[實(shí)用新型]太陽(yáng)電池等離子刻蝕模具的加壓系統(tǒng)

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200820168515.2
• 申請(qǐng)日: 2008-11-20
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN201289860Y
• 公開(kāi)（公告）日: 2009-08-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 俞相明;周曉兵
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 浙江向日葵光能科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L31/18
• 分類(lèi)號(hào): H01L31/18;H01L21/687;H01L21/3065
• 代理公司: 紹興市越興專(zhuān)利事務(wù)所
• 代理人: 蔣衛(wèi)東

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型公開(kāi)了一種太陽(yáng)電池等離子刻蝕模具的加壓系統(tǒng)，屬于太陽(yáng)電池刻蝕設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)

太陽(yáng)電池實(shí)際上是一個(gè)面積比較大的非線性PN結(jié)，在制作過(guò)程中，需要將擴(kuò)散工序中形成的硅邊緣P-N結(jié)去除，否則，將導(dǎo)致電極正負(fù)極之間并聯(lián)電阻過(guò)小，影響電池的輸出特性。大規(guī)模生產(chǎn)中，一般用四氟化碳在高頻電場(chǎng)中電離出氟離子與Si反應(yīng)生成SiF₄的方式來(lái)去除邊緣PN結(jié)。因而反應(yīng)過(guò)程中需將硅片疊層壓緊，否則，硅表面的擴(kuò)散層也將會(huì)部分去除，影響太陽(yáng)電池的短路電流。

現(xiàn)有的太陽(yáng)電池等離子刻蝕模具，主要由底盤(pán)、底板、蓋板、加壓裝置組成。刻蝕時(shí)，先將底板置于底盤(pán)上，再將數(shù)片硅片疊層置于底板上，接著于最頂端的硅片上放置蓋板，再用加壓裝置通過(guò)蓋板對(duì)整疊硅片進(jìn)行壓緊，最后充入四氟化碳?xì)怏w進(jìn)行刻蝕，以去除邊緣PN結(jié)。

但在實(shí)際應(yīng)用中，現(xiàn)有的太陽(yáng)電池等離子刻蝕模具，其加壓系統(tǒng)存在一個(gè)很?chē)?yán)重的問(wèn)題，即不能準(zhǔn)確控制整疊硅片的壓力，致使產(chǎn)品性能不一，成品率低。

實(shí)用新型內(nèi)容

為了解決上述問(wèn)題，本實(shí)用新型提供了一種太陽(yáng)電池等離子刻蝕模具的加壓系統(tǒng)，該加壓系統(tǒng)可精確控制整疊硅片的壓力。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案為：

一種太陽(yáng)電池等離子刻蝕模具的加壓系統(tǒng)，包括底板、蓋板、加壓裝置，所述加壓裝置包括一對(duì)立柱、加壓條、螺栓、數(shù)控扭力扳手，加壓條水平設(shè)置在立柱的上端，加壓條中間開(kāi)設(shè)有與螺栓相配合的螺孔，且螺孔中心線垂直于加壓條；所述蓋板的中心開(kāi)設(shè)有容納槽；數(shù)控扭力扳手與螺栓相配合。

作為上述方案的進(jìn)一步設(shè)置，所述加壓條同側(cè)的左右兩端，分別開(kāi)設(shè)有一凹槽；兩個(gè)立柱的上端分別開(kāi)設(shè)有一溝槽，且兩個(gè)溝槽可分別對(duì)應(yīng)嵌套于兩個(gè)凹槽內(nèi)。

所述凹槽呈倒U型；溝槽呈圓環(huán)型。

所述加壓條選用鋁合金制成，底板、蓋板、立柱選用不銹鋼制成。

采用上述方案后，本實(shí)用新型通過(guò)結(jié)合立柱、加壓條、螺栓、數(shù)控扭力扳手以及中心開(kāi)設(shè)有容納槽的蓋板，實(shí)現(xiàn)了精確控制整疊硅片壓力的目的，使產(chǎn)品性能一致，成品率高。

以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為圖1中加壓條的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本實(shí)用新型安裝在刻蝕模具上的工作狀態(tài)示意圖。

具體實(shí)施方式

如圖1、圖2所示，本實(shí)用新型太陽(yáng)電池等離子刻蝕模具的加壓系統(tǒng)，包括底板1、蓋板2、加壓裝置，此為現(xiàn)有太陽(yáng)電池等離子刻蝕模具的結(jié)構(gòu)。

本案的改進(jìn)點(diǎn)是：加壓裝置包括一對(duì)立柱3a、3b、加壓條4、螺栓5、數(shù)控扭力扳手6。加壓條4水平設(shè)置在立柱3a、3b的上端。加壓條4中間開(kāi)設(shè)有與螺栓5相配合的螺孔7，且螺孔7中心線垂直于加壓條4。蓋板2的中心開(kāi)設(shè)有容納槽2a。數(shù)控扭力扳手6與螺栓5相配合。

為了方便操作、便于拆裝，加壓條4同側(cè)的左右兩端，分別開(kāi)設(shè)有凹槽4a、凹槽4b；立柱3a、立柱3b上端分別開(kāi)設(shè)有溝槽8a、溝槽8b，且溝槽8a、溝槽8b可分別嵌套于凹槽4a、凹槽4b內(nèi)。

為了提高使用性能，凹槽4a、凹槽4b呈倒U型；溝槽8a、溝槽8b呈圓環(huán)型。

由于現(xiàn)在一般用四氟材料制作等離子刻蝕模具，在反應(yīng)過(guò)程中，由于溫度等環(huán)境的反復(fù)影響，四氟模具加壓系統(tǒng)會(huì)變得松軟，使硅片的壓力降低，硅片刻蝕環(huán)變大，影響太陽(yáng)電池的輸出特性。因此，為了進(jìn)一步提高加壓系統(tǒng)的精度，以保證產(chǎn)品的成品率，加壓條4選用鋁合金制成，底板1、蓋板2、立柱3a、3b選用不銹鋼制成。

如圖3所示，本實(shí)用新型的工作原理如下：

①將立柱3a、3b分別固定安裝于底盤(pán)9兩端；

②通過(guò)凹槽4a、凹槽4b與溝槽8a、溝槽8b的結(jié)合，將加壓條4水平安裝于立柱3a、3b上端；

③通過(guò)螺孔7將螺栓5旋入加壓條4內(nèi)；

④將底板1置于底盤(pán)9上；

⑤將數(shù)片硅片10疊層置于底板1上，于最頂端的硅片10上放置蓋板2，并使蓋板2的容納槽2a對(duì)準(zhǔn)螺栓5底端的頂點(diǎn)；

⑥通過(guò)數(shù)控扭力扳手6旋轉(zhuǎn)螺栓5，當(dāng)螺栓5底端的頂點(diǎn)完全置于容納槽2a內(nèi)時(shí)，數(shù)控扭力扳手6開(kāi)始計(jì)數(shù)(壓力值)，數(shù)控扭力扳手6繼續(xù)旋轉(zhuǎn)螺栓5，使螺栓5通過(guò)蓋板2對(duì)整疊硅片10進(jìn)行壓緊，直到數(shù)控扭力扳手6的顯示數(shù)值到達(dá)設(shè)定值；

⑦撤走數(shù)控扭力扳手6，充入四氟化碳?xì)怏w進(jìn)行刻蝕，去除邊緣PN結(jié)。