[實用新型]熱電偶溫度計

有效

• 申請號: 200820151983.9
• 申請日: 2008-08-15
• 公開（公告）號: CN201302490Y
• 公開（公告）日: 2009-09-02
• 發明（設計）人: 任瑞龍;關英來;凌堯;崔長祥
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司
• 主分類號: G01K7/02
• 分類號: G01K7/02;G01K1/14
• 代理公司: 上海智信專利代理有限公司
• 代理人: 王 潔

【技術領域】

本實用新型涉及一種熱電偶溫度計，尤其涉及一種帶固定裝置的熱電偶溫度計。

【背景技術】

熱電偶溫度計是一種利用不同導體接觸構成回路，產生電勢，根據電勢大小測試溫差的溫度計，利用熱電偶作為感溫元件，廣泛用于一些爐管、機臺等高工作溫度場所，在其使用時，并須將溫度計深入被測點。半導體制造廠中，存在很多熱工藝機臺，運用大量的熱電偶溫度計。

如圖1所示，這是一個現有爐管機臺中熱電偶溫度計的安裝示意圖，熱電偶溫度計1呈L型，其感溫一端設置于爐管機臺2內，另一端安裝在爐管的底座殼體，連接線纜，可以向機臺的監控端提供爐管內的溫度信息。爐管機臺的工作環境有時為真空，所以爐管內經常進行反復的抽真空和破真空的循環，而熱電偶溫度計1和機臺2之間全靠一條密封圈3來密封，并使用支撐架4支撐，在反復的抽真空過程中，L型熱電偶溫度計1極容易與密封圈3分離，從安裝位置上脫落，并被吸入爐管機臺2內，從而導致機臺的宕機，造成生產事故。

這樣就需要一種帶固定裝置的熱電偶溫度計，使其能夠牢固安裝在機臺上，避免在機臺的抽、破真空作業時被吸入機臺內部。

【實用新型內容】

本實用新型要解決的技術問題是提供一種帶固定裝置的熱電偶溫度計，以解決爐管機臺在反復的抽、破真空作業時，熱電偶溫度計容易脫落被吸入機臺內部的情況。

本實用新型所述的熱電偶溫度計，將現有的熱電偶溫度計在支撐架外的一段外殼上增加一個環形槽，所述固定裝置還包括一個C形環，C形環安裝在所述環形槽上，開口一側設有螺釘孔，用螺釘連接，形成封閉環形。C形環可用塑料材質，便于熱電偶溫度計的拆卸。

本實用新型所述的熱電偶溫度計，安裝時通過C形環的阻擋作用，有效防止了熱電偶溫度計在機臺的真空作業時，被吸入機臺內部的事故發生。

【附圖說明】

圖1為現有爐管機臺中熱電偶溫度計的安裝示意圖；

圖2為本實用新型所述熱電偶溫度計的結構示意圖；

圖3為本實用新型所述C形環的結構示意圖；

圖4為本實用新型所述熱電偶溫度計的安裝示意圖。

【具體實施方式】

下面結合說明書附圖對本實用新型的一個具體實施例作詳細說明。

如圖2所示，本實用新型所述的熱電偶溫度計一端為感溫端7，另一端為安裝端5。該熱電偶溫度計呈L字型結構，該感溫端7與該安裝端5呈直角。在L型結構的安裝端5一側，開有一個環形槽6，感溫端7在后續安裝時置于爐管機臺內部。

如圖3所示，C形環結構的環形開口一側設有兩個螺釘孔8，所述螺釘從兩螺釘孔中穿過，一端為螺釘頭，另一端的螺釘尾用螺母鉚接。圖中的螺釘、螺母尚未安裝。

在安裝時如圖4所示，先將熱電偶溫度計的感溫端7置于爐管機臺內，在安裝端5順序安裝上密封環3、支撐架4，然后在安裝端顯露在支撐架4外的環形槽6上安裝契合C形環9，C形環的開口一側用螺釘連接固定，使其形成封閉狀。

這樣在工作時，隨著爐管機臺的反復抽、破真空操作時，熱電偶溫度計因為環形槽上的C形環9被支撐架4阻擋，被固定在原位置，避免了密封環3的脫落以及溫度計被吸入爐管機臺內部的現象。

以上實施例僅用以說明而非限制本實用新型的技術方案。不脫離本實用新型精神和范圍的任何修改或局部替換，均應涵蓋在本實用新型的權利要求范圍當中。