[實用新型]垂向調節機構有效
| 申請號： | 200820154026.1 | 申請日： | 2008-10-14 |
| 公開（公告）號： | CN201287328Y | 公開（公告）日： | 2009-08-12 |
| 發明（設計）人： | 周清華 | 申請（專利權）人： | 上海微電子裝備有限公司;上海微高精密機械工程有限公司 |
| 主分類號： | B25H1/14 | 分類號： | B25H1/14 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所 | 代理人： | 屈 蘅;李時云 |
| 地址： | 201203上海市*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 調節 機構 | ||
1、一種垂向調節機構，包括：
支撐底板；
中間驅動機構，包括三角板、三個導向簧片、三個凸輪機構，設置于所述支撐底板上；
工作臺設置于所述三角板上；
三個相同的測量機構設置于所述支撐底板上，且分別與所述三角板的三個邊部平行；
其特征在于：所述三角板和所述支撐底板之間設置有第一等高塊、第二等高塊、第三等高塊；
第一定位銷、第二定位銷穿過所述三角板，并分別穿過所述第一等高塊、所述第二等高塊，固定于所述支撐底板；
緊固螺釘，穿過所述三角板及第三等高塊，固定于所述支撐底板。
2、如權利要求1所述的垂向調節機構，其特征在于，所述三個導向簧片與所述三角板的三個角部連接，所述三個凸輪機構設置于所述支撐底板上，且分別位于所述三角板的三個角部下。
3、如權利要求1所述的垂向調節機構，其特征在于，所述凸輪機構包括：電機、滾子、凸輪，其中所述電機與所述滾子機械連接，所述滾子與所述凸輪機械連接，當電機旋轉時，電機帶動滾子旋轉，滾子靠摩擦驅動凸輪旋轉。
4、如權利要求2所述的垂向調節機構，其特征在于，所述電機帶動所述滾子旋轉，所述滾子靠摩擦驅動所述凸輪旋轉，所述凸輪旋轉驅動所述滾子在所述導向簧片的導向作用下作Z向運動。
5、如權利要求1所述的垂向調節機構，其特征在于，所述測量機構包括讀頭、光柵尺及相關安裝件和轉接件，其中所述光柵尺部分與所述工作臺連接、所述讀頭部分與所述支撐底板連接。
6、如權利要求1所述的垂向調節機構，其特征在于，所述凸輪機構按正三角形分布。
7、如權利要求1所述的垂向調節機構，其特征在于，所述測量機構按正三角形分布。
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