[實用新型]多元素濺射靶材結構有效
| 申請號： | 200820124584.3 | 申請日： | 2008-12-25 |
| 公開（公告）號： | CN201330279Y | 公開（公告）日： | 2009-10-21 |
| 發明（設計）人： | 古宏偉;屈飛;楊堅 | 申請（專利權）人： | 北京有色金屬研究總院 |
| 主分類號： | C23C14/34 | 分類號： | C23C14/34;C23C14/14 |
| 代理公司： | 北京眾合誠成知識產權代理有限公司 | 代理人： | 朱印康 |
| 地址： | 10008*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 多元 濺射 結構 | ||
【權利要求書】：
1.一種多元素濺射靶材結構，其特征在于：靶材濺射環區域(2)是與圓形的金屬背板(5)同圓心的圓環，金屬元素濺射靶材(3)鑲嵌在靶材濺射環區域(2)內，并通過焊接層(4)焊接在圓形的金屬背板(5)上，賤金屬薄板靶材胎體(1)通過焊接層(4)焊接在圓形的金屬背板(5)的其余部分。
2.根據權利要求1所述的一種多元素濺射靶材結構，其特征在于，所述金屬元素濺射靶材(3)為A貴金屬薄板圓環(6)。
3.根據權利要求1所述的一種多元素濺射靶材結構，其特征在于，所述金屬元素濺射靶材(3)為各以6～12個B貴金屬薄板扇形面(7)和C貴金屬薄板扇形面(8)等間隔交替鑲嵌在濺射環區域(2)的圓環內。
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