[實(shí)用新型]一種多晶硅鑄錠爐硅液溢流保護(hù)結(jié)構(gòu)

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200820169120.4
• 申請(qǐng)日: 2008-11-28
• 公開（公告）號(hào): CN201334537Y
• 公開（公告）日: 2009-10-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 趙波;徐芳華
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 紹興縣精工機(jī)電研究所有限公司
• 主分類號(hào): C30B29/06
• 分類號(hào): C30B29/06;C30B28/06
• 代理公司: 浙江翔隆專利事務(wù)所
• 代理人: 戴曉翔

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種多晶硅鑄錠爐硅液溢流保護(hù)結(jié)構(gòu)，屬多晶硅晶體定向生長爐的制造技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)

多晶硅鑄錠爐是一種真空壓力容器，主要用于將原材料多晶硅在真空負(fù)壓下高溫熔化，然后重新凝固鑄錠。一般在爐體內(nèi)部都設(shè)有支撐臺(tái)面，并在這臺(tái)面上放上承裝有硅原料的石英坩堝，由于石英坩堝的特性，不可避免的會(huì)出現(xiàn)石英坩堝破裂的情況，如果此時(shí)正好處在硅熔化呈液態(tài)狀態(tài)時(shí)，硅液就會(huì)從破裂的石英坩堝往下流。盡管一般多晶硅鑄錠爐底部為防止硅液溢流造成破壞設(shè)有重重安全保障，但都存有疏漏，一般多晶硅鑄錠爐為完成鑄錠工藝的需要，在爐體的底部都設(shè)計(jì)有與爐體內(nèi)部相通的各種形式的凸臺(tái)，并且爐體內(nèi)壁夾層都通有一定壓力的循環(huán)冷卻水，凸臺(tái)與爐體本身是靠焊接組合在一起，而焊接往往是爐體結(jié)構(gòu)上的一個(gè)薄弱區(qū)，如果溢流的硅液熔穿了凸臺(tái)與爐體的焊接處焊縫，那么極有可能爐體夾層內(nèi)的高壓水會(huì)滲入到爐體內(nèi)部，而爐體內(nèi)部是一個(gè)高溫負(fù)壓的環(huán)境，大量的水一下子進(jìn)入爐體，會(huì)急劇汽化，造成爐體內(nèi)部壓力急劇增大，甚至引發(fā)爆炸，發(fā)生嚴(yán)重的安全事故。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的提供一種設(shè)計(jì)合理，結(jié)構(gòu)簡單，能有效防范硅液溢流造成嚴(yán)重安全事故的多晶硅鑄錠爐硅液溢流保護(hù)結(jié)構(gòu)。

本實(shí)用新型為一種多晶硅鑄錠爐硅液溢流保護(hù)結(jié)構(gòu)，包括爐體內(nèi)壁，爐體外壁，焊接于爐體內(nèi)壁底部中心位置的凸臺(tái)，置于爐體內(nèi)壁和爐體外壁的夾層中的高壓冷卻循環(huán)水，其特征在于凸臺(tái)兩側(cè)的爐體內(nèi)壁和爐體外壁之間焊接有隔圈。

本實(shí)用新型設(shè)計(jì)合理，結(jié)構(gòu)簡單，通過對(duì)爐體凸臺(tái)處結(jié)構(gòu)部分進(jìn)行合理改進(jìn)，在凸臺(tái)外圍增加一個(gè)隔圈使得焊縫薄弱區(qū)與高壓冷卻循環(huán)水隔離開來，能有效防范硅液溢流造成嚴(yán)重安全事故。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型的整體結(jié)構(gòu)剖視圖；

圖2為發(fā)生溢硅時(shí)硅液堆積流動(dòng)示意圖。

具體實(shí)施方式

本實(shí)用新型主要由爐體內(nèi)壁1、爐體外壁2、焊接于爐體內(nèi)壁1底部中心位置的凸臺(tái)3、置于爐體內(nèi)壁1和爐體外壁2的夾層中的高壓冷卻循環(huán)水5、焊接于凸臺(tái)3兩側(cè)的爐體內(nèi)壁1和爐體外壁2之間的隔圈4等構(gòu)成。

使用時(shí)，一旦硅液7溢流在凸臺(tái)3處堆積，造成焊縫6熔穿，高壓冷卻循環(huán)水5在隔圈4的隔離下，不會(huì)進(jìn)入高溫負(fù)壓的爐體內(nèi)部，也就不會(huì)因?yàn)橛写罅康乃斐蔂t內(nèi)壓力急劇增大，形成安全事故；溢出的硅液如果熔穿焊縫6，只會(huì)造成部分外界空氣進(jìn)入爐體內(nèi)部，爐內(nèi)的壓力不會(huì)一下子急劇上升，因此也就不易形成爆炸之類的安全事故；如果溢流的硅液很多，熔穿了焊縫6，溢出的硅液會(huì)在重力作用下，流出爐體外面，不會(huì)大量積聚在爐體內(nèi)部，由于溢出的硅液不涉及到爐體夾層部分，因此就算硅液溢流，凝固后，爐體本身的維修也相對(duì)比較方便。