[實用新型]熱堆式紅外線檢測裝置

無效

• 申請號: 200820130582.5
• 申請日: 2008-08-06
• 公開（公告）號: CN201255664Y
• 公開（公告）日: 2009-06-10
• 發明（設計）人: 川口浩二;木村親吾;田中基樹
• 申請（專利權）人: 日本陶瓷株式會社
• 主分類號: G01J5/00
• 分類號: G01J5/00;G01J5/08
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司
• 代理人: 張敬強

技術領域

本實用新型涉及具有紅外線透過區域的選擇性的熱堆式紅外線檢測裝置。

背景技術

以往所使用的一般的熱堆式紅外線檢測裝置，由以僅是不具有紅外線透過區域的選擇性的硅等基材的非涂敷硅構成的光學構造，或者向硅基材面利用蒸鍍等技術施加了蒸鍍涂敷的具有紅外線透過區域的選擇性的光學構造來提供。

然而，在使用熱堆式紅外線檢測裝置求出檢測溫度時，當檢測對象物時需要進行檢測元件及光學系統的設計，有時存在用在一般的硅等的平面濾光器上的光學設計無法滿足需要的情況。

于是，將硅等透過紅外線的基材加工成平凸狀，并選擇具有作為透鏡的光學性能的光學系統，從而可進行以平面濾光器沒能滿足的光學設計。

而且，根據用途，在使用該熱堆式紅外線檢測裝置進行溫度檢測時，為了防止太陽光等干擾光、車頭燈等強力的可見光能量所引起的誤檢測，需要選擇人體輻射的遠紅外線的波長帶區域的能量并使其透過。

作為其對策，一般為了將紅外線透過區域的能量選擇性地導入熱堆傳感器內部，在平面濾光器、平凸透鏡上通過蒸鍍等技術來施加蒸鍍涂敷。作為使紅外線透過的波長，廣泛使用5μm通過特性和8～14μm帶通特性。

在現有的方法中，為了對實施了利用非涂敷硅平凸透鏡的光學設計的熱堆式紅外線檢測裝置，作為太陽光等干擾光、車頭燈等強力的可見光能量等的外來干擾對策而追加具有紅外線透過區域的選擇性，需要對非涂敷硅平凸透鏡表面實施具有紅外線透過區域的選擇性的蒸鍍涂敷。但是，就這種對非涂敷硅平凸透鏡表面實施具有紅外線透過區域的選擇性的蒸鍍涂敷的工序而言，雖然平面濾光器可利用蒸鍍等技術在薄片狀態下實施蒸鍍涂敷，但是硅平凸透鏡在形成形狀后，為了對表面實施蒸鍍涂敷，需要向與非涂敷硅平凸透鏡形狀一致的蒸鍍用的工序專用的夾具一個個固定非涂敷硅平凸透鏡。因此，存在工時提高、硅平凸透鏡向蒸鍍爐的設置臺數的制約、以及透鏡曲面的蒸鍍涂敷而受到成品率的影響，在成本方面存在昂貴的問題。

圖3表示現有的通過光學設計而具備了對非涂敷硅平凸透鏡的表面實施了具有紅外線透過區域的選擇性的蒸鍍涂敷的5μm通過蒸鍍涂敷硅平凸透鏡的熱堆式紅外線檢測裝置的斜視方向概略圖。圖4表示內部截面構造概略圖。

實用新型內容

本實用新型的特征在于，沒有硅平凸透鏡側的蒸鍍涂敷，在非涂敷硅平面濾光器上實施蒸鍍涂敷，通過組合蒸鍍涂敷平面濾光器和非涂敷硅平凸透鏡，使其具有紅外線透過區域的選擇性。而且，其特征在于，并不是非涂敷硅平凸透鏡而是在作為另一部件組合的平面濾光器上，將5μm通過特性或8～14μm帶通特性利用蒸鍍等技術實施蒸鍍涂敷，從而例如從4英寸薄片狀態切割成任意尺寸而使用。

本實用新型具有以下效果。

本實用新型通過在非涂敷硅平凸透鏡上組合蒸鍍涂敷平面濾光器，可得到與蒸鍍涂敷硅平凸透鏡同等的檢測區域。而且，可以阻擋太陽光等干擾光、車頭燈等強力的可見光能量等的外來干擾，在非涂敷硅平凸透鏡和蒸鍍涂敷平面濾光器的組合中，可得到與蒸鍍涂敷硅平凸透鏡同等的效果。

另外，并不是對非涂敷硅平凸透鏡的蒸鍍涂敷，而是通過對例如4英寸薄片狀態的硅平面濾光器利用蒸鍍等技術來實施蒸鍍涂敷，無需像硅平凸透鏡那樣一個個進行固定，在蒸鍍等工序中能以薄片狀態進行固定，從而能夠減少工時以及減少蒸鍍爐內的空間的浪費。而且，由于以薄片狀態在整個面上進行蒸鍍涂敷，因此能有效地切割成任意的尺寸且能降低成本。

附圖說明

圖1是作為涉及本實用新型的最基本的實施例的具有紅外線透過區域的選擇性的熱堆的光學設計構成圖的斜視方向概略圖。

圖2是圖1的內部構造剖視圖。

圖3是現有的一般的熱堆的光學設計構造圖的斜視方向概略圖。

圖4是圖3的內部構造剖視圖。

圖5是模式地表示熱堆式紅外線檢測器上的所投影的檢測區域分布的概略圖。

圖6是作為涉及本實用新型的其他實施例的具有紅外線透過區域的選擇性的熱堆的光學設計另一構造構成的斜視方向概略圖。

圖7是圖6的內部構造概略圖。

圖8是作為涉及本實用新型的其他實施例的具有紅外線透過區域的選擇性的熱堆的光學設計另一構造構成的斜視方向概略圖。

圖9是圖8的內部構造概略圖。

圖10是作為涉及本實用新型的其他實施例的具有紅外線透過區域的選擇性的熱堆的光學設計另一構造構成的斜視方向概略圖。

圖11是圖10的內部構造概略圖。