[實用新型]300mm立式氧化爐爐體

有效

• 申請號: 200820124688.4
• 申請日: 2008-12-17
• 公開（公告）號: CN201382675Y
• 公開（公告）日: 2010-01-13
• 發明（設計）人: 鐘華;盛金龍;程朝陽;胡星強;艾倫·埃馬米
• 申請（專利權）人: 北京七星華創電子股份有限公司
• 主分類號: F27B1/00
• 分類號: F27B1/00;F27B1/10
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型屬于一種用于300mm硅片熱處理的立式氧化爐，具體是一種300mm立式氧化爐的爐體。

背景技術

氧化爐是用于硅片進行氧化、退火等熱處理工藝的半導體設備，現用的氧化爐，大都是臥式結構，其溫度均勻性及控溫精度不夠理想，操作和控制不夠精確靈活，自動化程度低、生產效率和產品質量不夠高，不能適應300mm硅片的生產需求。因此，需要提出一種結構改進的300mm立式氧化爐爐體。

實用新型內容

本實用新型的目的是為了解決上述技術問題，提出一種300mm立式氧化爐爐體，該氧化爐爐體結構新穎、完善，溫度控制靈活、精確，生產效率和產品質量大大提高。

本實用新型的目的是通過以下技術方案來實現的：300mm立式氧化爐爐體，設有主體、頂蓋、基座，其特征在于：所述主體為一直立圓筒形，由內到外依次設有爐絲、爐絲支撐件、保溫棉層、內壁、冷卻管、外壁，所述爐絲在主體內由上到下多圈環繞，由爐絲支撐件支撐固定，保溫棉層設置在內壁內側，在內壁和外壁之間設置上下迂廻彎曲的冷卻管；冷卻管設有冷卻水進出水口；設有多個熱電偶、爐絲引線穿過保溫層、內壁、外壁，橫向固定在內壁上，熱電偶里端到達測溫位置，爐絲引線里端焊接在爐絲上；在主體上口沿設有環形頂塊，該頂塊中間設有頂蓋，在主體的下口設有環形底塊，所述頂蓋、頂塊、保溫棉、底塊組成保溫層，該保溫層通過頂塊和底塊固定在內壁上；冷卻管和外壁也固定在內壁上，外壁將冷卻管包覆起來；內壁固定在基座上，該基座上設有冷卻密封槽和進出水口。

本實用新型的300mm立式氧化爐爐體是一種新型的爐體結構形式，區別與以往常規臥式爐體結構，與一般立式爐爐體在結構上也是有很大不同，結構新穎，首創。恒溫區長度占爐體總長度的70％，有效地節約了空間和能源。控溫精度高，提高了處理硅片的質量及效率。

附圖說明

圖1是本實用新型的外觀結構示意圖；

圖2是本實用新型的內部結構示意圖；

圖3是本實用新型的基座結構示意圖；

圖4是圖2局部A放大示意圖；

圖5是圖3局部C放大示意圖；

圖6是圖2局部B放大示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖和實施例對本實用新型作進一步的說明：實施例：參見附圖，300mm立式氧化爐爐體，設有主體、頂蓋、基座，所述主體為一直立圓筒形，由內到外依次設有爐絲8、爐絲支撐件7、保溫棉層6、內壁3、冷卻管4、外壁5，所述爐絲在主體內由上到下多圈環繞，由爐絲支撐件支撐固定，保溫棉層設置在內壁內側，在內壁和外壁之間設置上下迂廻彎曲的冷卻管；冷卻管設有冷卻水進出水口(15)；設有多個熱電偶11、爐絲引線12穿過保溫層、內壁、外壁，橫向固定在內壁上，熱電偶里端到達測溫位置，爐絲引線里端焊接在爐絲上；在主體上口沿設有環形頂塊2，該頂塊中間設有頂蓋1，在主體的下口設有環形底塊9，所述頂蓋、頂塊、保溫棉、底塊組成保溫層，該保溫層通過頂塊和底塊固定在內壁上；冷卻管和外壁也固定在內壁上，外壁將冷卻管包覆起來；內壁固定在基座10上，該基座上設有冷卻密封槽14和進出水口13。