[實用新型]氣流檢測報警裝置

有效

• 申請號: 200820156369.1
• 申請日: 2008-12-01
• 公開（公告）號: CN201322974Y
• 公開（公告）日: 2009-10-07
• 發明（設計）人: 吳新江;吳軍海;吳志君
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司
• 主分類號: G08B21/00
• 分類號: G08B21/00
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所
• 代理人: 屈 蘅;李時云

技術領域

本實用新型涉及一種報警裝置，且特別涉及一種氣流檢測報警裝置。

背景技術

在工業生產過程中，機臺正常運行時間的穩定和提高對整條生產線的運行有至關重要的意義，對工程師而言就是要盡量減少停機次數和時間，同時還要盡力減少次品。

工業生產中常見的機器前端有4個機械接口，機器運動空間比較大，機器前端區域要在4個機械接口和其底端之間大范圍的來回傳送晶片；機器的電纜墊與導軌不斷的摩擦會導致在機器運動的空間中產生細小的顆粒，因此在機器的上方安裝有超高效空氣過濾器(ULPA)來保證前端空間的空氣潔凈度，超高效空氣過濾器利用風扇吹動空氣穿過過濾器，空氣經過過濾器過濾后自上而下流經機器的運動區域，使機器的運動空間保持一個潔凈的環境。但是風扇在運行了一定的年限后可能會產生故障而停止工作，因此導致機器前端區域空氣不流動，在此空間內就會慢慢聚集顆粒，影響空間潔凈度，一旦顆粒掉落到晶片的表面，就會造成次品的晶片。更嚴重的是由于風扇是在機臺前端的內部，且不在工程師的視線之內，同時機臺也沒有相應的檢測手段來檢測風扇是否工作，因此工程師就不易發覺并改善這種異常狀況，導致次品狀況變的嚴重。

實用新型內容

為了克服現有技術中存在的不能及時檢測到風扇是否工作從而導致顆粒掉落晶片表面形成次品的問題，本實用新型提供一種能及時檢測風扇是否工作的報警裝置。

為解決上述技術問題，本實用新型提出一種氣流測試報警裝置，包括：第一導電體和第二導電體，固定于底板上，所述第一導電體的一端和所述第二導電體的一端均通過導線和報警器相連，所述第一導電體的另一端通過彈性裝置和導電片相連，所述導電片固定在擋風板上。

可選的，所述導電片為金屬片。

可選的，所述擋風板為硬塑料片。

可選的，所述彈性裝置為金屬彈簧片。

可選的，所述第一導電體和所述第二導電體平行放置。

可選的，所述第一導電體和所述第二導電體之間的距離小于所述導電片的長度。

可選的，所述報警器在外接電路導通時關閉，在外接電路斷開時報警。

與現有技術的電路相比，本實用新型通過在風扇的氣流口放置氣流測試報警裝置，在風扇停止工作時，可以在第一時間檢測到并報警，從而停止整個機器的運行，避免了顆粒掉落晶片的表面，減少了次品的產生。

附圖說明

以下結合附圖和具體實施方式對本實用新型的氣流測試報警裝置作進一步的詳細說明。

圖1是本實用新型氣流測試報警裝置的結構示意圖。

圖2是本實用新型氣流測試報警裝置局部放大圖。

具體實施方式

首先，請參考圖1，圖1是本實用新型氣流測試報警裝置的結構示意圖，一種氣流測試報警裝置，包括第一導電體31和第二導電體32，材料一般都選取導電性能良好的金屬，第一導電體31和第二導電體31平行放置，固定于底板33上，底板33為絕緣體，一般選用硬質塑料，第一導電體31和第二導電體32為長條狀，且垂直于底板33，第一導電體31和第二導電體32的一端皆通過導線34和報警器35相連，此報警器35在電路導通的時候關閉，而在電路斷開的時候報警，第一導電體31的另一端通過彈性裝置23和導電片22相連，導電片22為金屬片，導電片22固定在擋風板21上，擋風板21為質量較輕的硬塑料片，其作用是增加氣流吹的面積，從而增加氣流作用于擋風板上的力，保證作用于擋風板21上的力所產生的力矩大于所述彈性裝置23的阻力所產生的力矩，所述第一導電體31和所述第二導電體32之間的距離小于所述導電片22的長度，這是為了確保導電片22能夠同時連接第一導電體31和第二導電體32，該彈性裝置23為金屬彈簧片，它的作用是當無外力作用于擋風板上時，金屬彈簧片23維持固定于擋風板21上的導電片22和第二導電體32分開，至此，由報警器35、第一導電體31、第二導電體32、金屬彈簧片23、導電片22以及導線34所連成了一個電路。

圖2是本實用新型氣流測試報警裝置局部放大圖，從圖2中可以看到導電片22固定在擋風板21上，而導電片22的一端和彈性裝置23相連。