[實用新型]一種非球面微透鏡陣列制作裝置

無效

• 申請號: 200820160426.3
• 申請日: 2008-09-19
• 公開（公告）號: CN201271984Y
• 公開（公告）日: 2009-07-15
• 發明（設計）人: 王克逸;詹珍賢;姚海濤;丁志中;李端發
• 申請（專利權）人: 中國科學技術大學
• 主分類號: B29C41/12
• 分類號: B29C41/12;B29C41/52;B29C41/36;B29C41/46;G02B13/00;G02B3/02;B29L11/00
• 代理公司: 合肥金安專利事務所
• 代理人: 金惠貞

1、一種非球面微透鏡陣列制作裝置，其特征在于：包括主體支架(9)、注射器(19)、上電極(11)、橫向檢測光路、縱向檢測光路、環形紫外光源(8)和整體式二維平移臺(4)；

所述主體支架(9)下部為工作臺狀，工作臺中部向上為門字形垂直立臂，垂直立臂上端設有一懸臂；

垂直立臂一側的主體支架(9)的工作臺上設有注射器橫向平移臺(21)，注射器橫向平移臺(21)上垂直設有注射器縱向平移臺(20)，注射器(19)通過注射器支架(18)設于注射器縱向平移臺(20)上；注射器(19)下方的主體支架(9)上設有盛液盒(22)；

盛液盒(22)一側的主體支架(9)下部通過白光光源支架(24)設有白光光源(23)，且白光光源(23)與樣品臺(6)對應；主體支架(9)另一側下部通過反光鏡支架(29)設有反光鏡(5)，反光鏡(5)的下方對應設有低像差鏡頭(2)，低像差鏡頭(2)連接著面形檢測攝像頭(1)；所述橫向檢測光路由所述的白光光源(23)、反光鏡(5)、低像差鏡頭(2)和面形檢測攝像頭(1)組成；

所述主體支架(9)的懸臂端部連接著一維調整臺(17)，一維調整臺(17)上設有長工作距離物鏡(14)，長工作距離物鏡(14)連接著觀察攝像頭(16)，觀察攝像頭(16)一側設有半導體激光器(13)；

長工作距離物鏡(14)下方設有上電極(11)，上電極(11)通過上電極支架(12)設于上電極縱向平移臺(15)上，上電極縱向平移臺(15)立設于上電極橫向平移臺(10)上，上電極橫向平移臺(10)設于主體支架(9)的門字形垂直立臂中部工作臺面上；

與上電極(11)對應，整體式二維平移臺(4)下方設有連續變倍鏡頭(25)，連續變倍鏡頭(25)連接著焦斑檢測攝像頭(28)，連續變倍鏡頭(25)通過二維調整臺(26)設于光斑尋找平移臺(27)上，光斑尋找平移臺(27)垂直設于主體支架(9)下部；所述縱向檢測光路由所述的半導體激光器(13)、連續變倍鏡頭(25)和焦斑檢測攝像頭(28)組成；

懸臂下方通過平移臺支架(3)設有整體式二維平移臺(4)，整體式二維平移臺(4)為回字形，其頂面設有樣品臺(6)，其中部上方設有環形紫外光源(8)。

2、根據權利要求1所述的一種非球面微透鏡陣列制作裝置，其特征在于：所述樣品臺(6)和上電極(11)材料均為玻璃，樣品臺(6)下表面和上電極(11)上表面設有氧化銦錫鍍層；樣品臺(6)接地，上電極(11)接0-5500V電壓。

3、根據權利要求1所述的一種非球面微透鏡陣列制作裝置，其特征在于：所述長工作距離物鏡(14)的工作距離為270—300mm。

4、根據權利要求1所述的一種非球面微透鏡陣列制作裝置，其特征在于：所述低像差鏡頭(2)失真率小于0.2％。

5、根據權利要求1所述的一種非球面微透鏡陣列制作裝置，其特征在于：所述連續變倍鏡頭(25)為倍數3X-30X連續可調的物鏡。

6、根據權利要求1所述的一種非球面微透鏡陣列制作裝置，其特征在于：所述環形紫外光源(8)由4—8個紫外發光二極管組成，發光波長365nm。