[實用新型]加熱器保護環有效
| 申請號： | 200820151638.5 | 申請日： | 2008-08-05 |
| 公開（公告）號： | CN201236207Y | 公開（公告）日： | 2009-05-13 |
| 發明（設計）人： | 鄭洋超;李永俊 | 申請（專利權）人： | 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司 |
| 主分類號： | C23C16/04 | 分類號： | C23C16/04;C23C14/04 |
| 代理公司： | 上海智信專利代理有限公司 | 代理人： | 王 潔 |
| 地址： | 201203*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 加熱器 保護環 | ||
【權利要求書】：
1.一種加熱器保護環，其特征在于所述保護環呈圓環狀，保護環的圓環內徑不小于所述加熱器上的晶圓的直徑，保護環的圓環外徑不小于所述加熱器的外徑。
2.根據權利要求1所述的加熱器保護環，其特征在于所述保護環的厚度等于晶圓的厚度。
3.根據權利要求1所述的加熱器保護環，其特征在于所述保護環的圓環外徑等于加熱器的外徑。
4.根據權利要求1所述的加熱器保護環，其特征在于所述保護環的圓環內徑與晶圓外徑之間的間隙公差在0.01mm-0.5mm之間。
5.根據權利要求1所述的加熱器保護環，其特征在于所述保護環是陶瓷材料制成。
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C23 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制
C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學轉化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態化合物分解且表面材料的反應產物不留存于鍍層中的化學鍍覆，例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上，例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的
C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學轉化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態化合物分解且表面材料的反應產物不留存于鍍層中的化學鍍覆，例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上，例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的
