[實用新型]多重氣流金屬有機物化學氣相沉積設備的反應腔體

有效

• 申請號: 200820153029.3
• 申請日: 2008-09-12
• 公開（公告）號: CN201284372Y
• 公開（公告）日: 2009-08-05
• 發明（設計）人: 甘志銀
• 申請（專利權）人: 甘志銀
• 主分類號: C23C16/18
• 分類號: C23C16/18;H01L21/00;H01L21/205
• 代理公司: 上海市華誠律師事務所
• 代理人: 李 平

1.一種多重氣流金屬有機物化學氣相沉積設備的反應腔體，主要包括：反應氣體A進氣管道(1)、反應氣體B進氣管道(2)、反應氣體C進氣管道(3)、反應氣體D進氣管道(4)、噴淋口(8)、噴淋冷卻腔(6)、噴淋冷卻液進口(16)、噴淋冷卻液出口(15)、載片盤(10)、襯底(11)、反應腔(14)、反應腔冷卻腔(21)、反應腔冷卻液進口(18)、反應腔冷卻液出口(19)、整流罩(20)、排氣口(13)、緩沖腔(7)、腔體外殼(17)、緩沖擋板(5)、支承軸(9)、加熱器(12)，其特征在于所述反應氣體A進氣管道(1)從反應腔(14)頂端接入，反應腔(14)的下方設有載片盤(10)，載片盤(10)的上部設有噴淋口(8)與噴淋冷卻腔(6)，反應氣體B進氣管道(2)，反應氣體C進氣管道(3)及反應氣體D的進氣管道(4)同軸包裹在反應氣體A進氣管道(1)的外壁上，反應氣體B進氣管道(2)出口位于反應氣體A出口上方，反應氣體C進氣管道(3)出口位于反應氣體B出口上方，反應氣體D的出口位于緩沖腔(7)頂部，其中心軸線的周邊，噴淋冷卻液進口(16)與噴淋冷卻液出口(15)安裝于反應腔(14)與緩沖腔(7)之間，加熱器(12)與反應腔(14)由整流罩(20)隔開，腔體外殼(17)內設有一層反應腔冷卻腔(21)，載片盤(10)下部設有加熱器(12)，排氣口(13)位于反應腔(14)的底部。

2.根據權利要求1所述的多重氣流金屬有機物化學氣相沉積設備的反應腔體，其特征在于所述緩沖腔(7)的中間設有緩沖擋板(5)。

3.根據權利要求1所述的多重氣流金屬有機物化學氣相沉積設備的反應腔體，其特征在于所述噴林口(8)垂直于載片盤(10)，噴林口(8)的形狀為孔或縫隙，其分布方式為圓周分布或陣列分布或散布，噴林口(8)與反應腔(14)的頂部平行或突出于反應腔(14)的頂部。

4.根據權利要求1所述的多重氣流金屬有機物化學氣相沉積設備的反應腔體，其特征在于所述可調節與噴淋口之間距離的載片盤(10)的上表面設有襯底(11)，載片盤(10)根據支撐軸(9)設置為固定型式或旋轉型式。

5.根據權利要求1所述的多重氣流金屬有機物化學氣相沉積設備的反應腔體，其特征在于所述加熱器(12)為電阻加熱或射頻感應加熱。

6.根據權利要求1所述的多重氣體金屬有機化合物化學氣相沉積設備的反應腔體，其特征在于所述反應氣體A進氣管道(1)、反應氣體B進氣管道(2)、反應氣體C進氣管道(3)的出口部分管道為水平狀，出口為鳥嘴形狀。