[實用新型]一種多晶硅鑄錠爐硅液溢流保護結構

無效

• 申請號: 200820169120.4
• 申請日: 2008-11-28
• 公開（公告）號: CN201334537Y
• 公開（公告）日: 2009-10-28
• 發明（設計）人: 趙波;徐芳華
• 申請（專利權）人: 紹興縣精工機電研究所有限公司
• 主分類號: C30B29/06
• 分類號: C30B29/06;C30B28/06
• 代理公司: 浙江翔隆專利事務所
• 代理人: 戴曉翔

技術領域

本實用新型涉及一種多晶硅鑄錠爐硅液溢流保護結構，屬多晶硅晶體定向生長爐的制造技術領域。

背景技術

多晶硅鑄錠爐是一種真空壓力容器，主要用于將原材料多晶硅在真空負壓下高溫熔化，然后重新凝固鑄錠。一般在爐體內部都設有支撐臺面，并在這臺面上放上承裝有硅原料的石英坩堝，由于石英坩堝的特性，不可避免的會出現石英坩堝破裂的情況，如果此時正好處在硅熔化呈液態狀態時，硅液就會從破裂的石英坩堝往下流。盡管一般多晶硅鑄錠爐底部為防止硅液溢流造成破壞設有重重安全保障，但都存有疏漏，一般多晶硅鑄錠爐為完成鑄錠工藝的需要，在爐體的底部都設計有與爐體內部相通的各種形式的凸臺，并且爐體內壁夾層都通有一定壓力的循環冷卻水，凸臺與爐體本身是靠焊接組合在一起，而焊接往往是爐體結構上的一個薄弱區，如果溢流的硅液熔穿了凸臺與爐體的焊接處焊縫，那么極有可能爐體夾層內的高壓水會滲入到爐體內部，而爐體內部是一個高溫負壓的環境，大量的水一下子進入爐體，會急劇汽化，造成爐體內部壓力急劇增大，甚至引發爆炸，發生嚴重的安全事故。

發明內容

本實用新型的目的提供一種設計合理，結構簡單，能有效防范硅液溢流造成嚴重安全事故的多晶硅鑄錠爐硅液溢流保護結構。

本實用新型為一種多晶硅鑄錠爐硅液溢流保護結構，包括爐體內壁，爐體外壁，焊接于爐體內壁底部中心位置的凸臺，置于爐體內壁和爐體外壁的夾層中的高壓冷卻循環水，其特征在于凸臺兩側的爐體內壁和爐體外壁之間焊接有隔圈。

本實用新型設計合理，結構簡單，通過對爐體凸臺處結構部分進行合理改進，在凸臺外圍增加一個隔圈使得焊縫薄弱區與高壓冷卻循環水隔離開來，能有效防范硅液溢流造成嚴重安全事故。

附圖說明

圖1為本實用新型的整體結構剖視圖；

圖2為發生溢硅時硅液堆積流動示意圖。

具體實施方式

本實用新型主要由爐體內壁1、爐體外壁2、焊接于爐體內壁1底部中心位置的凸臺3、置于爐體內壁1和爐體外壁2的夾層中的高壓冷卻循環水5、焊接于凸臺3兩側的爐體內壁1和爐體外壁2之間的隔圈4等構成。

使用時，一旦硅液7溢流在凸臺3處堆積，造成焊縫6熔穿，高壓冷卻循環水5在隔圈4的隔離下，不會進入高溫負壓的爐體內部，也就不會因為有大量的水汽造成爐內壓力急劇增大，形成安全事故；溢出的硅液如果熔穿焊縫6，只會造成部分外界空氣進入爐體內部，爐內的壓力不會一下子急劇上升，因此也就不易形成爆炸之類的安全事故；如果溢流的硅液很多，熔穿了焊縫6，溢出的硅液會在重力作用下，流出爐體外面，不會大量積聚在爐體內部，由于溢出的硅液不涉及到爐體夾層部分，因此就算硅液溢流，凝固后，爐體本身的維修也相對比較方便。