[實用新型]光學膜厚測試儀有效
| 申請號: | 200820141227.8 | 申請日: | 2008-11-07 |
| 公開(公告)號: | CN201318934Y | 公開(公告)日: | 2009-09-30 |
| 發明(設計)人: | 魏楊;薛尚清;張博;謝亮 | 申請(專利權)人: | 四川南光電氣有限責任公司 |
| 主分類號: | G01B11/06 | 分類號: | G01B11/06 |
| 代理公司: | 成都立信專利事務所有限公司 | 代理人: | 馮忠亮 |
| 地址: | 610100四川省成都*** | 國省代碼: | 四川;51 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 光學 測試儀 | ||
1、光學膜厚測試儀,其特征在于主輸入信號依次經串聯的差分放大器、陷波器、主信號放大器、低通濾波器和偏置疊加器輸入模數轉換器、模數轉換器的輸出接邏輯可編程器件,參考輸入信號經參考信號處理電路輸入邏輯可編程器件,邏輯可編程器件的輸出與單片機連接,單片機與顯示器連接。
2、根據權利要求1所述的光學膜厚測試儀,其特征在于參考信號處理電路由接口P1接入參考信號,經低通濾波器濾波、第一運算放大器WB放大和比較器U2整形為方波信號后輸入邏輯可編程器件。
3、根據權利要求1所述的光學膜厚測試儀,其特征在于差分放大器由第二運算放大器U1構成,陷波器由串連的第一放大器U3和第二放大器U4構成、第一、二放大器分別與電阻和電容構成50Hz和100Hz陷波器,主信號放大器為反向放大器,通過調節電阻R13校準放大位數,低通濾波器為二階低通濾波器U5,偏置疊加器由基準芯片U14和第三運算放大器U6構成,基準芯片輸出基準電壓加入第三運算放大器,使由低通濾波器U5輸入的雙極性信號變換為基準電壓為中心的單極信號輸入模數轉換器,邏輯可編程器件為可編程門衛陣列,單片機與鍵盤和串口連接。
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