[實用新型]氣瓶連接裝置

有效

• 申請號: 200820155223.5
• 申請日: 2008-11-11
• 公開（公告）號: CN201297493Y
• 公開（公告）日: 2009-08-26
• 發明（設計）人: 王東海
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司
• 主分類號: F17C13/00
• 分類號: F17C13/00
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所
• 代理人: 屈 蘅;李時云

技術領域

本實用新型涉及半導體制造領域，尤其涉及氣瓶連接裝置。

背景技術

半導體生產工藝涉及氯氣、磷烷等四十余種高純氣體，且很多氣體有毒，隨著半導體生產規模增大，氣體用量也隨之增加，于是如何安全及時的將氣體供應給生產部門成為業界關注的重點。業界通常采用的現有供應方案為：將裝有相同氣體的兩個氣瓶置于同一個氣瓶柜，各氣瓶連接至供氣管路；當一個氣瓶供氣時，另一個氣瓶作為備用氣瓶，在用完供應氣瓶內的氣體后，氣瓶柜自動切換，由備用氣瓶供氣，然后操作人員用裝滿氣體的氣瓶更換用空的氣瓶，實現向生產部門的持續供氣。

圖1為氣瓶與供氣管路的連接結構示意圖，圖中標號1為聯接鎖母，標號2代表供氣管路接頭，標號3代表氣瓶閥門接頭，聯接鎖母1與氣瓶閥門接頭3通過螺紋(螺紋如圖中虛線所示)耦合，使得氣瓶閥門接頭3與供氣管路接頭2緊密連接，從通道4供氣。

圖2為氣瓶連接裝置的結構示意圖，該裝置包括聯接鎖母1及供氣管路接頭2，可以看出，該氣瓶連接裝置缺乏導向裝置，例如在A和B處均未設置有利于聯接鎖母1與氣瓶閥門接頭3對正耦合的輔助定位結構，故更換氣瓶將聯接鎖母1與氣瓶閥門接頭3耦合時，只能靠操作人員經驗與手感將兩者的螺紋對正，使得對正耦合的效率及準確率降低，將產生如下問題：

1，耗費更換時間；

2，可能損壞螺紋，導致昂貴的氣瓶報廢，造成重大損失；

3，在未對正耦合的情況下供氣，可能造成氣體泄漏，導致財產損失甚至生命傷害的安全事故。

實用新型內容

本實用新型提供氣瓶連接裝置，以降低氣瓶更換時間，提高氣瓶連接質量及準確率，避免財產生命損失的風險。

本實用新型提出了氣瓶連接裝置，包括供氣管路接頭和聯接鎖母，所述聯接鎖母包括第一內孔及第二內孔，其中第一內孔由第一子孔和位于第一子孔與第二內孔之間的第二子孔組成；以及第二子孔表面設置有耦合結構；第一子孔的孔徑比第二子孔孔徑大，兩者差值處于第一預定范圍。

進一步的，第二內孔的孔徑比供氣管路接頭的對應外徑大，兩者差值處于第二預定范圍。

進一步的，所述供氣管路接頭包括定位子接頭，所述供氣管路接頭的對應外徑為該定位子接頭的外徑。

進一步的，所述耦合結構是螺紋結構。

進一步的，所述第一預定范圍為0.9～1.1毫米；

進一步的，所述第二預定范圍為0.9～1.1毫米。

本實用新型通過在聯接鎖母上設置第一子孔作為導向結構，使得操作人員在將聯接鎖母與氣瓶閥門接頭耦合時，能通過將第一子孔套于氣瓶閥門接頭，輕易將聯接鎖母的第二子孔與氣瓶閥門接頭對正進行耦合，提高了對正的效率及準確率，從而降低了氣瓶更換時間，提高了氣瓶連接質量及準確率，避免財產生命損失的風險。

本實用新型還可以設置聯接鎖母的第二內孔比供氣管路接頭的對應外徑大，且差值處于第二預定范圍，則能夠在耦合過程中通過將聯接鎖母套于該供氣管路接頭，基于所述對應外徑與第二內孔的作用定位聯接鎖母，進一步使聯接鎖母容易與氣瓶閥門接頭對正。

附圖說明

圖1為氣瓶與供氣管路的連接結構示意圖；

圖2為氣瓶連接裝置的結構示意圖；

圖3～5分別為本實施例提出的氣瓶連接裝置連接過程中的結構示意圖。

具體實施方式

針對背景技術提及的問題，本實用新型實施例提出可以在聯接鎖母1上設置輔助定位結構，以使聯接鎖母1與氣瓶閥門接頭3容易對正耦合，進而避免上述問題。

圖3～5分別為本實施例提出的氣瓶連接裝置連接過程中的結構示意圖，圖中標號10為聯接鎖母，20代表氣瓶閥門接頭，30代表供氣管路接頭，聯接鎖母10設置有第一內孔及第二內孔，供氣管路接頭30設置有定位子接頭31。

第一內孔由第一子孔12及第二子孔13組成；第二子孔13表面設置有螺紋結構11作為耦合結構，以與氣瓶閥門接頭20外表面螺紋耦合；第一子孔12的孔徑比第二子孔13的孔徑大，兩者差值處于第一預定范圍，以便于套于氣瓶閥門接頭20，輔助對正第二子孔13的螺紋結構11與氣瓶閥門接頭20的外表面螺紋。

第二內孔處于圖中定位子接頭31與聯接鎖母10接觸的位置，第二內孔的孔徑比定位子接頭31外徑大，兩者差值處于第二預定范圍，則將聯接鎖母10通過第二內孔套于定位子接頭31時，可以對聯接鎖母10定位，使其與氣瓶閥門接頭對正。

上述第一預定范圍和第二預定范圍通常為1毫米左右，例如0.9～1.1毫米，實施時根據實際情況可以自主確定。

下面結合安裝過程來進一步闡述本實用新型提出的氣瓶連接裝置的結構。