[實用新型]多晶粒反罩吸風模

無效

• 申請號: 200820161403.4
• 申請日: 2008-09-28
• 公開（公告）號: CN201307583Y
• 公開（公告）日: 2009-09-09
• 發明（設計）人: 呂全亞;陳海林
• 申請（專利權）人: 常州新區佳訊電子器材有限公司
• 主分類號: H01L21/00
• 分類號: H01L21/00
• 代理公司: 常州市天龍專利事務所有限公司
• 代理人: 周建觀

1、一種多晶粒反罩吸風模，包括吸風罩(1)和吸風模座(2)，吸風罩(1)罩在吸風模座(2)上，其特征在于：吸風模座(2)包括料斗蓋(2-1)、吸盤(2-2)和吸風模底座(2-3)；料斗蓋(2-1)安裝在吸盤(2-2)的尾端上，吸盤(2-2)安裝在吸風模底座(2-3)上，吸盤(2-2)與吸風模底座(2-3)之間有一空腔(5)，吸盤(2-2)的一端置有一吸風孔(4)，吸風孔(4)與空腔(5)相通；吸盤(2-2)上布有晶粒槽(6)，晶粒槽(6)槽底通過通孔(7)與空腔(5)相通，料斗蓋(2-1)與吸盤(2-2)之間有一料腔(9)；吸風罩(1)與吸盤(2-2)之間留有吸風腔(10)，吸風腔(10)與料腔(9)連通。

2、根據權利要求1所述的多晶粒反罩吸風模，其特征在于：所述料斗蓋(2-1)的尾端和兩側均有凸沿(8)。

3、根據權利要求1或2所述的多晶粒反罩吸風模，其特征在于：所述吸風罩(1)與吸盤(2-2)均設有止口(11)，吸風罩(1)的陽止口與吸盤(2-2)的陰止口相配合。

4、根據權利要求3所述的多晶粒反罩吸風模，其特征在于：所述吸風罩(1)兩端設有定位銷(3)，所述吸盤(2-2)上設有與定位銷(3)相配合的定位孔。

5、根據權利要求4所述的多晶粒反罩吸風模，其特征在于：所述料斗蓋(2-1)與吸盤(2-2)采用螺釘連接；吸風模底座(2-3)與吸盤(2-2)采用螺釘連接。