[實用新型]一種硅塊切割設備的防漲裂裝置

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200820169186.3
• 申請日: 2008-12-11
• 公開（公告）號: CN201415447Y
• 公開（公告）日: 2010-03-03
• 發(fā)明（設計）人: 吳云才;吳春林;楊長劍
• 申請（專利權(quán)）人: 浙江昱輝陽光能源有限公司
• 主分類號: B28D5/00
• 分類號: B28D5/00;B28D7/00;B28D1/22
• 代理公司: 浙江杭州金通專利事務所有限公司
• 代理人: 徐關壽

技術領域：

本實用新型涉及一種硅塊切割設備的防漲裂裝置，屬于半導體晶體硅工業(yè)生產(chǎn)設備領域。

背景技術：

晶體硅片廣泛應用于微電子或太陽能電池領域，是硅料經(jīng)直拉法或鑄錠法制成單晶棒或多晶硅錠，切割成硅塊后，通過鋼絲切片而得到。鋼絲切片是利用直徑100-300微米的鋼絲卷繞在兩個刻有細小槽紋的導輪上，按一定間距相互平行地排布。導輪轉(zhuǎn)動時，一邊為該鋼絲提供切割液，一邊將硅塊按壓在鋼絲上，對硅塊進行切片。

硅塊切片過程中，微小振動常導致硅片上產(chǎn)生條紋或者線痕，并且在切割快結(jié)束時因硅塊兩端硅片的具有向外的張力而使兩端的硅片容易產(chǎn)生裂片，此外斜面爬坡使鋼線受力不均而容易產(chǎn)生斷線。

發(fā)明內(nèi)容：

本實用新型針對存在的上述問題，提供了一種硅塊切割設備的防漲裂裝置，其解決的技術問題在于有效的減落了切片中硅塊的微小振動而提高了硅片的優(yōu)良率；有效降低切片過程中硅片的破裂現(xiàn)象而提高單次切割的出片量；有效的防止斜面爬坡而降低鋼絲斷線的概率而降低切割成本。

本實用新型的硅塊切割設備設有一防止切割硅塊漲裂的裝置，所述的防漲裂裝置由一底板和設于硅塊兩端、與底板固定連接的兩塊固定板組成，固定板開設若干螺孔，切割硅塊放置于固定板之間，用螺釘夾持，使螺釘與硅塊保持所需的接觸應力，螺釘為軟性材料制成，可選用塑料或尼龍等。

本實用新型的技術方案的保護范圍還包括將螺釘夾持替換為使用插片夾持，在硅塊與固定板之間使用若干插片實現(xiàn)夾持，插片的厚薄和數(shù)量可根據(jù)需要變化。

本實用新型還可采用如下技術方案：所述的防漲裂裝置由一底板和設于硅塊兩端的兩塊固定板組成，所述的一塊或兩塊固定板上連接絲桿，由絲桿的位移提供夾持硅塊所需要的接觸應力，固定板上端可與底板固定連接。

在單晶硅塊或多晶硅塊切片過程中，硅塊與固定板之間的接觸力使得硅錠的微小振動減落；這個接觸力的固定作用又可以控制切割過程中斜面爬坡的出現(xiàn)而使得鋼絲斷線的概率大大降低；同時，在切割快結(jié)束的時候抵制了兩端的硅片向外蹺的張力。本實用新型的技術方案使得單次切割的出片量增加，提高了切片成品率。

本實用新型工藝簡單、易行可靠，提高了切割硅片的優(yōu)良率；降低了單次切割的裂片率，使得單次切割的出片量明顯增加；減小切片過程中鋼絲斷線的概率，降低切片的成本，可以廣泛應用于單晶硅和多晶硅硅片切割的相關設備。

附圖說明：

下面結(jié)合附圖和具體實施方式對本實用新型做進一步詳細說明。

圖1為本實用新型實施例1防漲裂裝置的側(cè)視結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為本實用新型實施例1防漲裂裝置的主視結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3為本實用新型實施例2的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖4為本實用新型實施例3的結(jié)構(gòu)示意圖。

其中，硅塊1，玻璃板2，底板3，鋼片4，固定螺孔5，螺絲6，螺孔7，螺釘8，插片9，絲桿10。

具體實施方式：

實施例1：

本實用新型的防漲裂裝置如圖1和圖2所示，310mm的粘膠玻璃板2下粘有300mm的硅塊1，上面則粘有鋼制的粘膠底板3，鋼制底板3上鉆有兩個固定螺孔5，安裝一塊長155mm、寬100mm、厚為5mm鋼片4，鋼片4由固定螺絲6固定，鋼片4頂端鉆有另外的兩個螺孔7，通過該孔安裝兩個塑料螺釘8，使得硅塊1與鋼片4保持一定的接觸力。

實施例2：

本實用新型的防漲裂裝置如圖3所示，310mm的粘膠玻璃板2下粘有300mm的硅塊1，上面則粘有鋼制的粘膠底板3，鋼制底板3上鉆有兩個固定螺孔5，安裝一塊長155mm、寬100mm、厚為5mm鋼片4，鋼片4由固定螺絲6固定，鋼片4與硅塊1之間插設一片厚度為5mm的塑料插片9，使得硅塊1與鋼片4保持一定的接觸力。

實施例3：

本實用新型的防漲裂裝置如圖4所示，310mm的粘膠玻璃板2下粘有300mm的硅塊1，上面則粘有鋼制的粘膠底板3，鋼制底板3上鉆有兩個固定螺孔5，安裝一塊長155mm、寬100mm、厚為5mm鋼片4，鋼片4由固定螺絲6固定，鋼片4連接一絲桿10，通過絲桿10的調(diào)節(jié)，使硅塊1與鋼片4保持一定的接觸力。