[實用新型]磁流體冷卻結構及相應的磁流體密封裝置

有效

• 申請號: 200820155225.4
• 申請日: 2008-11-11
• 公開（公告）號: CN201297390Y
• 公開（公告）日: 2009-08-26
• 發明（設計）人: 王剛;高文良;王春華;周江
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司
• 主分類號: F16J15/43
• 分類號: F16J15/43
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所
• 代理人: 屈 蘅;李時云

1.一種磁流體冷卻結構，用于磁流體密封裝置中，該磁流體密封裝置具有外殼與可相對于外殼轉動的傳動軸，傳動軸上套設有磁極，磁極之間具有磁鐵，且傳動軸上具有容納磁流體的密封槽，其中所述外殼上具有冷卻液入口與出口，其特征是，所述傳動軸內設有冷卻液流動通道，該流動通道與所述冷卻液入口與出口相通，以實現冷卻液由入口經流動通道至出口的流通。

2.根據權利要求1所述的磁流體冷卻結構，其特征是，所述冷卻液入口與出口和所述冷卻液流動通道之間通過連接通道連通，且連接通道設于磁流體密封裝置的外殼內。

3.根據權利要求2所述的磁流體冷卻結構，其特征是，所述傳動軸與外殼之間具有環形通道，其與所述連接通道和流動通道相通，其余部分為密封結構。

4.根據權利要求1所述的磁流體冷卻結構，其特征是，所述冷卻液流動通道沿傳動軸軸向方向設置。

5.根據權利要求4所述的磁流體冷卻結構，其特征是，所述冷卻液流動通道包括：

第一通道，為直線型通道，沿傳動軸軸線設置，且與冷卻液入口相通；

第二通道，為環型通道，環繞于所述第一通道而設置，且與冷卻液出口相通，

其中第一通道與第二通道于與所述冷卻液入口與出口相反的一端實現連通。

6.一種磁流體密封裝置，包括：

外殼，其上具有冷卻液入口與出口；

傳動軸，位于外殼之內，可相對于外殼轉動，且其上具有容納磁流體的密封槽；

至少兩磁極，套設于傳動軸之上；

磁鐵，位于所述磁極之間，

其特征是，所述傳動軸內設有冷卻液流動通道，該流動通道與所述冷卻液入口與出口相通，以實現冷卻液由入口經流動通道至出口的流通。

7.根據權利要求6所述的磁流體密封裝置，其特征是，所述外殼內具有連接通道，以實現所述冷卻液入口與出口和所述冷卻液流動通道之間的連通。

8.根據權利要求7所述的磁流體密封裝置，其特征是，所述傳動軸與外殼之間具有環形通道，其與所述連接通道和流動通道相通，其余部分為密封結構。

9.根據權利要求6所述的磁流體密封裝置，其特征是，所述冷卻液流動通道沿傳動軸軸向方向設置。

10.根據權利要求9所述的磁流體密封裝置，其特征是，所述冷卻液流動通道包括：

第一通道，為直線型通道，沿傳動軸軸線設置，且與冷卻液入口相通；

第二通道，為環型通道，環繞于所述第一通道而設置，且與冷卻液出口相通，

其中第一通道與第二通道于與所述冷卻液入口與出口相反的一端實現連通。