中呈現液態，而石英坩堝被加熱后其硬度會降低變得很柔軟，當石英坩堝由于某些原因破裂后，液態的硅就會從石英坩堝和石墨坩堝中流出。而現有技術的石墨件裝置都是如圖1所示的結構，石墨托桿的上半部分為用于托住坩堝的石墨托，石墨托下沒有專門用來盛裝漏出硅液的裝置，石墨托的下邊緣為圓弧形設計，當硅液漏出往下流時，這種結構又不具備導流功能，導致融化的硅液從石英坩堝流出，流進石墨熱場中，燒毀不銹鋼材質的爐體，甚至導致安全事故的發生，造成較大的損失。

發明內容

本實用新型的目的是為了解決上述技術的不足而提供一種可使漏出的硅液得到有效控制，不會燒毀不銹鋼材質的爐體，增強生產安全性，避免經濟損失的單晶爐防燒毀石墨件裝置。

為了達到上述目的，本實用新型所設計的一種單晶爐防燒毀石墨件裝置，它包括置于坩堝下的石墨托桿，石墨托桿包含托住坩堝的石墨托和石墨托下的桿體，在石墨托下設有漏液容納裝置。所述的漏液容納裝置可由內防漏環和外防漏環組成，內防漏環和外防漏環用石墨材料制成，漏液容納裝置環設在桿體的周邊。漏液容納裝置的底部可以直接利用爐底壓板，也就是內防漏環和外防漏環直接設在石墨的爐底壓板上。

漏液容納裝置用來盛裝漏出的硅液，使硅液能被良好地控制起來，不致于燒毀不銹鋼材質的爐體、導致安全事故的發生。為了使從石墨托上滴落的硅液能落在內防漏環和外防漏環之間。在石墨托下設有導流邊緣。漏出的硅液可順著導流邊緣滴落，使硅液得到有效的控制。所述的導流邊緣可以為倒三角形結構，漏出的硅液會順著三角形的導流邊緣滴落到內防漏環和外防漏環之間，導流邊緣還可以是有導流功能的鉤狀結構。

本實用新型所得到的單晶爐防燒毀石墨件裝置，結構簡單，效果明顯。在單晶硅直拉爐的運行過程中，一旦遇到硅原料、石英坩堝、石墨坩堝等部件出現異常，導致硅液從坩堝內流出的情況，本裝置即可將漏出的硅液導流至固定的區間內，如內防漏環和外防漏環之間，使硅液得到有效的控制，不致于燒毀不銹鋼材質的爐體，大大增強了生產安全性，為企業避免了損失。

附圖說明

圖1是現有單晶爐石墨件裝置的結構示意圖；

圖2是本實用新型實施例1的結構示意圖；

圖3是本實用新型實施例2石墨托桿的結構示意圖。

圖中：石墨托桿1、石墨托2、導流邊緣3、內防漏環4、外防漏環5、坩堝6、桿體7、漏液容納裝置8、爐底壓板9。

具體實施方式

下面通過實施例結合附圖對本實用新型作進一步的描述。

實施例1：

如圖2所示，本實施例所描述的單晶爐防燒毀石墨件裝置，它包括置于坩堝6下的石墨托桿1，石墨托桿1包含托住坩堝6的石墨托2和石墨托2下的桿體7，在石墨托2下設有漏液容納裝置8。所述的漏液容納裝置8由內防漏環4和外防漏環5組成，內防漏環4和外防漏環5用石墨材料制成，漏液容納裝置8環設在桿體7的周邊，漏液容納裝置8的底部直接利用爐底壓板9，也就是內防漏環4和外防漏環5直接設在石墨的爐底壓板9上。

為了使從石墨托2上滴落的硅液能落在內防漏環4和外防漏環5之間，在石墨托2下設有導流邊緣3，所述的導流邊緣3是倒三角形結構，漏出的硅液可順著導流邊緣3滴落，使硅液得到有效的控制。

實施例2：

如圖3所示，本實施例所描述的單晶爐防燒毀石墨件裝置，是將實施例1中的石墨托2下所述的導流邊緣3制成有導流功能的鉤狀結構。