[實用新型]多通道聲表面波化學傳感裝置

無效

• 申請號: 200820145020.8
• 申請日: 2008-12-29
• 公開（公告）號: CN201348624Y
• 公開（公告）日: 2009-11-18
• 發明（設計）人: 趙路明;廖繼平;趙啟大;廖同慶;苗銀萍;王斐;黃桂嶺;李淑紅;曾祥燁
• 申請（專利權）人: 南開大學
• 主分類號: G01N29/036
• 分類號: G01N29/036;G01N29/32
• 代理公司: 天津佳盟知識產權代理有限公司
• 代理人: 李益書

1、一種多通道聲表面波化學傳感裝置，其特征在于，包括有多通道聲表面波化學傳感器和混頻電路、振蕩電路，其中，

所述多通道聲表面波化學傳感器通過在多通道聲表面波傳感器上的每個檢測通道上貼附不同的敏感薄膜而構成，所述多通道聲表面波傳感器以壓電晶體作為聲表面波傳感器的基底，其上具有多個檢測通道和一個參考通道，該基底上制作有多對并行的陣列叉指換能器，每對叉指換能器包括輸入換能器和輸出換能器，分別用于構成延遲線型和諧振型聲表面波器件；

所述混頻電路用于獲得每個檢測通道與參考通道之間的差頻信號；

所述振蕩電路，用于驅動叉指換能器產生固定頻率的振蕩，作為多通道聲表面波化學傳感器的中心工作頻率。

2、如權利要求1所述的多通道聲表面波化學傳感裝置，其特征在于，所述聲表面波傳感器的基底為YZ切鈮酸鋰LiNbO₃晶體或石英晶體。

3、如權利要求1所述的多通道聲表面波化學傳感裝置，其特征在于，所述多通道聲表面波化學傳感器通過在多通道聲表面波傳感器上的每個檢測通道上用涂敷或蒸鍍或沉積的方法來貼附不同的特定敏感薄膜而構成。

4、如權利要求1所述的多通道聲表面波化學傳感裝置，其特征在于，在基底上制成叉指換能器的方法為半導體集成電路平面工藝。

5、如權利要求1所述的多通道聲表面波化學傳感裝置，其特征在于，延遲型聲表面波傳感器的中心工作頻率為100MHz，諧振型聲表面波傳感器的中心工作頻率為148MHz。

6、如權利要求1所述的多通道聲表面波化學傳感裝置，其特征在于，所述敏感薄膜為在石英基底上鍍厚度為1.2μm的氧化鋅，再鍍厚度為40-200nm的合適配比的氧化銦和氧化錫。

7、如權利要求1所述的多通道聲表面波化學傳感裝置，其特征在于，還包括與混頻電路相連接的整形電路，該整形電路用于將由混頻電路所檢測得到的檢測通道與參考通道之間的差頻信號進行整形，形成一個與差頻信號同頻的方波信號。

8、如權利要求7所述的多通道聲表面波化學傳感裝置，其特征在于，所述整形電路的信號輸出端連接有計數器，該計數器用于記錄經過整形電路進行整形所輸出的方波數目。