[實(shí)用新型]光阻汲取噴頭的定位裝置

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200820140359.9
• 申請(qǐng)日: 2008-11-12
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN201307215Y
• 公開(kāi)（公告）日: 2009-09-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳德三
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 陳德三
• 主分類(lèi)號(hào): G03F7/16
• 分類(lèi)號(hào): G03F7/16
• 代理公司: 中國(guó)商標(biāo)專(zhuān)利事務(wù)所有限公司
• 代理人: 萬(wàn)學(xué)堂;宋 迎

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種光阻汲取噴頭的定位裝置，尤指一種運(yùn)用于光阻容器中，并利用可更換式設(shè)計(jì)達(dá)到降低成本的光阻汲取噴頭的定位裝置。

背景技術(shù)

請(qǐng)參閱圖8所示，習(xí)用光阻汲取噴頭包含有一具有內(nèi)螺紋的定位裝置90、一汲取管91、一回流管92及一加壓管93，該定位裝置90是以一體成形手段制程的構(gòu)件，并藉由該定位裝置90內(nèi)所設(shè)置的內(nèi)螺紋以螺合于光阻容器上，該汲取管91、回流管92及加壓管93皆是設(shè)置于該定位裝置90上并貫穿該定位裝置90。

然上述中，習(xí)用光阻汲取噴頭在重復(fù)拆裝于該光阻容器的過(guò)程中，該定位裝置90的內(nèi)螺紋會(huì)被磨耗而損壞，降低該光阻汲取噴頭鎖固于該光阻容器的穩(wěn)固性，故需要更換該光阻汲取噴頭的定位裝置，而更換的方式是將定位裝置90連同這些管件整個(gè)更換，但是，該光阻汲取噴頭中損壞的部分是在于該定位裝置90，另該汲取管91、回流管92及加壓管93仍可使用，所以該光阻汲取噴頭為更換該定位裝置90而需整個(gè)更換的方式，過(guò)于浪費(fèi)且不符合經(jīng)濟(jì)效益。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題是：提供一種光阻汲取噴頭的定位裝置，改善習(xí)用光阻汲取噴頭為更換定位裝置而需整體更換并導(dǎo)致浪費(fèi)的缺點(diǎn)。

本實(shí)用新型的技術(shù)解決方案是：提供一種光阻汲取噴頭的定位裝置，其是將汲取管、回流管與加壓管定位于一光阻容器上，其特征在于，該定位裝置包含有一定位組件及一銜接件；

該定位組件具有一定位板及一組接件，該定位板的中央處設(shè)有一組接孔且一側(cè)面上設(shè)有多個(gè)定位桿，該定位板上設(shè)有多個(gè)環(huán)布該組接孔外圍的結(jié)合孔及拆卸孔，該組接件是設(shè)置于該組接孔中，且該組接件上設(shè)有三個(gè)分別提供該汲取管、回流管及加壓管組設(shè)的定位孔；

該銜接件于中央處設(shè)有一螺接孔，并于該螺接孔外周?chē)O(shè)置多個(gè)對(duì)位孔及多個(gè)螺孔，這些對(duì)位孔分別對(duì)應(yīng)定位桿且提供定位桿插組，這些螺孔分別對(duì)應(yīng)結(jié)合孔，且利用固定件伸入并將該定位組件組設(shè)于該銜接件上。

如上所述的光阻汲取噴頭的定位裝置，該組接件包括有一上板及一下板，該上、下板以固定件結(jié)合并夾持定位于該定位板上，這些對(duì)位孔及這些螺孔環(huán)設(shè)于該螺接孔的外周?chē)撀萁涌子谠撱暯蛹粋?cè)面上形成一開(kāi)口，該開(kāi)口的口徑小于該定位板外徑且大于該組接件外徑，這些對(duì)位孔及這些螺孔環(huán)設(shè)于該開(kāi)口外周?chē)?/p>

本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是：該定位裝置中的定位組件與銜接件是可拆組更換式的設(shè)計(jì)，所以可單獨(dú)針對(duì)磨耗的銜接件進(jìn)行更換，并保留仍可使用的定位組件，故后續(xù)使用的成本花費(fèi)可以降低，也能達(dá)到環(huán)保并符合經(jīng)濟(jì)效益的目的。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型光阻汲取噴頭的定位裝置的使用狀態(tài)局部分解示意圖。

圖2為本實(shí)用新型光阻汲取噴頭的定位裝置中定位組件的立體分解示意圖。

圖3為本實(shí)用新型光阻汲取噴頭的定位裝置中定位組件的立體組合示意圖。

圖4為本實(shí)用新型光阻汲取噴頭的定位裝置的立體局部分解示意圖。

圖5為本實(shí)用新型光阻汲取噴頭的定位裝置的立體組合示意圖。

圖6為本實(shí)用新型光阻汲取噴頭的定位裝置的使用狀態(tài)立體示意圖。

圖7為本實(shí)用新型光阻汲取噴頭的定位裝置另一具體實(shí)施例的立體示意圖。

圖8為習(xí)用光阻汲取噴頭的定位裝置的使用狀態(tài)立體示意圖。

附圖標(biāo)號(hào)說(shuō)明：

10—定位組件???????????11--定位板

111--迫孔??????????????12—組接件

13--組接孔?????????????14--定位桿

15--結(jié)合孔?????????????16--拆卸孔

17—定位孔?????????????18—上板

19--下板???????????????20--銜接件

21--螺接孔?????????????22--對(duì)位孔

23--螺孔???????????????24--開(kāi)口

30--固定件?????????????40--汲取管

50--回流管?????????????60--加壓管

90--定位裝置?????91—汲取管

92—回流管???????93--加壓管

具體實(shí)施方式

如圖1及圖6所示，揭示本實(shí)用新型所提供的光阻汲取噴頭的定位裝置的使用狀況示意圖，該定位裝置是提供一汲取管40、一回流管50及一加壓管60組設(shè)其上，且進(jìn)一步定位于一光阻容器中，該定位裝置包含有一定位組件10及一銜接件20。