[實(shí)用新型]用于晶圓處理機(jī)臺(tái)的倍速入料裝置及晶圓處理機(jī)臺(tái)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200820147519.2
• 申請(qǐng)日: 2008-09-12
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN201327837Y
• 公開(kāi)（公告）日: 2009-10-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 林漢聲
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 中茂電子(深圳)有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L31/18
• 分類(lèi)號(hào): H01L31/18;H01L21/677;H01L21/66
• 代理公司: 廣東國(guó)暉律師事務(wù)所
• 代理人: 歐陽(yáng)啟明

1、一種用于晶圓處理機(jī)臺(tái)的倍速入料裝置，該機(jī)臺(tái)包括供該入料裝置設(shè)置并形成有復(fù)數(shù)汲取位置的基座、一組承接該入料裝置輸送的待處理晶圓的輸送裝置、及一組承接該輸送裝置輸送的待處理晶圓的處理裝置，其特征在于，該入料裝置包括：

復(fù)數(shù)分別對(duì)應(yīng)置放于該汲取位置、并分別可承載多片待處理晶圓的承載器；及

與汲取器分別對(duì)應(yīng)、并在該汲取器分別對(duì)應(yīng)于汲取位置而同步汲取待處理晶圓的位置和該汲取器分別對(duì)應(yīng)于該輸送裝置而同步釋放待處理晶圓至該輸送裝置的位置之間移動(dòng)的復(fù)數(shù)個(gè)汲取組件。

2、根據(jù)權(quán)利要求1所述的倍速入料裝置，其特征在于，該承載器分別對(duì)稱(chēng)設(shè)置于該輸送裝置兩側(cè)的汲取位置，且該汲取組件包括分別對(duì)應(yīng)該輸送裝置兩側(cè)汲取位置的兩組半組件。

3、根據(jù)權(quán)利要求2所述的倍速入料裝置，其特征在于，其中該輸送裝置兩側(cè)的承載器分別為兩個(gè)，且該兩組半組件同步移動(dòng)且分別具有兩個(gè)汲取器。

4、一種具有倍速入料裝置的晶圓處理機(jī)臺(tái)，包括：

一個(gè)形成有復(fù)數(shù)汲取位置的基座；

一組輸送裝置；

一組設(shè)置于該基座的倍速入料裝置，其特征在于，該倍速入料裝置包括：

復(fù)數(shù)分別對(duì)應(yīng)置放于該汲取位置、并分別可承載多片待處理晶圓的承載器；及

與汲取器分別對(duì)應(yīng)、并在該汲取器分別對(duì)應(yīng)于汲取位置而同步汲取待處理晶圓的位置和該汲取器分別對(duì)應(yīng)于該輸送裝置而同步釋放待處理晶圓至該輸送裝置的位置之間移動(dòng)的復(fù)數(shù)個(gè)汲取組件；

一組承接該輸送裝置輸送的待處理晶圓的處理裝置。

5、根據(jù)權(quán)利要求4所述的晶圓處理機(jī)臺(tái)，其特征在于，所述的晶圓處理機(jī)臺(tái)還包括對(duì)應(yīng)該等汲取位置設(shè)置、于該汲取器汲取承載于該承載器的待處理晶圓時(shí)鼓風(fēng)以分離迭置晶圓的復(fù)數(shù)吹嘴。

6、根據(jù)權(quán)利要求4或者5所述的晶圓處理機(jī)臺(tái)，其特征在于，該承載器分別對(duì)稱(chēng)設(shè)置于該輸送裝置兩側(cè)的汲取位置，且該汲取組件包括分別對(duì)應(yīng)該輸送裝置兩側(cè)汲取位置的兩組半組件。

7、根據(jù)權(quán)利要求6所述的晶圓處理機(jī)臺(tái)，其特征在于，該輸送裝置兩側(cè)的承載器分別為兩個(gè)，且該兩組半組件同步移動(dòng)且分別具有兩個(gè)汲取器。

8、根據(jù)權(quán)利要求4或者5所述的晶圓處理機(jī)臺(tái)，其特征在于，所述的晶圓處理機(jī)臺(tái)還包括與該倍速入料裝置串接設(shè)置于該處理裝置上游的第二組倍速入料裝置。