[實用新型]一種壓力控制裝置

無效

• 申請號: 200820133211.2
• 申請日: 2008-08-22
• 公開（公告）號: CN201255840Y
• 公開（公告）日: 2009-06-10
• 發明（設計）人: 張華
• 申請（專利權）人: 和艦科技(蘇州)有限公司
• 主分類號: G05D16/00
• 分類號: G05D16/00;G05D16/14;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/3065
• 代理公司: 北京連和連知識產權代理有限公司
• 代理人: 張春媛

技術領域

本實用新型涉及微電子技術領域，特別是涉及一種用于控制蝕刻機臺腔室壓力的壓力控制裝置。

背景技術

在蝕刻技術中，為了保持腔室內的氣體壓力穩定，需要對腔室內的氣體壓力進行控制。如圖1所示，TEL蝕刻機臺的腔室1通過主控制氣動閥4(Main?T01(Fast?pump?down))和次控制氣動閥5(Cont?T02(Slow?pumpdown))與干泵8相連接，而腔室內氣體壓力的穩定是通過壓力控制閥2和次控制氣動閥5控制回路來實現的。采用此控制回路時的腔室壓力變化圖如圖2所示，當腔室內的氣體壓力發生變化時，由于采用次控制氣動閥時的抽壓效率較低，所以此時腔室內的壓力就會有較大起伏，氣壓不穩就有可能形成繞流，影響產品合格率。而通過比較采用上述主控制氣動閥和次控制氣動閥時的抽壓效率，得出的結論是采用主控制氣動閥時的抽壓效率是采用次控制氣動閥時的3倍。

發明內容

針對現有技術的缺陷，本實用新型的目的是提出一種用于控制蝕刻機臺腔室壓力的壓力控制裝置。

為了達到本實用新型的上述目的，本實用新型提出一種壓力控制裝置，包括：與腔室相連的壓力控制閥，與壓力控制閥連接的第一氣動閥，連接腔室的主控制氣動閥和次控制氣動閥，通過第二氣動閥連接腔室的氣壓計，上述壓力控制閥與上述氣壓計形成信號通路，上述第一氣動閥與上述主控制氣動閥之間也形成有信號通路。

在上述裝置中，主控制氣動閥和次控制氣動閥的另一端連接干泵。

在上述裝置中，通過上述第一氣動閥和壓力控制閥通入氣體。

在上述裝置中，上述腔室連接有用以通入氣體的第三氣動閥。

在上述裝置中，上述腔室通過第四氣動閥與泄氣閥相連接。

與現有技術相比，由于本實用新型采用了壓力控制閥PCV和主控制氣動閥及次控制氣動閥控制回路來控制腔室的氣體壓力，抽壓(泵數)效率有所提升，因此當腔室內的氣體壓力發生變化時，其起伏較小，從而能更好地維持住腔室內的氣體壓力，減少蝕刻機因此原因而停止工作的情況。

附圖說明

圖1為現有的一種壓力控制裝置的實施例示意圖。

圖2為現有的一種壓力控制裝置的腔室壓力變化示意圖。

圖3為本實用新型的一種壓力控制裝置的優選實施例示意圖。

圖4為本實用新型的一種壓力控制裝置的優選實施例的腔室壓力變化示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖對本實用新型做進一步說明。

如圖1所示，一種用于控制腔室壓力的壓力控制裝置，包括：與腔室1相連的壓力控制閥PCV?2，與壓力控制閥PCV?2連接的第一氣動閥3，連接腔室1的主控制氣動閥4(Main?T01)和次控制氣動閥5(CONT?T02)，通過第二氣動閥6連接腔室1的氣壓計CM?7，上述壓力控制閥PCV?2與上述氣壓計CM?7形成信號通路，上述第一氣動閥3與上述主控制氣動閥4之間也形成有信號通路，主控制氣動閥4和次控制氣動閥5的另一端連接干泵8，氮氣通過上述第一氣動閥3和壓力控制閥2輸入到腔室1中，氮氣還可通過第三氣動閥9輸入到腔室1中，泄氣閥11通過第四氣動閥10與腔室1相連，對流式氣壓計CV?12也與腔室1相連。

氮氣輸入管路分為兩路，一路通過第三氣動閥9與腔室1相連通，另一路通過第一氣動閥3以及壓力控制閥2與腔室1相連通，與腔室相連的氣壓計CM?7測量腔室內的氣體壓力并發送信號給壓力控制閥PCV2，壓力控制閥PCV?2根據接收到信號向主控制氣動閥4發出相應的單向控制信號，主控制氣動閥4根據接收到的信號來控制其所控制的管路的抽壓速率。

當腔室1的隔離門GATE?DOOR開關時，腔室內的氣體壓力就會發生變化，壓力控制閥PCV?2根據接收到的信號向主控制氣動閥4(MainT01)發出相應的單向控制信號，或加快抽壓或放慢抽壓，由于采用主控制氣動閥4(Main?T01)時的抽壓速率高，因此抽壓速率的可控范圍比采用次控制氣動閥5(CONT?T02)時更大。這樣將主控制氣動閥4(Main?T01)及次控制氣動閥5(CONT?T02)聯合起來一起使用，就能更及時快速地執行控制信號所要求的動作，因而能很好地維持住腔室內氣體壓力的相對平穩。