[實用新型]一種用于加熱器的斷路偵測器

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200820132745.3
• 申請日: 2008-08-15
• 公開（公告）號: CN201251614Y
• 公開（公告）日: 2009-06-03
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 劉剛;程光中;劉濤;儲著飛
• 申請（專利權(quán)）人: 和艦科技(蘇州)有限公司
• 主分類號: G01R31/02
• 分類號: G01R31/02;H01L21/00
• 代理公司: 北京連和連知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 屈小春

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及一種斷路偵測器，特別是涉及晶片生產(chǎn)工藝中用于烘干晶周的加熱器的斷路偵測器。

背景技術(shù)

用于晶周清洗工藝的加熱器的主要作用是讓機臺的腔中產(chǎn)生70℃的恒溫，從而烘干晶周。如圖1所示，每個機臺上共7根加熱器6，當(dāng)晶周清洗需要烘干時，機臺給7根加熱器供208VAC的電，讓它們加熱烘干，烘干后機臺斷掉7根加熱器的208VAC的電，繼續(xù)做其他的動作。由于加熱器6是耗材，且運行于高功率大電流環(huán)境下，因此很容易發(fā)生燒斷現(xiàn)象。

現(xiàn)有的機臺程序設(shè)定為7根加熱器6在相同加熱時間內(nèi)要保持固定的功率。當(dāng)某個時間段突然燒斷其中的一根或幾根的話，但機臺仍要保持原來的固定功率輸出，因此剩下的幾根未斷的加熱器6將會運行于更高的功率下，當(dāng)超過他們額定的功率后，也將很快地相繼燒斷。

由于機臺目前沒有加熱器6燒斷的偵測電路，只有當(dāng)加熱器6全部燒斷，晶周在機臺程序設(shè)定的時間內(nèi)無法烘干時，工程師才會知道，這樣一方面增加了生產(chǎn)成本，同時還使工程師陷入緊急停機的窘?jīng)r。因此，需要提出一種用于及時監(jiān)測加熱器是否斷路的偵測器。

發(fā)明內(nèi)容

針對現(xiàn)有技術(shù)中的缺陷，本實用新型的目的是提出一種用于加熱器的斷路偵測器，在不改變機臺本身線路的情況下，通過偵測器來偵測每根加熱器內(nèi)電流的有無，從而判斷該加熱器是否燒斷。

為了達到本實用新型的上述及其他目的，本實用新型提出一種用于加熱器的斷路偵測器，其包括電流轉(zhuǎn)換器、繼電器、蜂鳴器、至少兩個發(fā)光二極管，其中，電流轉(zhuǎn)換器和繼電器依次串聯(lián)，加熱器與電流轉(zhuǎn)換器可拆分地電連接；繼電器在加熱器工作時或加熱器被供電卻發(fā)生斷路時分別選通與第一發(fā)光二極管連接或與蜂鳴器和第二發(fā)光二極管連接。

作為優(yōu)選，上述電流轉(zhuǎn)換器為鉤式電流轉(zhuǎn)換器。

作為優(yōu)選，上述繼電器為雙列直插式單穩(wěn)態(tài)電磁繼電器。

作為優(yōu)選，上述斷路偵測器還包括整流電路，上述電流轉(zhuǎn)換器通過該整流電路與繼電器連接。

作為優(yōu)選，用于每根加熱器的各斷路偵測器共用蜂鳴器與第一發(fā)光二極管。

作為優(yōu)選，上述第一發(fā)光二極管為綠光二極管，上述第二發(fā)光二極管為紅光二極管。

作為優(yōu)選，上述加熱器在晶周清洗烘干時被供電，上述斷路偵測器啟用；加熱器無供電時，上述斷路偵測器停用。

本實用新型的斷路偵測器在機臺中的加熱器被加電的情況下進行工作，在不改變機臺本身線路的情況下，可以利用斷路偵測器來偵測每根加熱器內(nèi)是否有電流，從而判斷該加熱器是否燒斷。當(dāng)發(fā)生燒斷問題時，通過蜂鳴器和指示燈來提醒使用者及時更換燒壞的加熱器，從而避免其他加熱器因電流過載而燒毀的現(xiàn)象，即降低了生產(chǎn)成本，也避免了工程師陷入緊急停機的窘?jīng)r。

附圖說明

圖1是現(xiàn)有技術(shù)中用于烘干晶周的加熱器的電路示意圖；

圖2是根據(jù)本實用新型的用于加熱器的斷路偵測器的一個實施例的電路示意圖；

圖3是根據(jù)本實用新型的用于加熱器的斷路偵測器的另一實施例的電路示意圖。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖對本實用新型做進一步的說明。從以下對附圖的詳細(xì)說明中，本實用新型的特征、優(yōu)點和效果將顯而易見。

參見圖2，一種用于加熱器的斷路偵測器，其包括：電流轉(zhuǎn)換器1、繼電器2、蜂鳴器4、至少兩個發(fā)光二極管，在本實施例中，用于一根加熱器6的斷路偵測器具有兩個發(fā)光二極管即第二發(fā)光二極管5和第一發(fā)光二極管3，其中電流轉(zhuǎn)換器1和繼電器2依次串聯(lián)，加熱器6與電流轉(zhuǎn)換器1可拆分地電連接；繼電器2通過開關(guān)21選擇性地與蜂鳴器4和第二發(fā)光二極管5連接或與第一發(fā)光二極管3連接：當(dāng)加熱器6正常工作時，繼電器2通過開關(guān)21與第一發(fā)光二極管3導(dǎo)通，該第一發(fā)光二極管3發(fā)光，蜂鳴器4不響，第二發(fā)光二極管5不發(fā)光；當(dāng)加熱器被供電卻發(fā)生斷路故障時，繼電器2通過開關(guān)21與蜂鳴器4和第二發(fā)光二極管5導(dǎo)通，第一發(fā)光二極管3熄滅，蜂鳴器4發(fā)出響聲，第二發(fā)光二極管5發(fā)光。該第一發(fā)光二極管3和第二發(fā)光二極管5的發(fā)光顏色可根據(jù)需要選擇，在本實施例中，該第一發(fā)光二極管3為綠光二極管，第二發(fā)光二極管5為紅光二極管。