[實用新型]蝕刻機

無效

• 申請號: 200820168518.6
• 申請日: 2008-11-20
• 公開（公告）號: CN201313937Y
• 公開（公告）日: 2009-09-23
• 發明（設計）人: 沈慕禹
• 申請（專利權）人: 紹興華立電子有限公司
• 主分類號: C23F1/08
• 分類號: C23F1/08
• 代理公司: 紹興市越興專利事務所
• 代理人: 蔣衛東

技術領域

本實用新型公開了一種蝕刻機，屬于蝕刻設備技術領域。

背景技術

現有蝕刻機的進液方式為非對流式，如圖1所示，蝕刻液由數個位于同側的進液口1進入各自對應的噴淋管2內，再由安裝在各噴淋管2上的數個噴嘴3將蝕刻液霧化后噴出。每個進液口1連通兩條上下分布的噴淋管2。各上、下噴淋管2的噴嘴3之間安裝有滾輪輸送裝置4。金屬板5由滾輪輸送裝置4的前側進入，后側傳出。輸送過程中，蝕刻液經各上、下噴淋管2的噴嘴3霧化后，從上、下方向噴淋到金屬板5上，對金屬板5進行蝕刻。由該非對流式蝕刻機蝕刻出來的金屬板5，存在蝕刻不均勻的問題，而該問題主要由以下原因造成：位于噴淋管2進液端的噴嘴3壓力大，位于噴淋管2末端的噴嘴3壓力小，從而導致蝕刻不均勻，影響產品性能。

實用新型內容

為了解決上述問題，本實用新型提供了一種蝕刻均勻的蝕刻機。

為了實現上述目的，本實用新型所采用的技術方案為：

一種蝕刻機，包括安裝在箱體內的滾輪輸送裝置，所述箱體左右兩側均開設有數個進液口，每個進液口連通有兩條上下分布的噴淋管，每條噴淋管上安裝有數個噴嘴，滾輪輸送裝置位于各上、下噴淋管的噴嘴之間，且連通左側進液口的各噴淋管與連通右側進液口的各噴淋管相互間隔排列。

作為上述方案的進一步設置，所述各噴淋管的間隔距離H為15厘米。

所述連通左側進液口的各噴淋管上安裝有7個噴嘴，連通右側進液口的各噴淋管上安裝有6個噴嘴。

采用上述方案后，本實用新型在箱體左右兩側均開設有進液口，連通左側進液口的各噴淋管與連通右側進液口的各噴淋管相互間隔排列，解決了單側進液口，因位于噴淋管進液端的噴嘴壓力大、位于噴淋管末端的噴嘴壓力小而產生的蝕刻不均勻問題。

以下結合附圖和具體實施方式對本實用新型作進一步說明。

附圖說明

圖1為現有技術非對流式蝕刻機的結構示意圖；

圖2為本實用新型蝕刻機的結構示意圖。

具體實施方式

如圖2所示，本實用新型蝕刻機，包括左右兩側均開設有數個進液口8的箱體6，每個進液口8連通有兩條上下分布的噴淋管9，每條噴淋管9上安裝有數個噴嘴10，各上、下噴淋管9的噴嘴10之間安裝有滾輪輸送裝置7，且連通左側進液口8的各噴淋管9與連通右側進液口8的各噴淋管9相互間隔排列。

連通左側進液口8的各噴淋管9，其位于噴淋管9進液端的噴嘴10壓力大、位于噴淋管9末端的噴嘴10壓力小；連通右側進液口8的各噴淋管9，其位于噴淋管9進液端的噴嘴10壓力大、位于噴淋管9末端的噴嘴10壓力小。通過左右兩側進液口8的結合設置，克服了單側進液的缺點，解決了金屬板11蝕刻不均勻問題。

為了使各噴淋管9及噴嘴10的布局更為合理，以便進一步提高蝕刻效果及生產效率，各噴淋管9的間隔距離H為15厘米；連通左側進液口8的各噴淋管9上安裝有7個噴嘴10，連通右側進液口8的各噴淋管9上安裝有6個噴嘴10。

上述實施例僅用于解釋說明本實用新型的發明構思，而非對本實用新型權利保護的限定，凡利用此構思對本實用新型進行非實質性的改動，均應落入本實用新型的保護范圍。