[實用新型]一種振動式微機械陀螺

無效

• 申請號: 200820124384.8
• 申請日: 2008-12-12
• 公開（公告）號: CN201352121Y
• 公開（公告）日: 2009-11-25
• 發明（設計）人: 高宏;王慶;齊曉紅
• 申請（專利權）人: 紫光股份有限公司
• 主分類號: G01C19/56
• 分類號: G01C19/56;B81B7/02
• 代理公司: 北京清亦華知識產權代理事務所（普通合伙）
• 代理人: 羅文群

1、一種振動式微機械陀螺，其特征在于，該微機械陀螺包括驅動質量塊、檢測質量塊、隔離質量塊、驅動電容固定電極、驅動電容可動電極、檢測電容固定電極和檢測電容可動電極；所述的驅動質量塊通過驅動彈性梁固定在微機械陀螺玻璃襯底的錨點上；所述的檢測質量塊和隔離質量塊位于驅動質量塊內，檢測質量塊通過檢測彈性梁固定在微機械陀螺玻璃襯底的錨點上，所述的隔離質量塊通過y方向隔離彈性支撐梁與驅動質量塊相對固定，并通過x方向隔離彈性支撐梁與檢測質量塊相對固定；檢測電容固定電極和檢測電容可動電極位于檢測質量塊內，檢測電容的固定電極固定在微機械陀螺玻璃襯底上，檢測電容的可動電極與檢測質量塊相對固定；所述的驅動電容可動電極與驅動質量塊相對固定，驅動電容的固定電極固定在微機械陀螺玻璃襯底上。