[實用新型]在線濃度計裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200820151224.2
• 申請日: 2008-07-25
• 公開（公告）號: CN201233388Y
• 公開（公告）日: 2009-05-06
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 楊學(xué)娜;張旭
• 申請（專利權(quán)）人: 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司
• 主分類號: G01N31/00
• 分類號: G01N31/00
• 代理公司: 上海智信專利代理有限公司
• 代理人: 王 潔

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及一種在線濃度計裝置。

背景技術(shù)

濃度計常用于測量化學(xué)溶液的濃度值。一般情況下，濃度計測量濃度值時要求的精度根據(jù)不同應(yīng)用環(huán)境有不同的要求。在晶圓生產(chǎn)廠中，通常要使用濃度計在線測量化學(xué)溶液的質(zhì)量百分比濃度高，并實時監(jiān)測化學(xué)溶液的質(zhì)量百分比濃度的變化。一般情況下，濃度計的質(zhì)量百分比濃度測量精度要求達(dá)到0.01％。

同時根據(jù)在線測量的特點(diǎn)，由于晶圓廠的特殊環(huán)境，在濃度計周圍的設(shè)備一般會對濃度計造成靜電以及電磁干擾。而生產(chǎn)經(jīng)驗表明這種干擾對濃度計的精度有著相當(dāng)大的影響。圖1所示為現(xiàn)有技術(shù)的在線濃度計裝置，在線濃度計裝置20包括塑料容器2以及置于塑料容器中的濃度計5，塑料容器中有入口21和出口22，數(shù)據(jù)通訊線4與濃度計5連接，用來傳輸濃度計的實時測量數(shù)據(jù)。圖2所示為現(xiàn)有技術(shù)濃度計裝置的在線測量結(jié)果，濃度計5本身的百分比濃度測量精度可以達(dá)到0.01％，但是由于環(huán)境中靜電以及電磁干擾等原因，導(dǎo)致測量結(jié)果上下波動，導(dǎo)致了在線濃度計裝置20的測量結(jié)果不準(zhǔn)確性。這種不準(zhǔn)確性能最終導(dǎo)致生產(chǎn)中使用的化學(xué)品不符合生產(chǎn)的要求，對產(chǎn)品品質(zhì)造成影響。

實用新型內(nèi)容

為解在線決濃度計裝置測量時靜電及電磁干擾問題，提高在線濃度計裝置的測量的準(zhǔn)確度，本實用新型提供一種在線濃度計裝置。

本實用新型所公開的抗干擾在線濃度計裝置，包括容器、位于所述容器內(nèi)的濃度計以及覆蓋于所述容器外表面的金屬層。

其中，所述金屬層可以為鋁箔紙材料，所述濃度計插置在所述容器中，并通過數(shù)據(jù)通信線向外傳輸數(shù)據(jù)，所述容器為塑料容器。

通過覆蓋于容器外表面的金屬層，可以屏蔽周圍環(huán)境中的靜電及電磁對濃度計的干擾，從而防止測量值的波動，提高濃度測量的準(zhǔn)確度。

本實用新型提供的在線濃度計裝置結(jié)構(gòu)簡單、成本低。

附圖說明

圖1為現(xiàn)有技術(shù)在線濃度計裝置截面示意圖；

圖2為現(xiàn)有技術(shù)在線濃度計裝置的測量結(jié)果圖；

圖3為本實用新型提供的在線濃度計裝置具體實施例截面示意圖；

圖4為本實用新型實施例的在線濃度計裝置的測量結(jié)果圖。

具體實施方式

為使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面結(jié)合附圖對本發(fā)明作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。

圖3本實用新型所提供的抗干擾濃度計裝置的其中一個具體實施例截面示意圖。如圖1所示，抗干擾濃度計裝置10包括容納化學(xué)溶液的塑容器2，可選材料為塑料，用于盛裝化學(xué)溶液，位于容器2中的濃度計5以及覆蓋于容器2外表面的金屬層3。其中4為與濃度計相連接的數(shù)據(jù)通訊線，用于濃度計測量出來的數(shù)據(jù)值的傳輸。21為容器的入口，22為容器的出口；化學(xué)溶液從入口進(jìn)入，出口流出，在容器2中完成在線濃度檢測。金屬層3緊貼于容器2的表面，全部覆蓋容器2，它可以為一層鋁箔紙材料，可以屏蔽周圍環(huán)境中的靜電以及電磁對濃度計5的干擾，從而放置測量值的波動，提高濃度測量的準(zhǔn)確度。此外，所述濃度計裝置的結(jié)構(gòu)簡單，可以低成本實現(xiàn)。

圖4所示為本實用新型實施例的在線濃度計裝置的測量結(jié)果圖。與現(xiàn)有技術(shù)的在線濃度計裝置的測量結(jié)果圖2所比較可以看出，防止了濃度計的質(zhì)量百分比濃度的波動，其測量精度基本達(dá)到0.01％。

在不偏離本發(fā)明的精神和范圍的情況下還可以構(gòu)成許多有很大差別的實施例。應(yīng)當(dāng)理解，除了如所附的權(quán)利要求所限定的，本發(fā)明不限于在說明書中所述的具體實施例。