[實用新型]用提拉法生長鋁酸鋰晶體的裝置無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200820155745.5 | 申請日： | 2008-11-21 |
| 公開（公告）號： | CN201321505Y | 公開（公告）日： | 2009-10-07 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 周圣明;林輝;王軍;滕浩 | 申請（專利權(quán)）人： | 中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機械研究所 |
| 主分類號： | C30B15/00 | 分類號： | C30B15/00;C30B29/22 |
| 代理公司： | 上海新天專利代理有限公司 | 代理人： | 張澤純 |
| 地址： | 201800上*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 用提拉法 生長 鋁酸鋰 晶體 裝置 | ||
1、一種用提拉法生長鋁酸鋰晶體的裝置，該裝置包括一臺提拉法生長單晶爐，在爐壁(1)構(gòu)成的爐膛內(nèi)有托盤支架(12)，在該托盤支架(12)上是氧化鋁托盤(11)，在該氧化鋁托盤(11)上設(shè)置石英桶(9)和銥坩堝(8)，在所述的銥坩堝(8)上裝有圓筒形銥后熱器(7)，在該銥后熱器(7)之外設(shè)置圓筒形氧化鋯保溫罩(6)，在所述的石英桶(9)和銥坩堝(8)、圓筒形氧化鋯保溫罩(6)之間填充氧化鋯保溫砂(10)，在所述的石英桶(9)之外是感應(yīng)線圈(13)，所述的爐壁(1)有爐壁觀察窗口(14)，其特征在于：所述的圓筒形氧化鋯保溫罩(6)側(cè)壁是完整的，不設(shè)觀察窗，在與所述的爐壁觀察窗口(14)相對的爐壁(1)上通過觀察鏡支架(3)架設(shè)一塊觀察鏡(2)于圓筒形氧化鋯保溫罩(6)的上方，以便通過所述的觀察鏡(2)的反射實現(xiàn)對所述的銥坩堝(8)內(nèi)熔體界面的觀察。
2、根據(jù)權(quán)利要求1所述的用提拉法生長鋁酸鋰晶體的裝置，其特征在于：所述的圓筒形氧化鋯保溫罩(6)還有保溫罩上蓋(4)。
3、根據(jù)權(quán)利要求2所述的用提拉法生長鋁酸鋰晶體的裝置，其特征在于：所述的保溫罩上蓋(4)是由透明材料制成的中央開孔的圓盤片。
4、根據(jù)權(quán)利要求3所述的用提拉法生長鋁酸鋰晶體的裝置，其特征在于：所述的保溫罩上蓋(4)為雙面拋光的藍(lán)寶石圓片、雙面拋光的鎂鋁尖晶石圓片、雙面拋光的石英圓片或雙面拋光的釔鋁石榴石圓片。
5、根據(jù)權(quán)利要求1至4任一項所述的用提拉法生長鋁酸鋰晶體的裝置，其特征在于：所述的觀察鏡(2)為拋光銅片鍍銀平面鏡、石英玻璃鍍銀平面鏡、K9玻璃鍍銀平面鏡、拋光銅片鍍銀微凸鏡面、石英玻璃鍍銀微凸鏡面，或K9玻璃鍍銀微凸鏡面。
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