[實用新型]合金材料的嵌入式結構有效
| 申請號： | 200820158208.6 | 申請日： | 2008-12-30 |
| 公開（公告）號： | CN201355615Y | 公開（公告）日： | 2009-12-02 |
| 發明（設計）人： | 吳關平;萬旭東;馮高明;徐成;楊左婭;謝志峰 | 申請（專利權）人： | 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司 |
| 主分類號： | H01L45/00 | 分類號： | H01L45/00;H01L27/24;G11C16/02;G11C11/56 |
| 代理公司： | 上海翼勝專利商標事務所（普通合伙） | 代理人： | 翟 羽 |
| 地址： | 201210*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 合金材料 嵌入式 結構 | ||
1.一種合金材料的嵌入式結構，包括：
襯底；
位于襯底的表面之介質層，所述介質層表面具有凹槽；以及
合金材料嵌入島，所述合金材料嵌入島鑲嵌于所述介質層的凹槽中，所述合金材料嵌入島位于介質層表面以下的部分與凹槽的側壁和底面貼合；
其特征在于：所述合金材料嵌入島位于介質層表面以下的部分的截面包括一矩形和一梯形，所述矩形的一個邊與介質層的表面處于同一水平高度，所述矩形的另一個邊與梯形的底邊重合，所述梯形兩底邊中，與矩形重合的底邊的長度大于另一底邊的長度。
2.根據權利要求1所述的合金材料的嵌入式結構，其特征在于，所述合金材料為相變合金材料。
3.根據權利要求1所述的合金材料的嵌入式結構，其特征在于，所述相變合金材料為鍺銻碲合金。
4.根據權利要求1～3任意一項所述的合金材料的嵌入式結構，其特征在于，所述梯形為等腰梯形。
5.根據權利要求1～3任意一項所述的合金材料的嵌入式結構，其特征在于，所述合金材料嵌入島進一步包括位于介質層表面以上的突出結構，所述位于介質層表面以上部分的突出結構沿與介質層表面平行方向的長度大于凹槽的開口部位的寬度，且加長部分的下邊緣與介質層的表面貼合。
6.根據權利要求1～3任意一項所述的合金材料的嵌入式結構，其特征在于，所述凹槽開口處的寬度范圍是0.5微米至0.6微米。
7.根據權利要求1～3任意一項所述的合金材料的嵌入式結構，其特征在于，所述梯形的長底邊的長度范圍是0.4微米至0.5微米，短底邊的長度范圍是0.2微米至0.3微米。
8.根據權利要求1～3任意一項所述的合金材料的嵌入式結構，其特征在于，所述用于容置合金材料的凹槽的深度范圍是100納米至200納米。
9.根據權利要求1～3任意一項所述的合金材料的嵌入式結構，其特征在于，所述介質層的材料選自于氧化硅、氮化硅或氮氧化硅中的一種。
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