[實(shí)用新型]供氣控制裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200820151432.2
• 申請(qǐng)日: 2008-07-30
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN201232853Y
• 公開(kāi)（公告）日: 2009-05-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 吳衛(wèi)衛(wèi);張旭
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): F17D3/01
• 分類(lèi)號(hào): F17D3/01;F17D1/04
• 代理公司: 上海智信專(zhuān)利代理有限公司
• 代理人: 王 潔

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及供氣裝置，尤其涉及一種供氣控制裝置。

背景技術(shù)

在晶圓制造廠(chǎng)中，各種設(shè)備需要使用各種不同的特種氣體，因此傳輸特殊氣體的管道也很多。特殊氣體一般通過(guò)管道上的氣閥控制管道是否導(dǎo)通。如圖1所示，通過(guò)兩個(gè)氣閥同時(shí)控制特殊氣體的流通，氣閥的開(kāi)關(guān)通過(guò)一定氣壓的氣源輸入氣閥控制，氣源輸入氣閥一和氣閥二，氣閥一和氣閥二同時(shí)打開(kāi)，則特殊氣體通過(guò)管道從左向右傳輸。

現(xiàn)有技術(shù)的供氣控制裝置結(jié)構(gòu)如圖2所示，包括可編程邏輯控制器(Programmable?Logic?Controller)模塊10、電磁閥20、連通氣源90和電磁閥30的導(dǎo)管30、氣閥50以及連通氣閥和電磁閥的導(dǎo)管40，電磁閥20具有一個(gè)以上出氣口，20a和20b為其中的兩個(gè)，電磁閥20和若干個(gè)氣閥50連通，其中40a為電磁閥的出氣口20a與氣閥50a連通的導(dǎo)管，40b為電磁閥的出氣口20b與氣閥50b連通的導(dǎo)管。電磁閥20通過(guò)可編程邏輯控制器模塊10控制電磁閥20的出氣口是否與氣源導(dǎo)通。如圖2所示，氣瓶柜需向某工藝設(shè)備供特殊氣體時(shí)，需要?dú)忾y50a和50b導(dǎo)通。通過(guò)可編程邏輯控制器模塊10控制電磁閥20，使分別與氣閥50a和50b連通的出氣口20a和20b連通于氣源90，從而氣閥50a和50b置于“開(kāi)”狀態(tài)，實(shí)現(xiàn)供氣控制。

然而，可編程邏輯控制器模塊或者電磁閥失靈時(shí)，也或者突發(fā)停電導(dǎo)致可編程邏輯控制器模塊和電磁閥斷電時(shí)，圖2所示的供氣控制裝置將失效，不能對(duì)氣閥20控制。圖2所示的供氣控制裝置在失效時(shí)，一般是通過(guò)手動(dòng)控制電磁閥的20a和20b與氣源連通。但是這種方法，不能完全保證電磁閥的20a和20b與氣源連通，并且很難在短時(shí)間內(nèi)完成。因此這種供氣裝置，不能在特殊緊急故障情況下保證快速?gòu)?qiáng)制供氣，這將直接影響特殊氣體的穩(wěn)定供應(yīng)，并進(jìn)一步影響工藝設(shè)備生產(chǎn)制造的穩(wěn)定性。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型解決的技術(shù)問(wèn)題是：在特殊緊急故障情況下，供氣控制裝置能保證特殊氣體快速恢復(fù)持續(xù)供氣。

本實(shí)用新型公開(kāi)的供氣控制裝置包括電磁閥、控制電磁閥的可編程邏輯控制器模塊、連接氣源和電磁閥的第一管道、氣閥以及連接氣閥和電磁閥的第二管道，其特征在于還包括連通所述第一管道和所述第二管道的第三管道以及第三管道之上的手動(dòng)氣閥。

其中，所述第三管道包括連接第一管道的總路部分和連接第二管道的支路部分，所述第三管道的支路部分的數(shù)量與第二管道的數(shù)量相同。所述手動(dòng)氣閥置于所述第三管道的支路部分上。總路部分和支路部分通過(guò)T形快速連接器連接。

另一技術(shù)方案中，所述第三管道的數(shù)量與第二管道數(shù)量相同，并且每條第三管道相互獨(dú)立，每條第三管道連接各自對(duì)應(yīng)的第二管道和公共的第一管道。

其中，所述第一管道和第三管道之間通過(guò)T形快速連接器連接，所述第二管道和第三管道之間通過(guò)T形快速連接器連接。

所述電磁閥通過(guò)第一管道連接氣源，并通過(guò)第二管道連接一個(gè)或者若干個(gè)氣閥，電磁閥具有一個(gè)或者若干個(gè)出氣口，一個(gè)出氣口對(duì)應(yīng)連接一個(gè)氣閥。所述可編程邏輯控制器模塊控制電磁閥，從而控制氣閥的導(dǎo)通。

本實(shí)用新型的有益效果是：電磁閥以及可編程邏輯控制器模塊正常工作情況下，手動(dòng)氣閥關(guān)閉，供氣控制裝置通過(guò)電磁閥控制氣閥的導(dǎo)通與關(guān)閉，從而實(shí)現(xiàn)特殊氣體輸送管道的控制。在電磁閥或可編程邏輯控制器模塊失效的緊急情況下，通過(guò)手動(dòng)選擇手動(dòng)氣閥的開(kāi)關(guān)，從而選擇控制氣閥的導(dǎo)通與關(guān)閉，等效實(shí)現(xiàn)電磁閥控制的功能。因此本實(shí)用新型所提供的供氣控制裝置能在特殊緊急故障情況下能保證快速?gòu)?qiáng)制正常供氣，并且供氣控制裝置結(jié)構(gòu)相對(duì)簡(jiǎn)單。

附圖說(shuō)明

圖1為現(xiàn)有技術(shù)氣閥控制示意圖；

圖2為現(xiàn)有技術(shù)供氣控制裝置示意圖；

圖3為本實(shí)用新型所提供的供氣控制裝置的一實(shí)施例示意圖；

圖4為本實(shí)用新型所提供的供氣控制裝置的又一實(shí)施例示意圖；

圖5為本實(shí)用新型所提供的供氣控制裝置的又一實(shí)施例示意圖。

具體實(shí)施方式

為使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。