[實用新型]安全聯鎖裝置

有效

• 申請號: 200820155230.5
• 申請日: 2008-11-11
• 公開（公告）號: CN201297494Y
• 公開（公告）日: 2009-08-26
• 發明（設計）人: 王東海
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司
• 主分類號: F17C13/00
• 分類號: F17C13/00
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所
• 代理人: 屈 蘅;李時云

技術領域

本實用新型涉及安全聯鎖裝置，特別涉及氣體鋼瓶的安全聯鎖裝置。

背景技術

氣體的使用在半導體工藝生產中一直扮演著重要的角色，其中離子注入、薄膜沉積等皆使用到相當多的氣體，氣體一般可簡單的區分為大宗氣體，如氮氣、氫氣、氧氣等使用量較大的氣體，和特殊氣體，如氯氣，氯化氫，磷烷等數十種有毒的工藝氣體。在這些特殊氣體輸送和供給半導體芯片生產機臺使用的過程中需要大量的氣體鋼瓶。氣體鋼瓶所承載的氣體具有毒性、腐蝕性、或自然性等特性，而氣體供應的安全性則關系到人員的生命與健康以及廠房、設備運作的安全。

請參考圖1，其為現有技術的氣體鋼瓶接合于生產機臺的示意圖。如圖所示，氣體鋼瓶10包括：鋼瓶主體11、鋼瓶接口鎖母12以及出氣導管13，其中，鋼瓶主體11儲存生產機臺需要使用的氣體。出氣導管13通過氣動閥22與進氣導管21連通，組成氣體輸送管路。進氣導管21的另一端固定并連通于生產機臺20。氣體輸送管路上設置一壓力傳感器(未圖示)，可以偵測出氣體鋼瓶10的氣體壓力，通過可編程序控制器(PLC)(未圖示)控制氣動閥22的開關。若氣體鋼瓶10處于供氣狀態，供給氣動閥22開啟，則氣體可經由出氣導管13與進氣導管21輸送至生產機臺20供其使用。若氣體鋼瓶10處于用空狀態，供給氣動閥22自動關閉。

因為氣體是半導體工藝生產中的耗材，所以使用一段時間后需要更換氣體鋼瓶，其程序包括拆卸用空的氣體鋼瓶，并安裝新的氣體鋼瓶。在拆卸用空的氣體鋼瓶時常易發生人為疏忽，如錯誤地將使用中的鋼瓶接口拆開，則會造成供氣中斷，且鋼瓶內的殘余氣體將外泄而可能造成操作人員的傷害或火災等公共危險。在實際生產過程中，目前僅僅依靠對操作人員思想上的宣導來預防這類危險的發生，還沒有防止拆錯氣體鋼瓶的技術裝置。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種安全聯鎖裝置，確保當氣體鋼瓶處在供氣狀態時，不能進行拆卸氣體鋼瓶的動作，從而避免發生現有技術中將處于供氣狀態的氣體鋼瓶的接口鎖母打開，而導致的供氣中斷，以及人身傷害或火災等重大事故的發生。

為解決上述技術問題，本實用新型提供一種安全聯鎖裝置。該安全聯鎖裝置，用于氣體鋼瓶，所述氣體鋼瓶通過鋼瓶接口鎖母實現拆裝，所述氣體鋼瓶具有一供氣狀態和一用空狀態，包括：鎖母防護套，與上述鋼瓶接口鎖母相匹配；以及氣缸，與上述鎖母防護套連接；其中，當氣體鋼瓶處在供氣狀態時，上述氣缸推動上述鎖母防護套移動，套在鋼瓶接口鎖母上，當鋼瓶處在用空狀態時，上述氣缸帶動上述鎖母防護套退回原位，脫離鋼瓶接口鎖母。

可選的，上述氣缸包括：氣缸套；活塞，設置于上述氣缸套內并可沿氣缸套內壁滑動；活塞桿，其一端連接于上述活塞，另一端連接于上述鎖母防護套；前端蓋和后端蓋，分別位于上述氣缸套的兩端；以及彈簧，一端與上述活塞連接，另一端抵住上述前端蓋。其中上述氣缸還具有進氣口，連接至一供給氣源，上述進氣口與上述供給氣源通過氣源三通接頭連通，上述氣源三通接頭與上述進氣口的連接方式是通過螺紋連接。

可選的，上述氣缸還包括密封壓蓋，位于上述氣缸套內，與上述前端蓋相連接，起密封作用。

可選的，上述安全聯鎖裝置還包括：導向桿，一端連接于上述氣缸外側，另一端與上述鎖母防護套相連接，用以引導上述鎖母防護套的運動。

可選的，上述鎖母防護套為“U”型，“U”形開口與鋼瓶接口鎖母大小相匹配。

可選的，上述鎖母防護套與上述導向桿的連接件為導向桿鎖緊螺母，上述活塞桿與上述鎖母防護套的連接件為圓錐銷釘。

綜上所述，本實用新型的安全聯鎖裝置，當氣體鋼瓶處于供氣狀態時，上述鎖母防護套在上述氣缸的推動作用下套在鋼瓶接口鎖母上，拆卸鋼瓶的專用搬子無法套在鋼瓶接口鎖母上，故不能進行拆卸鋼瓶的動作。當鋼瓶處在用空狀態時，上述氣缸失去氣動壓力，在上述氣缸的帶動作用下，鎖母防護套退離鋼瓶接口鎖母，拆卸氣體鋼瓶的專用搬子就可以順利的套在鋼瓶接口鎖母上，實行對用空狀態的氣體鋼瓶的拆卸更換的操作步驟。從而避免了將處于供氣狀態的氣體鋼瓶的接口鎖母打開，而導致供氣中斷，以及人身傷害或火災等重大事故的發生。

附圖說明

圖1為現有技術的氣體鋼瓶接合于生產機臺的示意圖；

圖2A至圖2C為本實用新型一實施例所提供的安全聯鎖裝置的三視圖；

圖3A至圖3B為本實用新型一實施例所提供的安全聯鎖裝置的作動示意圖。

具體實施方式

以下結合附圖和具體實施例對本實用新型提出的安全聯鎖裝置作進一步詳細說明。