[實(shí)用新型]非接觸影像測(cè)量裝置

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200820136049.X
• 申請(qǐng)日: 2008-09-27
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN201273811Y
• 公開(kāi)（公告）日: 2009-07-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊信杰
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 源臺(tái)精密科技股份有限公司
• 主分類號(hào): G01B9/04
• 分類號(hào): G01B9/04
• 代理公司: 天津三元專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司
• 代理人: 錢 凱

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種顯微鏡測(cè)量裝置，尤其涉及一種可測(cè)量大型工 件的顯微鏡測(cè)量裝置。

背景技術(shù)

如圖6所示，為現(xiàn)有的顯微鏡測(cè)量裝置，由圖中可見(jiàn)，該裝置設(shè)有 一平臺(tái)90，此平臺(tái)90是由操作滾輪91而進(jìn)行X軸與Y軸水平方向 的位移，而顯微鏡92則位于平臺(tái)上方以滾輪91控制Z軸方向的垂直 位移。

然而，現(xiàn)有的顯微鏡測(cè)量裝置因平臺(tái)90尺寸較小，因此對(duì)于大型 的工件，則無(wú)法測(cè)量，且現(xiàn)有的顯微鏡測(cè)量裝置在調(diào)整顯微鏡倍率及光 源等，皆需手動(dòng)調(diào)整，在操作上非常不方便。

再者，待測(cè)量物93需以非接觸影像測(cè)量裝置測(cè)量，尺寸是相當(dāng)?shù)? 微小，而測(cè)量?jī)x器利用顯微鏡頭，其所需的精確度則更為嚴(yán)謹(jǐn)，因此測(cè) 量的精準(zhǔn)度除裝置本身的測(cè)量器具精密度外，待測(cè)量物93于平臺(tái)90 上的定位亦會(huì)影響測(cè)量，亦即，一般的待測(cè)量物93通常放置在平臺(tái)9 0上，而當(dāng)操作滾輪91使平臺(tái)進(jìn)行X軸與Y軸的位移時(shí)，待測(cè)量物9 3易在位移時(shí)造成移位現(xiàn)象(如圖7所示)，因此讓待測(cè)量物93于測(cè)量 的基準(zhǔn)點(diǎn)偏移。

因此，如何解決上述現(xiàn)有的顯微鏡測(cè)量裝置，無(wú)法測(cè)量大型工件及 操作不易與測(cè)量精準(zhǔn)度失準(zhǔn)的問(wèn)題，即為本實(shí)用新型的重點(diǎn)所在。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型所要解決的主要技術(shù)問(wèn)題在于，克服現(xiàn)有技術(shù)存在的上 述缺陷，而提供一種非接觸影像測(cè)量裝置，其以非接觸的方式對(duì)大型工 件進(jìn)行更精細(xì)的測(cè)量，在操作上非常方便，并在測(cè)量時(shí)被測(cè)物是固定不 動(dòng)，不易有誤差產(chǎn)生。

本實(shí)用新型解決其技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是：

一種非接觸影像測(cè)量裝置，其特征在于：一基座，該基座上設(shè)有一 大型的平臺(tái)，供放置大型尺寸的被測(cè)物，該基座于該平臺(tái)兩相對(duì)側(cè)分別 設(shè)有一立柱，且于二立柱間連結(jié)一橫柱，該橫柱由二立柱帶動(dòng)于該平臺(tái) 上滑移，而該橫柱設(shè)有一滑座，該滑座是沿該橫柱軸向滑移，且該滑座 與該橫柱的滑移方向相互垂直，另，該滑座設(shè)有一顯微鏡組，該顯微鏡組 是沿該滑座軸向移動(dòng)，供于該平臺(tái)上方垂直上下位移，且該顯微鏡組包 括一可旋轉(zhuǎn)的鼻輪及一同軸光源，該鼻輪設(shè)有數(shù)個(gè)不同倍率且朝平臺(tái)方 向設(shè)置的顯微鏡頭，該同軸光源是作為該顯微鏡頭測(cè)量時(shí)的光源。

前述的非接觸影像測(cè)量裝置，其中更包括有一電腦及一軸控卡，以 全自動(dòng)方式來(lái)控制橫柱、滑座以及顯微鏡組位移，使該顯微鏡組可相對(duì) 該平臺(tái)進(jìn)行X、Y以及Z軸方向的位移，并可控制顯微鏡組的顯微鏡頭 擷取影像以及自動(dòng)控制鼻輪旋轉(zhuǎn)調(diào)整不同倍率的顯微鏡頭來(lái)變倍。

前述的非接觸影像測(cè)量裝置，其中顯微鏡組是搭載高解析彩色攝影 機(jī)以及高速處理影像擷取卡，且以自動(dòng)對(duì)焦控制器自動(dòng)對(duì)焦。

前述的非接觸影像測(cè)量裝置，其中顯微鏡頭是利用同軸光源，于影 像擷取時(shí)借由電腦控制其光源亮度。

前述的非接觸影像測(cè)量裝置，其中基座上的平臺(tái)是以高精度鋁合金 或玻璃制成。

本實(shí)用新型的有益效果是，其以非接觸的方式對(duì)大型工件進(jìn)行更精 細(xì)的測(cè)量，在操作上非常方便，并在測(cè)量時(shí)被測(cè)物是固定不動(dòng)，不易有 誤差產(chǎn)生。

附圖說(shuō)明

下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步說(shuō)明。

圖1是本實(shí)用新型的立體外觀示意圖

圖2是本實(shí)用新型的滑座沿X軸滑動(dòng)的示意圖

圖3是本實(shí)用新型的立柱帶動(dòng)橫柱沿Y軸滑動(dòng)的示意圖

圖4是本實(shí)用新型采同軸光的顯微鏡頭以及顯微鏡沿Z軸滑動(dòng)的示 意圖

圖5是本實(shí)用新型的待測(cè)量物于平臺(tái)定位的示意圖

圖6是現(xiàn)有的非接觸影像測(cè)量裝置的立體外觀示意圖

圖7是現(xiàn)有的非接觸影像測(cè)量裝置的平臺(tái)滑移導(dǎo)致待測(cè)量物位移的 示意圖

具體實(shí)施方式

請(qǐng)參閱圖1至圖5，圖中所示為本實(shí)用新型所選用的實(shí)施例結(jié)構(gòu)。

本實(shí)施例提供一種非接觸影像測(cè)量裝置，其包括：