[實用新型]一種工件夾具

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200820166097.3
• 申請日: 2008-10-14
• 公開（公告）號: CN201264324Y
• 公開（公告）日: 2009-07-01
• 發(fā)明（設計）人: 陸昌忠
• 申請（專利權(quán)）人: 浙江華友電子有限公司
• 主分類號: B28D7/04
• 分類號: B28D7/04
• 代理公司: 杭州裕陽專利事務所（普通合伙）
• 代理人: 應圣義

【技術(shù)領(lǐng)域】

本實用新型屬于多線切割硅單晶錠領(lǐng)域，尤其屬于一種與多線切割機匹配使用，用于固定硅單晶錠，然后利用多線切割機將硅單晶錠切割成硅單晶片的工件夾具。

【背景技術(shù)】

多線切割技術(shù)是目前世界上比較先進的硅片加工技術(shù)，它的原理是通過一根高速運動的鋼線，帶動附著在鋼線上的切割刃料對半導體等硬脆材料進行摩擦，從而達到切割效果。在整個過程中，鋼線通過十幾個導線輪的引導，在主線輥上形成一張線網(wǎng)，而待加工工件通過工件臺的上升下降實現(xiàn)工件的進給，可將半導體等硬脆材料一次同時切割為數(shù)百片，多線切割技術(shù)與其他技術(shù)相比，具有效率高，產(chǎn)能高，精度高且節(jié)材等優(yōu)點，業(yè)已逐漸取代傳統(tǒng)的刀鋸片、砂輪片及內(nèi)圓切割，是目前采用最廣泛的半導體等硬脆材料切割技術(shù)。

進行切割作業(yè)，一個與工件臺聯(lián)接、必不可少的附件就是固定待加工工件的工件夾具。該工件夾具的結(jié)構(gòu)包括主連接座和副連接座，以及分別貼置固定在主連接座和副連接座上的主連接片和副連接片。作業(yè)前，先將兩根待加工工件即硅單晶錠，連同主連接片和副連接片分別固定在主連接座和副連接座上，然后，再將攜帶工件的夾具對接在多線切割機的工件臺上，由工件臺完成上升下降、實現(xiàn)工件進給，利用線網(wǎng)進行切割。

現(xiàn)有工件夾具在固定工件時，存在如下問題：主導工件固定以后，從導工件按要求必須嚴格參照主導工件的位置為基準，固定從導工件，但是，這種工件夾具要調(diào)整好從導工件的位置非常麻煩，以至于費時費力還很難確保從導工件與主導工件的一致性，從而造成多線切割機所切割出的硅片厚薄不一致，合格率低，有時線網(wǎng)還會出現(xiàn)跳線、斷線現(xiàn)象，影響多線切割機正常作業(yè)。

【發(fā)明內(nèi)容】

為克服現(xiàn)有技術(shù)存在的上述缺陷，本實用新型旨在提供一種結(jié)構(gòu)新型的工件夾具，該工件夾具在主導工件定位后，通過簡單調(diào)整，就能使從導工件按照主導工件基準定位，確保主導工件和從導工件位置的一致性，從而消除硅片厚薄不一致，合格率低，以及線網(wǎng)跳線、斷線現(xiàn)象。

為實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用了如下技術(shù)方案：

這種工件夾具，包括主連接座和副連接座、主連接片和副連接片，主連接座與主連接片經(jīng)螺栓固定呈平面連接，副連接座和副連接片經(jīng)定位螺栓固定呈平面連接，其特征是：副連接座用于接納定位螺栓的定位螺栓孔形狀呈異形。

如上所述的一種工件夾具，其特征是：副連接座和副連接片經(jīng)定位螺栓固定呈平面連接，副連接座上用于接納定位螺栓的定位螺栓孔形狀為前后向長槽形。

如上所述的一種工件夾具，其特征是：副連接座和副連接片經(jīng)定位螺栓固定呈平面連接，副連接座上用于接納定位螺栓的定位螺栓孔形狀為前后向橢圓形。

有益效果：與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型通過改變副連接座用于接納定位螺栓的螺栓孔形狀，當主導工件固定定位后，如果從導工件出現(xiàn)與主導工件位置不一致時，只要旋松定位螺栓，利用橢圓形孔微調(diào)副連接片的前后位置后，加以固定即可，克服了現(xiàn)有技術(shù)副連接座上用于接納定位螺栓的螺栓孔形狀為圓形，工件不能作前后(實際作業(yè)時為左右向)向調(diào)整的缺陷，因為，圓形螺栓孔作調(diào)整時，主導工件與從導工件只能作整體調(diào)整，而不能改變兩者的相對位置來達到微調(diào)效果。

【附圖說明】

圖1為本實用新型一個實施例的立體結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：導軌1，裝卸槽2，緊固螺孔3，切割墊塊4，切割墊塊41，定位螺栓5，定位螺栓孔6，副連接座7，副連接片71，導向柱8，沙漿管9，工件10，工件101，主連接座11，主連接片12。

【具體實施方式】

參見圖1。導軌1通過裝卸槽2，由緊固螺栓經(jīng)緊固螺孔3固定在多線切割機的工件臺上。夾具以導軌1下方的沙漿管9為對稱，兩側(cè)分別設置主連接座11、副連接座7。主連接片12和副連接片71分別由相應的定位螺栓5經(jīng)定位螺栓孔6，貼置固定在主連接座11、副連接座7上(主連接片12和副連接片71上有相應的圓形螺栓孔)。

右側(cè)的工件10稱主導工件，工件101為從導工件。主連接片12、切割墊塊41和工件10是通過粘膠粘接而成的整體件，副連接片71、切割墊塊4和工件101也是通過粘膠粘接而成的整體件。本實用新型的創(chuàng)新之處在于：接納定位螺栓5的定位螺栓孔6的形狀呈異形，為非圓形，例如長條形、橢圓形，定位螺栓孔6的數(shù)量可根據(jù)實際情況而定，一般為6個。作業(yè)時，當主導工件定位后，調(diào)整從導工件位置只要旋松定位螺栓，即可微調(diào)連接在副連接座7上的整體件的前后位置，改進簡單、方便實用。