[實用新型]收納柜體結構

無效

• 申請號: 200820127012.0
• 申請日: 2008-06-19
• 公開（公告）號: CN201242659Y
• 公開（公告）日: 2009-05-20
• 發明（設計）人: 陳俐殷;盧詩文;黃柏凱
• 申請（專利權）人: 億尚精密工業股份有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G03F1/00;B65G1/02;B65D85/00;B65D81/00;B65D81/20;H01L21/677;H01L21/673
• 代理公司: 北京中原華和知識產權代理有限責任公司
• 代理人: 壽 寧;張華輝

1、一種收納柜體結構，其內部可供擺置一或多數供儲存光掩膜的光掩膜盒，且光掩膜盒具有多個供進、排氣的氣閥，其特征在于該收納柜體包含有：

一框架，框架具有至少一進氣回路與至少一排氣回路；

至少一承置單元，其設置于框架內，該承置單元上設有至少一連接前述進氣回路的進氣閥件與至少一連接前述排氣回路的穩壓閥件，其中穩壓閥件具有一或多數流道孔，該穩壓閥件的流道孔是跨設于光掩膜盒氣閥的內、外，使得穩壓閥件可同步吸排光掩膜盒容置空間與外部環境的氣體。

2、根據權利要求1所述的收納柜體結構，其特征在于其中所述承置單元具有供支撐光掩膜盒的承座，承座上形成有復數透孔，以避免微粒堆積。

3、根據權利要求1所述的收納柜體結構，其特征在于其中所述的承置單元上設有一或多數供光掩膜盒卡掣限位的定位元件。

4、根據權利要求1、2或3所述的收納柜體結構，其特征在于其中所述的承置單元上設有一或多數感應開關，供檢知或記錄光掩膜盒。

5、根據權利要求1所述的收納柜體結構，其特征在于其中所述的進氣閥件具有一中空的閥體，且閥體內部中段形成有一具較小通孔的隔片，該閥體內設有一可相對隔片通孔滑動的浮動桿，該浮動桿兩端分別具有一較大徑的抵頂部與一可穿出隔片的頸部，且頸部上束設有一可選擇性封閉隔片通孔的密封墊圈，而浮動桿的抵頂部與隔片間頂撐有一彈簧，讓浮動桿的密封墊圈可相對遠離或緊貼隔片，達到讓進氣閥件可受氣閥作用選擇性導通或密封。

6、根據權利要求1所述的收納柜體結構，其特征在于其中所述的穩壓閥件具有一中空的閥體，且閥體頂面形成有一道較大徑的凸環片，且閥體內部形成有一隔片，而同步跨接光掩膜盒氣閥內、外部的流道孔是設置于隔片上。

7、根據權利要求6所述的收納柜體結構，其特征在于其中所述的穩壓閥件的隔片頂面并具有向上凸出的推桿，供選擇性啟閉光掩膜盒的氣閥。

8、根據權利要求1、6或7所述的收納柜體結構，其特征在于其中所述的光掩膜盒的氣閥具有一中空的閥體，且閥體內部中段形成有一具較小通孔的隔片，該閥體內設有一可相對隔片通孔滑動的浮動桿，該浮動桿兩端分別具有一較大徑的抵頂部與一可穿出隔片的頸部，且頸部上束設有一可選擇性封閉隔片通孔的密封墊圈，而浮動桿的抵頂部與隔片間頂撐有一彈簧，讓浮動桿的密封墊圈可相對遠離或緊貼隔片，達到讓氣閥可受進氣閥件與穩壓閥件作用選擇性導通或密封的功效。