[實用新型]板材蝕刻處理設備

無效

• 申請號: 200820151544.8
• 申請日: 2008-08-01
• 公開（公告）號: CN201242660Y
• 公開（公告）日: 2009-05-20
• 發明（設計）人: 徐美華
• 申請（專利權）人: 徐美華
• 主分類號: G03F7/30
• 分類號: G03F7/30;H05K3/06
• 代理公司: 上海開祺知識產權代理有限公司
• 代理人: 汪克臻

1.一種板材蝕刻處理設備，其特征在于，包括：

一蝕刻處理槽，其內部分設一板材輸送裝置以及一蝕刻液噴射裝置；

一回收裝置，其包括一輸出管、一輸入管以及設置于該輸出管和輸入管之間的一加壓管，該輸出管連通于該蝕刻處理槽的槽底，該輸入管亦連通于該蝕刻處理槽的蝕刻液噴射裝置，而該加壓管的管徑小于該輸出管的管徑，且該加壓管之側壁設有一進氣口。

2.如權利要求1所述的板材蝕刻處理設備，其特征在于，其尚設有一閥門裝置，其以一連接管連接于該加壓管的進氣口。

3.如權利要求2所述的板材蝕刻處理設備，其特征在于，該閥門裝置包括一垂直設置的控制管，該控制管之一端具有連通于該連接管的開口，另端則形成有一氣體入口，而該控制管內部具有一隔板，該隔板中央穿設有一氣體通道，且該隔板面對該氣體入口之一表面設有復數抵掣凸塊，在該隔板與氣體入口之間設有一阻擋塊。

4.如權利要求1、2或3所述的板材蝕刻處理設備，其特征在于，該加壓管的管徑亦小于該輸入管的管徑，且該輸出管以及該輸入管皆設有泵。

5.如權利要求1、2或3所述的板材蝕刻處理設備，其特征在于，該板材輸送裝置包括一上滾輪組以及一下滾輪組，該上、下滾輪組各包括復數平行排列且具有滾輪的上、下桿體，該蝕刻液噴射裝置包括復數上噴射管以及復數下噴射管。

6.如權利要求4所述的板材蝕刻處理設備，其特征在于，該板材輸送裝置包括一上滾輪組以及一下滾輪組，該上、下滾輪組各包括復數平行排列且具有滾輪的上、下桿體，該蝕刻液噴射裝置包括復數上噴射管以及復數下噴射管。

7.如權利要求5所述的板材蝕刻處理設備，其特征在于，該上噴射管設置于該上滾輪組的上方，該下噴射管設置于下滾輪組之下方。

8.如權利要求5所述的板材蝕刻處理設備，其特征在于，該上噴射管平行間隔設置于該上桿體之間，該下噴射管平行間隔設置于該下桿體之間。

9.如權利要求6所述的板材蝕刻處理設備，其特征在于，該上噴射管設置于該上滾輪組的上方，該下噴射管設置于下滾輪組之下方。

10.如權利要求6所述的板材蝕刻處理設備，其特征在于，該上噴射管平行間隔設置于該上桿體之間，該下噴射管平行間隔設置于該下桿體之間。