[實用新型]超高純氫氟酸的提純裝置

有效

• 申請號: 200820160382.4
• 申請日: 2008-09-18
• 公開（公告）號: CN201280430Y
• 公開（公告）日: 2009-07-29
• 發明（設計）人: 戈士勇
• 申請（專利權）人: 江陰市潤瑪電子材料有限公司
• 主分類號: C01B7/19
• 分類號: C01B7/19
• 代理公司: 江陰市同盛專利事務所
• 代理人: 唐紉蘭

1、一種超高純氫氟酸的提純裝置，其特征在于該裝置包括原料槽(1)、氧化處理器I(2)、過濾器I(3)、氧化處理器II(4)、過濾器II(5)、精餾塔(6)、冷卻器(7)、過濾器(8)、吸收塔(9)、微濾器(10)和成品接收器(11)，所述原料槽(1)出口與氧化處理器I(2)進口連接，所述氧化處理器I(2)出口與過濾器I(3)進口相連，所述過濾器I(3)出口與氧化處理器II(4)進口相連，所述氧化處理器II(4)出口與過濾器II(5)進口相連，所述過濾器II(5)出口與精餾塔(6)進口相連，所述精餾塔(6)出口與冷卻器(7)進口相連，所述冷卻器(7)出口與過濾器(8)進口相連，所述過濾器(8)出口與吸收塔(9)進口相連，所述吸收塔(9)出口與微濾器(10)進口相連，所述微濾器(10)出口與成品接收器(11)進口相連。

2、根據權利要求1所述的一種超高純氫氟酸的提純裝置，其特征在于所述吸收塔(9)底部設置布氣盤管。

3、根據權利要求1或2所述的一種超高純氫氟酸的提純裝置，其特征在于所述微濾器(10)的微濾膜孔徑為0.05～0.15μm。