[實用新型]板材蝕刻處理裝置

有效

• 申請號: 200820151545.2
• 申請日: 2008-08-01
• 公開（公告）號: CN201242661Y
• 公開（公告）日: 2009-05-20
• 發明（設計）人: 徐美華
• 申請（專利權）人: 徐美華
• 主分類號: G03F7/30
• 分類號: G03F7/30;H05K3/06
• 代理公司: 上海開祺知識產權代理有限公司
• 代理人: 汪克臻

技術領域

本實用新型為一種板材蝕刻處理裝置，其利用一循環的水流以及文氏管原理，吸取滯留于板材上已反應的蝕刻液，以避免板材蝕刻不足的板材蝕刻處理裝置。

背景技術

目前的板材處理設備，以板材濕制程蝕刻處理設備來說，可包括板材蝕刻裝置、板材清洗裝置以及板材表面液體吸除裝置，各裝置中皆設有滾輪輸送組，以運送板材，如電路板或玻璃基板等。一般而言，板材會先在該板材蝕刻裝置中利用蝕刻液進行蝕刻，再進入板材清洗裝置中以清水清除板材上的蝕刻液，最后再經過板材表面干燥裝置，將板材上的清水除去，以取得一經蝕刻的干燥板材。

一般使用在濕制程蝕刻程序的裝置，可參看臺灣公告第335249號專利“電路板濕制程輸送裝置”，該輸送裝置亦為一種板材濕制程蝕刻裝置，該裝置包括一驅動桿、一下排滾輪組、一上排滾輪組、一下排噴射裝置以及一上排噴射裝置，該驅動桿具有復數驅動齒輪，該下排滾輪組包括復數彼此平行排列且具有復數滾輪的下桿體，各下桿體一端設有與對應的驅動齒輪嚙合的滾動齒輪，而各下桿體另端則設有一帶動齒輪，而該上排滾輪組設置于該下排滾輪組的上方，且包括復數彼此平行排列且具有復數滾輪的上桿體，各上桿體設有與對應的下桿體的帶動齒輪嚙合的對應齒輪，該下排噴射裝置設置于該下排滾輪組下方，且固定于該輸送裝置的側壁，并具有復數噴嘴，各噴嘴朝該下排滾輪組的方向設置，以噴出蝕刻液體，而該上排噴射裝置設置于該上排滾輪組的上方，且固定于該輸送裝置的側壁，并具有復數噴嘴，各噴嘴朝該上排滾輪組的方向設置，以噴出蝕刻液體。

當一板材被置放至該裝置時，放置于該上、下排滾輪組之間，當該驅動桿啟動后，該等驅動齒輪會帶動下桿體的滾動齒輪，而讓該下桿體開始滾動，以運送該板材，再藉由該下桿體的帶動齒輪帶動上桿體的對應齒輪，使上桿體亦開始滾動，在該板材于上、下排滾輪組中移動時，該上、下排噴射裝置會朝板材的上、下表面噴出蝕刻液，以蝕刻板材，使得板材上無涂布光阻的部分與蝕刻液反應而去除，以形成凹部以及電路；然而，由于板材具有一定的面積，當上排噴射裝置朝板材的上表面噴出蝕刻液后，大部分已反應過的蝕刻液會從板材邊緣流出，但在板材上表面中央區域會有部分已反應的蝕刻液滯留，即一般所稱的「水滯」現象，因此當尚未反應的蝕刻液噴灑至該板材時，由于滯留再板材中央已反應的蝕刻液的阻擋，會導致在板材中央形成的線路無法與新的蝕刻液反應，而產生蝕刻不足的現象，因此對于板材的蝕刻精度造成不易控制的缺點。

發明內容

本設計人有鑒于既有板材在板材蝕刻裝置中有可能因為板材中央區域有蝕刻液的殘留，且未及時清除而造成蝕刻不足的現象，因此經過不斷的研究以及試驗之后，終于創作出此板材蝕刻處理裝置。

本實用新型的目的在于提供一種利用一循環的水流以及文氏管原理，吸取殘留于板材上的蝕刻液，以避免板材蝕刻不足的板材蝕刻處理裝置。

為達上述目的，本實用新型的板材蝕刻處理裝置，其令一蝕刻槽分設有：

一板材運送裝置，其包括一上滾輪組以及一下滾輪組，各滾輪組包括復數平行排列且具有復數滾輪的桿體；

復數蝕刻液噴射管；

復數吸除管體，其分別間隔設置于該上滾輪組的桿體之間以及該下滾輪組的桿體之間；以及

一蝕刻液循環管，其兩端連通于該蝕刻槽，其中段位置具有一縮小管徑的頸縮部，且該頸縮部連通于該等吸除管體。

藉由在蝕刻槽中設置吸除管體，使得板材經過蝕刻液噴射管中所噴出的蝕刻液處理后，可再經由該吸除管體將板材上已反應過的蝕刻液吸除，故可避免蝕刻不足的情形產生。

再者，當蝕刻液循環管回收蝕刻液再利用時，蝕刻液會通過管徑縮小的頸縮部，此時蝕刻液會加快流動速率而產生負壓，使得通風管體中產生往頸縮部方向的氣流，讓吸除管體得以吸除板材表面上已反應過的蝕刻液；因此本實用新型無須利用額外的電力，故能節省成本，又能有效避免板材蝕刻不足，非常具有經濟效益。

附圖說明

圖1為本實用新型的部分剖面端視配置示意圖；以及

圖2為本實用新型的部分側視示意圖。

具體實施方式

請參看圖1和2所示，本實用新型的板材處理裝置，其為一蝕刻槽10分設有：

一板材運送裝置20，其包括一上滾輪組21以及一下滾輪組22，以供板材60于該上滾輪組21與下滾輪組22之間移動，各滾輪組21、22包括復數平行設置且具有復數滾輪211、221的桿體212、222；