[實(shí)用新型]相變薄膜微區(qū)光譜測量裝置

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200820151235.0
• 申請(qǐng)日: 2008-07-25
• 公開（公告）號(hào): CN201251545Y
• 公開（公告）日: 2009-06-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 翟鳳瀟;魏勁松;王陽;吳誼群
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所
• 主分類號(hào): G01N21/39
• 分類號(hào): G01N21/39
• 代理公司: 上海新天專利代理有限公司
• 代理人: 張澤純

1、一種相變薄膜微區(qū)光譜測量裝置，其特征在于：該裝置由光源(1)、光闌(2)、斬光器(3)、第二半反半透鏡(5)、第三半反半透鏡(6)、物鏡(7)、成像透鏡(9)、第一透鏡(10)、第一光譜儀(11)、第一光電探測器(12)、鎖相放大器(13)、第二光電探測器(14)、第二光譜儀(15)、第二透鏡(16)、第三透鏡(17)、聲光器件(18)、第四透鏡(19)、擴(kuò)束鏡(20)、激光器(21)和計(jì)算機(jī)(24)構(gòu)成，其位置關(guān)系如下：由所述的光源(1)出射的光經(jīng)光闌(2)，通過斬光器(3)的調(diào)制，再依次經(jīng)過第二半反半透鏡(5)、第三半反半透鏡(6)透過的光經(jīng)過物鏡(7)聚焦照射到樣品臺(tái)上的樣品(8)的表面上，透過所述的樣品(8)的光經(jīng)過成像透鏡(9)和第一透鏡(10)進(jìn)入第一光譜儀(11)，光譜信號(hào)由第一光電探測器(12)探測；被所述的樣品(8)反射的光經(jīng)過所述的物鏡(7)返回成像，然后經(jīng)所述的第三半反半透鏡(6)的反射后，經(jīng)第二透鏡(16)的聚焦進(jìn)入所述的第二光譜儀(15)，光譜的信號(hào)由第二光電探測器(14)探測，所述的第一光電探測器(12)和第二光電探測器(14)的輸出端與鎖相放大器(13)的輸入端相連，所述的第一光電探測器(12)和第二光電探測器(14)的第二輸出端與計(jì)算機(jī)(24)相連，該計(jì)算機(jī)(24)的輸出端接所述的鎖相放大器(13)的第三輸入端，該鎖相放大器(13)參考輸入端接所述的斬光器(3)，在所述的第二半反半透鏡(5)的反射光方向依次是第三透鏡(17)、聲光器件(18)、第四透鏡(19)、擴(kuò)束鏡(20)和激光器(21)。

2、根據(jù)權(quán)利要求1所述的相變薄膜微區(qū)光譜測量裝置，其特征在于所述的待測樣品(8)置于三維平移臺(tái)上。

3、根據(jù)權(quán)利要求1所述的相變薄膜微區(qū)光譜測量裝置，其特征是在所述的斬光器(3)和第二半反半透鏡(5)之間設(shè)有第一半反半透鏡(4)，在該第一半反半透鏡(4)的反射光方向依次有衰減片(22)和CCD探測器(23)。

4、根據(jù)權(quán)利要求1所述的相變薄膜微區(qū)光譜測量裝置，其特征在于在所述的激光器(21)是He—Ne激光器。