[實用新型]光阻汲取噴頭的定位裝置

無效

• 申請號: 200820140359.9
• 申請日: 2008-11-12
• 公開（公告）號: CN201307215Y
• 公開（公告）日: 2009-09-09
• 發明（設計）人: 陳德三
• 申請（專利權）人: 陳德三
• 主分類號: G03F7/16
• 分類號: G03F7/16
• 代理公司: 中國商標專利事務所有限公司
• 代理人: 萬學堂;宋 迎

技術領域

本實用新型涉及一種光阻汲取噴頭的定位裝置，尤指一種運用于光阻容器中，并利用可更換式設計達到降低成本的光阻汲取噴頭的定位裝置。

背景技術

請參閱圖8所示，習用光阻汲取噴頭包含有一具有內螺紋的定位裝置90、一汲取管91、一回流管92及一加壓管93，該定位裝置90是以一體成形手段制程的構件，并藉由該定位裝置90內所設置的內螺紋以螺合于光阻容器上，該汲取管91、回流管92及加壓管93皆是設置于該定位裝置90上并貫穿該定位裝置90。

然上述中，習用光阻汲取噴頭在重復拆裝于該光阻容器的過程中，該定位裝置90的內螺紋會被磨耗而損壞，降低該光阻汲取噴頭鎖固于該光阻容器的穩固性，故需要更換該光阻汲取噴頭的定位裝置，而更換的方式是將定位裝置90連同這些管件整個更換，但是，該光阻汲取噴頭中損壞的部分是在于該定位裝置90，另該汲取管91、回流管92及加壓管93仍可使用，所以該光阻汲取噴頭為更換該定位裝置90而需整個更換的方式，過于浪費且不符合經濟效益。

實用新型內容

本實用新型要解決的技術問題是：提供一種光阻汲取噴頭的定位裝置，改善習用光阻汲取噴頭為更換定位裝置而需整體更換并導致浪費的缺點。

本實用新型的技術解決方案是：提供一種光阻汲取噴頭的定位裝置，其是將汲取管、回流管與加壓管定位于一光阻容器上，其特征在于，該定位裝置包含有一定位組件及一銜接件；

該定位組件具有一定位板及一組接件，該定位板的中央處設有一組接孔且一側面上設有多個定位桿，該定位板上設有多個環布該組接孔外圍的結合孔及拆卸孔，該組接件是設置于該組接孔中，且該組接件上設有三個分別提供該汲取管、回流管及加壓管組設的定位孔；

該銜接件于中央處設有一螺接孔，并于該螺接孔外周圍設置多個對位孔及多個螺孔，這些對位孔分別對應定位桿且提供定位桿插組，這些螺孔分別對應結合孔，且利用固定件伸入并將該定位組件組設于該銜接件上。

如上所述的光阻汲取噴頭的定位裝置，該組接件包括有一上板及一下板，該上、下板以固定件結合并夾持定位于該定位板上，這些對位孔及這些螺孔環設于該螺接孔的外周圍，該螺接孔于該銜接件一側面上形成一開口，該開口的口徑小于該定位板外徑且大于該組接件外徑，這些對位孔及這些螺孔環設于該開口外周圍。

本實用新型的優點是：該定位裝置中的定位組件與銜接件是可拆組更換式的設計，所以可單獨針對磨耗的銜接件進行更換，并保留仍可使用的定位組件，故后續使用的成本花費可以降低，也能達到環保并符合經濟效益的目的。

附圖說明

圖1為本實用新型光阻汲取噴頭的定位裝置的使用狀態局部分解示意圖。

圖2為本實用新型光阻汲取噴頭的定位裝置中定位組件的立體分解示意圖。

圖3為本實用新型光阻汲取噴頭的定位裝置中定位組件的立體組合示意圖。

圖4為本實用新型光阻汲取噴頭的定位裝置的立體局部分解示意圖。

圖5為本實用新型光阻汲取噴頭的定位裝置的立體組合示意圖。

圖6為本實用新型光阻汲取噴頭的定位裝置的使用狀態立體示意圖。

圖7為本實用新型光阻汲取噴頭的定位裝置另一具體實施例的立體示意圖。

圖8為習用光阻汲取噴頭的定位裝置的使用狀態立體示意圖。

附圖標號說明：

10—定位組件???????????11--定位板

111--迫孔??????????????12—組接件

13--組接孔?????????????14--定位桿

15--結合孔?????????????16--拆卸孔

17—定位孔?????????????18—上板

19--下板???????????????20--銜接件

21--螺接孔?????????????22--對位孔

23--螺孔???????????????24--開口

30--固定件?????????????40--汲取管

50--回流管?????????????60--加壓管

90--定位裝置?????91—汲取管

92—回流管???????93--加壓管

具體實施方式

如圖1及圖6所示，揭示本實用新型所提供的光阻汲取噴頭的定位裝置的使用狀況示意圖，該定位裝置是提供一汲取管40、一回流管50及一加壓管60組設其上，且進一步定位于一光阻容器中，該定位裝置包含有一定位組件10及一銜接件20。