[實用新型]氣瓶柜強制供氣裝置

有效

• 申請號: 200820152787.3
• 申請日: 2008-09-05
• 公開（公告）號: CN201251013Y
• 公開（公告）日: 2009-06-03
• 發明（設計）人: 王東海
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司
• 主分類號: F17C13/00
• 分類號: F17C13/00;F17C7/00
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所
• 代理人: 屈 蘅;李時云

技術領域

本實用新型涉及半導體生產工藝領域，且特別涉及一種氣瓶柜強制供氣裝置。

背景技術

半導體生產工藝中需要大量使用數十種有毒的工藝氣體。在這些有毒氣體輸送和供給半導體芯片生產機臺使用的過程中需要大量的氣體供應鋼瓶柜。在每個氣體供應鋼瓶柜內有兩個氣體鋼瓶，一個處于供氣狀態而另一個處于備用狀態。當供氣狀態的鋼瓶用空后另一側備用鋼瓶會自動切換投入使用。在實際工作中往往會因為氣瓶柜電力或控制系統發生問題而使供氣鋼瓶的幾個氣動閥自行關閉并且不能及時恢復而引起供氣中斷，造成影響生產甚至芯片報廢的問題，這給企業經濟上帶來很大的損失。

現在大部分氣瓶柜都沒有強制供氣裝置，盡管一些廠家的氣瓶柜在發生問題引起供氣側氣動閥關閉時，可以通過控制器內部強制打開氣路電磁閥的方式實現強制供氣，但是因為控制器位置較高并且內部空間狹小操作起來費時費力也很不理想。

實用新型內容

為了克服目前氣瓶柜沒有強制供氣裝置或操作不便的不足，本實用新型提出一種氣瓶柜強制供氣裝置，其結構簡單操作方便并且能夠在很短時間內完成氣瓶柜強制供氣的操作。

為了達到上述目的，本實用新型提出一種氣瓶柜強制供氣裝置，用于向工藝氣體氣瓶柜的氣動閥供氣，其包括：進氣管；供氣本體，連接于所述進氣管；多個出氣管，連接于所述供氣本體。

可選的，其中所述進氣管具有手閥。

可選的，其中所述進氣管另一端連接于氣源管道或者氣源瓶。

可選的，其中所述進氣管通過本體進氣管接頭與所述供氣本體相連。

可選的，其中所述多個出氣管包括兩個帶有手閥的自動出氣管和兩個不帶手閥的手動出氣管。

可選的，其中所述自動出氣管通過本體短聯接頭與所述供氣本體相連。

可選的，其中多個供氣管連接于所述這些出氣管。

可選的，其中所述氣瓶柜強制供氣裝置固定于固定底板上。

本實用新型提出的氣瓶柜強制供氣裝置，在給工藝氣體氣瓶柜的氣動閥供氣的氣瓶柜出現故障時，拔下氣動閥上的氣動管并把氣瓶柜強制供氣裝置上的供氣管插上，再打開該裝置進氣管側的供氣手閥即可立即實現強制供氣的要求，將氣源管道或者氣源瓶的氣體供給給氣動閥。本實用新型的多個出氣管可以包括兩個具有手閥的自動出氣管和兩個手動出氣管，可適用于手動氣柜和自動氣柜，該裝置可通過固定底板固定在墻上或者其他特定位置使用，也可移動使用。本實用新型的氣瓶柜強制供氣裝置結構簡單，操作方便且快捷迅速，解決了現在氣瓶柜實現強制供氣動作時，操作不便，費時費力極容易影響生產的不足。

附圖說明

圖1所述為本實用新型較佳實施例的結構示意圖。

具體實施方式

為了更了解本實用新型的技術內容，特舉具體實施例并配合所附圖式說明如下。

請參考圖1，圖1所述為本實用新型較佳實施例的結構示意圖。本實用新型提出一種氣瓶柜強制供氣裝置，用于向工藝氣體氣瓶柜的氣動閥供氣，其包括：進氣管100；供氣本體200，其連接于所述進氣管100；多個出氣管300，連接于所述供氣本體200。

其中所述進氣管100具有手閥110用于控制進氣管100的導通以及關閉，而所述進氣管100另一端連接于氣源管道或者氣源瓶，通常為氮氣氣源，其中所述進氣管100通過本體進氣管接頭120與所述供氣本體200相連，以方便進氣管100的安裝與拆卸。

當進氣管100的手閥110打開后，氮氣氣體通過進氣管100進入到供氣本體200中。所述多個出氣管300包括兩個帶有手閥312的自動出氣管310和兩個不帶手閥的手動出氣管320，因為工藝氣體氣瓶柜若為手動氣柜時，其具有兩個氣動閥并由手動控制供氣，此時只需兩個手動出氣管320連接供氣，并通過進氣管100上的手閥110控制供氣，當工藝氣體氣瓶柜為自動氣柜時，其具有四個氣動閥，此時需要將兩個帶有手閥312的自動出氣管310和兩個不帶手閥的手動出氣管320都連接到自動氣柜上，并打開自動出氣管310的手閥312供氣，然后通過進氣管100上的手閥110控制供氣。

其中所述自動出氣管310可以通過本體短聯接頭311與所述供氣本體200相連，以便于自動出氣管310的安裝與拆卸。本實用新型較佳實施例中的進氣管100和多個出氣管300可以都為不銹鋼制成。同時該氣瓶柜強制供氣裝置還可以具有多個供氣管400連接于所述這些出氣管300，而這些供氣管400可為供氣塑料管。