[實用新型]太陽電池等離子刻蝕模具

無效

• 申請號: 200820168517.1
• 申請日: 2008-11-20
• 公開（公告）號: CN201289862Y
• 公開（公告）日: 2009-08-12
• 發明（設計）人: 俞相明;周曉兵
• 申請（專利權）人: 浙江向日葵光能科技有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L21/3065
• 代理公司: 紹興市越興專利事務所
• 代理人: 蔣衛東

技術領域

本實用新型公開了一種太陽電池等離子刻蝕模具，屬于太陽電池刻蝕設備技術領域。

背景技術

太陽電池實際上是一個面積比較大的非線性PN結，在制作過程中，需要將擴散工序中形成的硅邊緣P-N結去除，否則，將導致電極正負極之間并聯電阻過小，影響電池的輸出特性。大規模生產中，一般用四氟化碳在高頻電場中電離出氟離子與Si反應生成SiF₄的方式來去除邊緣PN結。

現有的太陽電池等離子刻蝕模具，主要由底盤、底板、蓋板、加壓裝置組成。刻蝕時，先將底板置于底盤上，再將數片硅片疊層置于底板上，接著于最頂端的硅片上放置蓋板，再用加壓裝置通過蓋板對整疊硅片進行壓緊，最后充入四氟化碳氣體進行刻蝕，以去除邊緣PN結。實踐證明，位于下端部分的硅片，尤其是底端部分的硅片，存在刻蝕不全、不均勻的問題。

實用新型內容

為了解決上述問題，本實用新型提供了一種可將整疊硅片的邊緣PN結，全面、均勻刻蝕完全的太陽電池等離子刻蝕模具。

為了實現上述目的，本實用新型所采用的技術方案為：

一種太陽電池等離子刻蝕模具，包括底盤、底板、蓋板、加壓裝置，所述底盤與底板之間設置有不少于三個的支撐柱，且所有支撐柱等高。

作為上述方案的進一步設置，所述支撐柱固定安裝于底盤上。

所述支撐柱為三個，且均勻分布于底盤上。

所述支撐柱為圓柱體。

所述支撐柱選用不銹鋼制成。

所述底盤呈圓形。

采用上述方案后，本實用新型在底盤與底板之間設置有不少于三個的支撐柱，且所有支撐柱等高，如此設計以后，支撐柱將底盤與底板之間隔離開一定的距離，有利于刻蝕氣體(如四氟化碳氣體)環流通過整疊硅片，使整疊硅片的邊緣PN結，全面、均勻的被刻蝕完全，尤其解決了位于底端部分的硅片，刻蝕不全、不均勻的問題。

以下結合附圖和具體實施方式對本實用新型作進一步說明。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖；

圖2為圖1撤掉底板、蓋板后的結構示意圖；

圖3為本實用新型工作狀態的結構示意圖。

具體實施方式

如圖1、圖2、圖3所示，本實用新型太陽電池等離子刻蝕模具，包括底盤1、底板3、蓋板4、加壓裝置5，此為現有太陽電池等離子刻蝕模具的結構。

本案的改進點是：底盤1與底板3之間設置有不少于三個的支撐柱2，且所有支撐柱2等高。如此設計以后，支撐柱2將底盤1與底板3之間隔離開一定的距離，有利于刻蝕氣體(如四氟化碳氣體)環流通過整疊硅片6，使整疊硅片6的邊緣PN結，全面、均勻的被刻蝕完全，尤其解決了位于底端部分的硅片6，刻蝕不全、不均勻的問題。

作為本案的進一步優選，支撐柱2固定安裝于底盤1上。當然也可將支撐柱2固定安裝于底板3的底端，或者是直接放置于底盤1與底板3之間。

為了簡化結構，同時又能達到良好的效果，本實施例優選了三個支撐柱2的結構設計，且該三個支撐柱2均勻分布于底盤1上，其中底盤1為圓形。

為了進一步提高整體性能，支撐柱2為選用不銹鋼制成的圓柱體。不銹鋼材料，結構牢固，熱膨脹系數低。

刻蝕時，先將底板3置于底盤1的三個支撐柱2上，再將數片硅片6疊層置于底板3上，接著于最頂端的硅片6上放置蓋板4，再用加壓裝置5通過蓋板4對整疊硅片6進行壓緊，最后充入四氟化碳氣體進行刻蝕，以去除邊緣PN結。

上述實施例僅用于解釋說明本實用新型的發明構思，而非對本實用新型權利保護的限定，凡利用此構思對本實用新型進行非實質性的改動，均應落入本實用新型的保護范圍。