[實(shí)用新型]同步移相菲索干涉儀

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200820151412.5
• 申請(qǐng)日: 2008-07-30
• 公開（公告）號(hào): CN201251428Y
• 公開（公告）日: 2009-06-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 曾愛(ài)軍;郭小嫻;江曉軍;謝承科;黃惠杰;王向朝
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所
• 主分類號(hào): G01B9/02
• 分類號(hào): G01B9/02;G01B11/24;G01J9/02;G02B1/10;G02B5/30
• 代理公司: 上海新天專利代理有限公司
• 代理人: 張澤純

1、一種同步移相菲索干涉儀，特征在于其由線偏振激光光源(1)、二分之一波片(2)、聚焦透鏡(3)、光闌(4)、分束器(5)、第一準(zhǔn)直透鏡(6)、雙折射薄膜型標(biāo)準(zhǔn)鏡(7)、第二準(zhǔn)直透鏡(8)與同步移相器(9)組成，其位置關(guān)系是：沿所述的線偏振激光光源(1)的光束前進(jìn)方向上，依次是所述的二分之一波片(2)、聚焦透鏡(3)、光闌(4)、分束器(5)、第一準(zhǔn)直透鏡(6)、雙折射薄膜型標(biāo)準(zhǔn)鏡(7)，所述的光闌(4)位于所述的聚焦透鏡(3)的后焦點(diǎn)和所述的第一準(zhǔn)直透鏡(6)的前焦點(diǎn)，在所述的分束器(5)的垂直于上述光束前進(jìn)方向的方向上依次是第二準(zhǔn)直透鏡(8)與同步移相器(9)，待測(cè)面(10)處于所述的線偏振激光光源(1)的光束經(jīng)過(guò)所述的雙折射薄膜型標(biāo)準(zhǔn)鏡(7)的出射方向上，所述的雙折射薄膜型標(biāo)準(zhǔn)鏡(7)是一塊標(biāo)準(zhǔn)平板(701)并在該標(biāo)準(zhǔn)平板(701)的入射面有增透膜(703)，出射面具有雙折射薄膜(702)和增透膜(704)，所述的雙折射薄膜(702)的相位延遲量為90°。

2、根據(jù)權(quán)利要求1所述的同步移相菲索干涉儀，其特征在于所述的分束器、第一準(zhǔn)直透鏡、第二準(zhǔn)直透鏡的入射面和出射面均鍍有增透膜。

3、根據(jù)權(quán)利要求1所述的同步移相菲索干涉儀，其特征在于所述的線偏振激光光源為直接輸出線偏振激光的激光器，或者是由激光器與起偏器構(gòu)成的線偏振激光組合體。

4、根據(jù)權(quán)利要求1至3任一項(xiàng)所述的同步移相菲索干涉儀，其特征在于所述的同步移相器為分束棱鏡分光型同步移相器、衍射元件分光型同步移相器、全息元件分光型同步移相器或微偏振器陣列型同步移相器。