[實用新型]300mm立式氧化爐爐體爐絲引線固定裝置

有效

• 申請號: 200820124686.5
• 申請日: 2008-12-17
• 公開（公告）號: CN201352061Y
• 公開（公告）日: 2009-11-25
• 發明（設計）人: 趙星梅;董金衛;胡星強;艾倫·埃馬米
• 申請（專利權）人: 北京七星華創電子股份有限公司
• 主分類號: F27B1/10
• 分類號: F27B1/10
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型屬于一種用于300mm硅片熱處理的氧化爐設備，具體的是一種用于300mm硅片氧化處理的立式氧化爐爐體的爐絲引線固定裝置。

背景技術

氧化爐是用于硅片進行氧化、退火等熱處理工藝的半導體設備，現在的氧化爐，大都是臥式結構，其溫度均勻性及控溫精度不夠理想，操作和控制不夠精確靈活，生產效率和產品質量不夠高，不能適應300mm硅片的生產需求。因此，需要提出一種結構改進的氧化爐。

實用新型內容

本實用新型的目的是為了解決上述技術問題，提出一種300mm立式氧化爐爐體爐絲引線固定裝置，該裝置結構新穎、簡單適用，連接牢固。

本實用新型的目的是通過以下技術方案來實現的：300mm立式氧化爐爐體爐絲引線固定裝置，其特征在于：設有內固定板、中固定板、外固定板，所述中固定板卡入內固定板中部的方槽中，爐絲引線穿過內固定板、中固定板中間的長圓孔和外固定板伸到氧化爐爐體外壁外面，爐絲引線的另一端與爐絲焊接在一起，爐絲引線中部與中固定板焊接在一起，內外固定板由絕緣耐熱材料制成，通過螺栓固定在氧化爐爐體的內壁上。

本實用新型與以往爐體的爐絲引線固定方式相比，具有以下優點：爐絲引線固定位置準確，不會產生躥動，不會在搬運爐體或連接導線時，由于外力的作用而使爐絲引線發生位移。由于采用絕緣、絕熱材料進行固定，所以爐體的安全性能得到很大提高。

附圖說明

圖1是本實用新型的結構示意圖；

圖2是圖1中B-B向視圖；

圖3是圖1中A-A向視圖。

具體實施方式

下面結合附圖和實施例對本實用新型作進一步的說明：實施例：參見附圖，300mm立式氧化爐爐體爐絲引線固定裝置，設有內固定板1、中固定板2、外固定板3，所述中固定板卡入內固定板中部的方槽中，爐絲引線4穿過內固定板、中固定板中間的長圓孔2.1和外固定板伸到氧化爐爐體外壁外面，爐絲引線的另一端與爐絲6焊接在一起，爐絲引線中部與中固定板焊接在一起，內外固定板由絕緣耐熱材料制成，通過螺栓5固定在氧化爐爐體的內壁上。